一种用于MicroLED检测的镂空吸附治具的制作方法

本技术涉及半导体晶圆级视觉检测的，具体涉及一种用于microled检测的镂空吸附治具。

背景技术：

1、目前，在micro led巨量检测系统上虽有镂空台阶吸盘，但局限性太大，制作成本高，并且制作时间长。现有micro led巨量检测系统上大部分采用平台吸盘，当客户有上下两个面都有芯粒产品时，需要重新设计镂空台阶吸盘去加工，费时费力，局限性太大。现有平面吸盘不能放置两个面都有芯粒的产品，局限性大，不能满足多样式的晶圆片产品，而镂空台阶吸盘，制作成本高，并且制作时间长，费时费力，不适合运用在前期micro led检测中；因此，如何克服上述存在的技术问题和缺陷成为重点需要解决的问题。

技术实现思路

1、针对平台吸盘不能检测上下两个面都有芯粒产品的问题，本实用新型提供了一种用于micro led检测的镂空吸附治具。

2、本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案如下：

3、一种用于micro led检测的镂空吸附治具，包括旋转dd马达、平面吸盘、镂空吸附平台和平台固定夹板，所述旋转dd马达的输出轴上固定安装有所述平面吸盘，所述平面吸盘的上方安装有所述镂空吸附平台，所述镂空吸附平台的顶面设置有用于避让芯粒的避让槽，所述避让槽的内周环绕设置有抽气层，所述抽气层上设置有用于负压吸附的通气孔，所述避让槽的外周环绕设置有多个放置台，所述镂空吸附平台的底面设置有密封槽，所述密封槽内安装有密封圈，所述平面吸盘镶嵌在所述密封槽内，所述平面吸盘的外围通过所述平台固定夹板固定连接，所述镂空吸附平台和所述平台固定夹板固定连接。

4、可选的，还包括有旋转盘，所述旋转盘连接于所述旋转dd马达的输出轴上，所述旋转盘与所述平面吸盘通过螺栓固定连接。

5、可选的，所述平台固定夹板由两个半圆的环形组成，所述平台固定夹板的纵向上设置有多个螺栓孔，所述螺栓孔圆周均布在所述平台固定夹板的内侧。

6、可选的，所述镂空吸附平台的外周设置有多个螺栓孔，所述螺栓孔圆周均布在所述镂空吸附平台的外周，所述平台固定夹板通过螺栓与所述镂空吸附平台的上表面固定连接。

7、可选的，所述密封圈为硅胶密封圈。

8、可选的，所述镂空吸附平台为圆盘状，多个所述放置台间隔设置于所述镂空吸附平台的内缘，相邻的两个所述放置台之间形成有凹陷部。

9、可选的，所述避让槽为圆形槽。

10、可选的，沿所述抽气层至所述避让槽的圆心方向，所述抽气层的内侧壁厚度逐渐减小。

11、可选的，所述放置台为圆弧形，所述放置台的数量为4个，4个所述放置台间隔设置。

12、根据本实用新型提供的用于micro led检测的镂空吸附治具，通过在所述平面吸盘上方安装所述镂空吸附平台，从而对现有micro led检测运用的平面吸盘进行改良，改良后吸盘更适用多样式产品，可以放置上下面都有芯粒的产品；同时，减少吸附平台对产品的误伤概率，同时制作成本低，制作时间也短。

技术特征：

1.一种用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：包括旋转dd马达、平面吸盘、镂空吸附平台和平台固定夹板，所述旋转dd马达的输出轴上固定安装有所述平面吸盘，所述平面吸盘的上方安装有所述镂空吸附平台，所述镂空吸附平台的顶面设置有用于避让芯粒的避让槽，所述避让槽的内周环绕设置有抽气层，所述抽气层上设置有用于负压吸附的通气孔，所述避让槽的外周环绕设置有多个放置台，所述镂空吸附平台的底面设置有密封槽，所述密封槽内安装有密封圈，所述平面吸盘镶嵌在所述密封槽内，所述平面吸盘的外围通过所述平台固定夹板固定连接，所述镂空吸附平台和所述平台固定夹板固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：还包括有旋转盘，所述旋转盘连接于所述旋转dd马达的输出轴上，所述旋转盘与所述平面吸盘通过螺栓固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：所述平台固定夹板由两个半圆的环形组成，所述平台固定夹板的纵向上设置有多个螺栓孔，所述螺栓孔圆周均布在所述平台固定夹板的内侧。

4.根据权利要求3所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：所述镂空吸附平台的外周设置有多个螺栓孔，所述螺栓孔圆周均布在所述镂空吸附平台的外周，所述平台固定夹板通过螺栓与所述镂空吸附平台的上表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：所述密封圈为硅胶密封圈。

6.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：所述镂空吸附平台为圆盘状，多个所述放置台间隔设置于所述镂空吸附平台的内缘，相邻的两个所述放置台之间形成有凹陷部。

7.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：所述避让槽为圆形槽。

8.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：沿所述抽气层至所述避让槽的圆心方向，所述抽气层的内侧壁厚度逐渐减小。

9.根据权利要求1所述的用于micro led检测的镂空吸附治具，其特征在于：所述放置台为圆弧形，所述放置台的数量为4个，4个所述放置台间隔设置。

技术总结
为克服现有平台吸盘不能检测上下两个面都有芯粒产品的问题，本技术提供了一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具，包括旋转DD马达，旋转DD马达上安装有平面吸盘，平面吸盘的上方安装有镂空吸附平台，镂空吸附平台的顶面设置有避让槽，避让槽的外周设置有放置台，镂空吸附平台的底面设置有密封槽，平面吸盘镶嵌在密封槽内，镂空吸附平台和平面吸盘的外围通过平台固定夹板固定连接。本技术通过在平面吸盘上方安装镂空吸附平台，从而对现有Micro LED检测运用的平面吸盘进行改良，改良后更适用多样式产品，可以放置上下面都有芯粒的产品；同时，减少吸附平台对产品的误伤概率，同时制作成本低，制作时间也短。

技术研发人员：伍琼,樊为民,孔一帆,黄岚,高锦龙
受保护的技术使用者：深圳市壹倍科技有限公司
技术研发日：20221221
技术公布日：2024/1/12