一种用于真空传输室腔盖的升降装置的制作方法

本技术属于腔室工装，具体涉及一种用于真空传输室腔盖的升降装置。

背景技术：

1、现在半导体行业中随着缺乏芯片的问题日益突出，以及各个fab的产能饱和，如何提高生产效率，就成了各个公司要突破的瓶颈，而转换到各个半导体设备厂商的要求是尽可能的缩短维护保养时间，缩短破真空与建真空的时间，从而达到维护时间的减小及工艺制程时间的增加，提高生产效率，所以真空传输平台的升降装置就应时而生,该装置可以提高真空传输腔打开时间以及关合时间，有效的提升真空传输腔室的维护保养时间，可使真空传输腔室快速建立真空环境，使工艺快速可以使用。

2、 在真空传输模块（vacuum transport module）由真空传输机器人（robot）、真空大气转换室（loadlock）、晶圆传感检测器（awc）、门阀（slit valve）、传输室腔盖组成件（lid lift assembly），其中传输室腔盖组成部分的升降装置基本使用手摇机械式，该装置由于真空传输平台较高，进行升降传输腔室腔盖具有一定风险，且该装置升降靠人力升降速度慢，效率低。在进行处理真空传输相关问题时开腔盖耗时较长，问题处理完成合腔速度慢，不利于提高生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种用于真空传输室腔盖的升降装置，避免人力抬起盖板，通过驱动电机和减速机组件的配合，通过升降臂带动开合。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于真空传输室腔盖的升降装置，包括两升降臂、减速机组件、驱动电机，其中：

3、所述升降臂一端与真空传输室腔盖的盖板连接，所述升降臂另一端与所述减速机组件连接；

4、所述减速机组件包括箱体、一级减速轴、二级减速轴、三级减速轴；

5、所述箱体设置在所述真空传输室外壁上；

6、所述一级减速轴、所述二级减速轴、所述三级减速轴上分别设置有一级齿轮、两个二级齿轮、三级齿轮，所述一级齿轮与一个所述二级齿轮啮合，所述三级齿轮与另一个二级齿轮啮合；

7、所述一级减速轴的两端均穿出所述箱体，并分别与一个升降臂连接；

8、所述三级减速轴穿出所述箱体与所述驱动电机输出端连接。

9、作为本实用新型的进一步优选，还包括联轴器，所述联轴器一端与所述三级减速轴连接，另一端与所述驱动电机输出端连接。

10、作为本实用新型的进一步优选，还包括电机连接块，所述电机连接块一端与所述驱动电机连接，另一端与真空传输室外壁连接。

11、作为本实用新型的进一步优选，所述升降臂以所述一级减速轴为旋转轴带动所述盖板开合，所述升降臂带动所述盖板达到的最大极限位置与水平方向之间角度大于90°。

12、作为本实用新型的进一步优选，所述一级减速轴、所述二级减速轴、所述三级减速轴的功率为逐级递增。

13、作为本实用新型的进一步优选，所述减速机组件还包括箱盖，所述箱盖盖设在所述箱体顶部。

14、作为本实用新型的进一步优选，还包括控制器系统，所述控制系统与所述驱动电机连接。

15、作为本实用新型的进一步优选，所述一级减速轴中心与真空传输室腔盖中心之间的间距为0.4m。

16、作为本实用新型的进一步优选，所述减速机组件的减速比为1:100。

17、作为本实用新型的进一步优选，所述减速机组件的传动分配为1：8、1：12.5。

18、作为本实用新型的进一步优选，还包括挡块，所述挡块设置在所述箱体外壁，当所述升降臂与所述挡块相接触时所述盖板与水平方向之间角度大于90°。

19、作为本实用新型的进一步优选，还包括平键，在所述一级减速轴与所述升降臂连接处设置两平键。

20、作为本实用新型的进一步优选，所述升降臂带动所述盖板达到的最大极限位置与水平方向之间角度最大为150°。

21、作为本实用新型的进一步优选，还包括手操器，所述控制系统设置于所述手操器内。

22、作为本实用新型的进一步优选，所述手操器安装在真空传输室外壁，安装高度不高于1.5m。

23、通过以上技术方案，相对于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

24、1、本实用新型为了实现较小扭矩电机依旧能抬起重达100kg的盖板，在减速机组件内部设置三个减速轴，通过改变三级减速轴以及与机械臂相连的一级减速轴之间的转速和扭矩改变传动比，从而实现即使是小扭矩、小功率电机依旧可以将重量高达100kg的盖板抬起。

25、 2、本实用新型手操器发送命令，驱动电机接受命令，驱动电机带动减速轴，减速轴带动升降臂，升降臂带动盖板，盖板完全升起且盖板与水平面之间的角度大于90°。

26、 3、本实用新型升降臂以一级减速轴为旋转轴带动盖板开合，升降臂带动盖板达到的最大极限位置与水平方向之间角度大于90°；从而保证在进行开盖过程中，不会发生以外回落现象，保证使用安全性。

27、 4、本实用新型因从人力手摇式升降盖板改为电机驱动式，避免了人力抬起，安全性更好；且因是机器实现盖板开合，在盖板开合时间上也进行了缩短。

技术特征：

1.一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：包括两升降臂（5）、减速机组件（4）、驱动电机（1），其中：

2.根据权利要求1所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：还包括联轴器（3），所述联轴器（3）一端与所述三级减速轴（403）连接，另一端与所述驱动电机（1）输出端连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：还包括电机连接块（2），所述电机连接块（2）一端与所述驱动电机（1）连接，另一端与真空传输室外壁连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述升降臂（5）以所述一级减速轴（401）为旋转轴带动所述盖板（6）开合，所述升降臂（5）带动所述盖板（6）达到的最大极限位置与水平方向之间角度大于90°。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述一级减速轴（401）、所述二级减速轴（402）、所述三级减速轴（403）的功率为逐级递增。

6.根据权利要求5所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述减速机组件（4）还包括箱盖（405），所述箱盖（405）盖设在所述箱体（404）顶部。

7.根据权利要求3所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：还包括控制器系统，所述控制器系统与所述驱动电机（1）连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述一级减速轴（401）中心与真空传输室腔盖中心之间的间距为0.4m。

9.根据权利要求8所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述减速机组件（4）的减速比为1:100。

10.根据权利要求9所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述一级减速轴（401）与所述二级减速轴（402）之间的传动比是1:8；所述二级减速轴（402）与所述三级减速轴（403）之间的传动比为1：12.5。

11.根据权利要求10所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：还包括挡块（8），所述挡块（8）设置在所述箱体（404）外壁，当所述升降臂（5）与所述挡块（8）相接触时所述盖板（6）与水平方向之间角度大于90°。

12.根据权利要求11所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：还包括平键（9），在所述一级减速轴（401）与所述升降臂（5）连接处设置两平键（9）。

13.根据权利要求12所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述升降臂（5）带动所述盖板（6）达到的最大极限位置与水平方向之间角度最大为150°。

14.根据权利要求7所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：还包括手操器（7），所述控制器系统设置于所述手操器（7）内。

15.根据权利要求14所述的一种用于真空传输室腔盖的升降装置，其特征在于：所述手操器（7）安装在真空传输室外壁，安装高度不高于1.5m。

技术总结
本技术属于腔室工装技术领域，具体涉及一种用于真空传输室腔盖的升降装置，包括两升降臂、减速机组件、驱动电机，升降臂一端与盖板连接，升降臂另一端与减速机组件连接；减速机组件包括箱体、一级减速轴、二级减速轴、三级减速轴；箱体设置在真空传输室外壁上；一级减速轴、二级减速轴、三级减速轴上分别设置有一级齿轮、两个二级齿轮、三级齿轮，一级齿轮与一个二级齿轮啮合，三级齿轮与另一个二级齿轮啮合；一级减速轴的两端均穿出箱体，并分别与一个升降臂连接；三级减速轴穿出箱体与驱动电机输出端连接。本技术为了实现小电机依旧能将盖板抬起，在减速机组件内部设置三个减速轴，通过改变输出轴与输入轴之间的转速和扭矩改变传动比。

技术研发人员：卢昕雨,方传阳,朱小庆,吕康理,胡冬冬,许开东
受保护的技术使用者：江苏鲁汶仪器股份有限公司
技术研发日：20221231
技术公布日：2024/1/15