腔门驱动装置、反应腔以及PECVD设备的制作方法

本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及腔门驱动装置、反应腔以及pecvd设备。

背景技术：

1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。

2、在异质结太阳能电池制造中，需要通过等离子增强化学气相沉积(plasmaenhanced chemicalvapor deposition，pecvd)设备进行pecvd工艺，在硅片上沉积p型非晶硅、n型非晶硅以及本征i型非晶硅薄膜。为了提高pecvd工艺的稳定性，可采用包括嵌套的内腔以及外腔的pecvd反应腔。当多个载满硅片的托盘进入反应腔在真空状态进行pecvd工艺时，为了区分真空内腔及外腔，防止内腔工艺气体过多泄漏到外腔，需在内腔两端增加隔断门以隔绝内外腔，若有十个托盘，则对应十个隔断门。十个隔断门的门板可由气缸驱动传动轴，然后带动传动轴上的十个连杆组来驱动与连杆组端部固定连接的腔门转轴。若正常工艺温度设置250摄氏度，则腔门转轴与相连接的连杆组端部的铝合金件存在温差，两者的热膨胀不一致，在一个隔断门关闭后会产生硬限位，传动主轴无法继续行进，就会产生其他隔断门因热膨胀无法完全关闭的现象。

3、因此，如何提供一种腔门驱动装置以及反应腔，以实现多个腔门同步开关，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种腔门驱动装置，其设置在门框架上，用于驱动多个门板转动封闭或打开门框架上的相应多个门洞，所述腔门驱动装置包括驱动模块、传动轴、连接在所述传动轴上的多个第一杆、与多个第一杆滑动铰接的多个第二杆、连接在多个第二杆端部的多个轴块以及各自设置成穿过轴块的轴腔以及门框架的多个腔门转轴，每个第二杆的第一端包括与所述第一杆滑动铰接的滑轴，其第二端与所述轴块相连接，所述轴块包括开设在中部、用于容纳所述腔门转轴的轴腔以及设置在所述轴块中径向伸入所述轴腔并通过与所述腔门转轴接触顶推其转动的弹性顶针，所述腔门转轴在靠近其顶部周侧上设置有凸块，并在所述凸块下侧设置有第一限位件，门框架顶部针对第一限位件设置有相匹配的第二限位件，所述驱动模块驱动传动轴伸缩带动多个第一杆水平移动，通过所述第二杆的滑轴在所述第一杆中的滑动及转动带动所述轴块转动，并通过运动方向相对侧的弹性顶针顶推所述凸块从而推动所述腔门转轴转动，并通过所述第二限位件对第一限位件的阻挡限位而使多个腔门同步开关。

2、在一实施例中，所述驱动模块包括气缸，所述驱动模块驱动传动轴回缩带动多个第一杆水平移动，通过所述第二杆的滑轴在所述第一杆中的滑动及转动带动轴块转动，并通过传动轴回缩方向相反侧的弹性顶针顶推所述凸块推动所述腔门转轴沿着传动轴回缩方向转动，在回缩到门板以及腔门转轴转动到关闭位封闭门洞时，所述第一限位件在传动轴回缩方向相同侧由第二限位件的对应侧阻挡限位。

3、在一实施例中，所述驱动模块包括气缸，所述驱动模块驱动传动轴外伸带动多个第一杆水平移动，通过所述第二杆的滑轴在所述第一杆中的滑动及转动带动轴块转动，并通过传动轴外伸方向相反侧的弹性顶针顶推所述凸块推动所述腔门转轴沿着传动轴外伸方向转动，在外伸到门板以及腔门转轴转动到打开位打开门洞时，所述第一限位件在传动轴外伸方向相同侧由第二限位件的对应侧阻挡限位。

4、在一实施例中，所述门板以及腔门转轴的打开位与关闭位之间的角度为90度。

5、在一实施例中，所述弹性顶针的直径范围为2mm-5mm，其提供的弹性力范围为15kg-20kg。

6、在一实施例中，所述多个第一杆中每个第一杆沿纵向方向在中部开设有滑道，第二杆第一端的滑轴上设置有轴套，所述多个第一杆水平移动时轴套以及滑轴在所述滑道中上下移动。

7、在一实施例中，所述轴块包括有第一弹性顶针以及第二弹性顶针，所述第一弹性顶针以及第二弹性顶针从所述凸块两侧径向伸入所述轴腔中并在所述驱动模块驱动传动轴伸缩过程中，由传动轴运动侧相反的所述第一弹性顶针或第二弹性顶针推动所述腔门转轴的凸块。

8、本实用新型还提供一种反应腔，其包括内腔以及外腔，所述内腔包括门框架、门板以及用于驱动门板转动封闭或打开门框架上的门洞的腔门驱动装置，所述腔门驱动装置为上述任一项所述的腔门驱动装置。

9、在一实施例中，所述门框架上具有10-15个门洞、10-15个门板以及10-15个腔门转轴，所述腔门驱动装置对应包括连接在传动轴上的10-15个第一杆、与10-15个第一杆滑动铰接的10-15个第二杆、设置在10-15个第二杆一端的10-15个轴块。

10、本发明还提供一种pecvd设备，所述pecvd设备包括一个或多个如上所述的反应腔。

11、与现有技术中腔门驱动装置使用刚性连杆组使得一个隔断门关闭后会产生硬限位，传动主轴无法继续行进会产生其他隔断门因热膨胀无法完全关闭的现象相比，本实用新型的腔门驱动装置包括驱动模块、传动轴、连接在所述传动轴上的多个第一杆、与多个第一杆滑动铰接的多个第二杆、连接在多个第二杆端部的多个轴块以及各自设置成穿过轴块的轴腔以及门框架的多个腔门转轴，第二杆的第一端包括与第一杆滑动铰接的滑轴，其第二端与所述轴块相连接，所述轴块包括开设在中部、用于容纳所述腔门转轴的轴腔以及设置在所述轴块中径向伸入所述轴腔并通过与所述腔门转轴接触顶推其转动的弹性顶针，腔门转轴在靠近其顶部周侧上设置有凸块，并在凸块下侧设置有第一限位件，门框架顶部针对第一限位件设置有相匹配的第二限位件，驱动模块驱动传动轴伸缩带动多个第一杆水平移动，通过第二杆的滑轴在第一杆中的滑动及转动带动所述轴块转动，并通过运动方向相对侧的弹性顶针顶推凸块从而推动腔门转轴转动，并通过第二限位件对第一限位件的阻挡限位而使多个腔门同步开关。本实用新型的腔门驱动装置能实现多个腔门的同步开关。

技术特征：

1.一种腔门驱动装置，其设置在门框架上，用于驱动多个门板转动封闭或打开门框架上的相应多个门洞，其特征在于，所述腔门驱动装置包括驱动模块、传动轴、连接在所述传动轴上的多个第一杆、与多个第一杆滑动铰接的多个第二杆、各自连接在多个第二杆端部的多个轴块以及各自设置成穿过轴块的轴腔以及门框架的多个腔门转轴，每个第二杆的第一端包括与所述第一杆滑动铰接的滑轴，其第二端与所述轴块相连接，所述轴块包括开设在中部、用于容纳所述腔门转轴的轴腔以及设置在所述轴块中径向伸入所述轴腔并通过与所述腔门转轴接触顶推其转动的弹性顶针，所述腔门转轴在靠近其顶部周侧上设置有凸块，并在所述凸块下侧设置有第一限位件，门框架顶部针对第一限位件设置有相匹配的第二限位件，所述驱动模块驱动传动轴伸缩带动多个第一杆水平移动，通过所述第二杆的滑轴在所述第一杆中的滑动及转动带动所述轴块转动，并通过运动方向相对侧的弹性顶针顶推所述凸块从而推动所述腔门转轴转动，并通过所述第二限位件对第一限位件的阻挡限位而使多个腔门同步开关。

2.根据权利要求1所述的腔门驱动装置，其特征在于，所述驱动模块包括气缸，所述驱动模块驱动传动轴回缩带动多个第一杆水平移动，通过所述第二杆的滑轴在所述第一杆中的滑动及转动带动轴块转动，并通过传动轴回缩方向相反侧的弹性顶针顶推所述凸块推动所述腔门转轴沿着传动轴回缩方向转动，在回缩到门板以及腔门转轴转动到关闭位封闭门洞时，所述第一限位件在传动轴回缩方向相同侧由第二限位件的对应侧阻挡限位。

3.根据权利要求2所述的腔门驱动装置，其特征在于，所述驱动模块包括气缸，所述驱动模块驱动传动轴外伸带动多个第一杆水平移动，通过所述第二杆的滑轴在所述第一杆中的滑动及转动带动轴块转动，并通过传动轴外伸方向相反侧的弹性顶针顶推所述凸块推动所述腔门转轴沿着传动轴外伸方向转动，在外伸到门板以及腔门转轴转动到打开位打开门洞时，所述第一限位件在传动轴外伸方向相同侧由第二限位件的对应侧阻挡限位。

4.根据权利要求3所述的腔门驱动装置，其特征在于，所述门板以及腔门转轴的打开位与关闭位之间的角度为90度。

5.根据权利要求1所述的腔门驱动装置，其特征在于，所述弹性顶针的直径范围为2mm-5mm，其提供的弹性力范围为15kg-20kg。

6.根据权利要求1所述的腔门驱动装置，其特征在于，所述多个第一杆中每个第一杆沿纵向方向在中部开设有滑道，第二杆第一端的滑轴上设置有轴套，所述多个第一杆水平移动时轴套以及滑轴在所述滑道中上下移动。

7.根据权利要求1所述的腔门驱动装置，其特征在于，所述轴块包括有第一弹性顶针以及第二弹性顶针，所述第一弹性顶针以及第二弹性顶针从所述凸块两侧径向伸入所述轴腔中并在所述驱动模块驱动传动轴伸缩过程中，由传动轴运动侧相反的所述第一弹性顶针或第二弹性顶针推动所述腔门转轴的凸块。

8.一种反应腔，其包括内腔以及外腔，所述内腔包括门框架、门板以及用于驱动门板转动封闭或打开门框架上的门洞的腔门驱动装置，其特征在于，所述腔门驱动装置为权利要求1至7中任一项所述的腔门驱动装置。

9.根据权利要求8所述的反应腔，其特征在于，所述门框架上具有10-15个门洞、10-15个门板以及10-15个腔门转轴，所述腔门驱动装置对应包括连接在传动轴上的10-15个第一杆、与10-15个第一杆滑动铰接的10-15个第二杆、设置在10-15个第二杆一端的10-15个轴块。

10.一种pecvd设备，其特征在于，所述pecvd设备包括一个或多个如权利要求8或9中所述的反应腔。

技术总结
本技术提供腔门驱动装置、反应腔以及PECVD设备。腔门驱动装置包括驱动模块、传动轴、连接在传动轴上的多个第一杆、与多个第一杆滑动铰接的多个第二杆、连接在第二杆端部的多个轴块以及各自穿过轴块的轴腔以及门框架的多个腔门转轴，第二杆的第一端包括与第一杆滑动铰接的滑轴，其第二端与轴块相连接，轴块包括用于容纳腔门转轴的轴腔以及径向伸入轴腔并通过与腔门转轴接触顶推其转动的弹性顶针，驱动模块驱动传动轴伸缩带动第一杆水平移动，第二杆的滑轴在第一杆中滑动及转动带动轴块转动，并通过运动方向相对侧的弹性顶针顶推腔门转轴顶部周侧上的凸块从而推动腔门转轴转动，并通过第二限位件对第一限位件的阻挡限位而使多个腔门同步开关。

技术研发人员：胡广迎,李朋
受保护的技术使用者：理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
技术研发日：20230424
技术公布日：2024/1/15