一种高温炉机械手臂用真空吸盘的制作方法

本技术涉及真空吸盘，尤其涉及一种高温炉机械手臂用真空吸盘。

背景技术：

1、lcd彩膜工艺流程为：洗净→涂布→曝光→显影→硬烤。在硬烤区，搬送基板的机械手臂需要高速移动故使用耐高温吸盘结构。目前现有的机械手臂用的真空吸盘结构如图1所示，包括h32材质的真空管路底座1＇、h32材质的防尘盖2＇、内吸盘软垫3＇和吸盘本体4＇，所述吸盘本体4＇内设有容置腔体41＇，所述内吸盘软垫3＇设置于所述容置腔体41＇内且两端呈喇叭状，一端贴合于所述吸盘本体4＇上部，一端贴合固定在所述真空管路底座1＇的出气口上。现有的真空吸盘具有如下缺点：(1)所述内吸盘软垫3＇位于所述容置腔体41＇内，且两端呈喇叭状，其整体可动性低，会造成因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率，吸盘与基板因贴合不良会造成吸真空异常造成设备稼动影响。(2)因为吸盘软垫与所述吸盘本体为贴合固定，长期在高温作业下，内吸盘软垫3＇与吸盘本体4＇的密合性不佳，导致真空无法建立，影响基板无法顺利吸附。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题，在于提供了一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，减少设备异常率，提升设备稼动率。

2、本实用新型是这样实现的：一种高温炉机械手臂用真空吸盘，包括一底座、一防尘盖、一吸盘软垫、一吸盘本体及一固定螺丝，所述底座侧面与顶面之间连通有一真空管路，且顶面设有一内螺纹的出气口；所述防尘盖通过螺栓固定于所述底座的顶面，所述防尘盖中部具有一固定通孔；所述吸盘软垫采用耐热硅胶材质制成，所述吸盘软垫的一端为中空伸缩管且外壁呈弯折状，另一端为圆形的连接座，所述连接座穿设所述防尘盖的固定通孔与所述底座连接，所述连接座中间具有一连接孔，所述连接孔与所述真空管路相对应；所述吸盘本体采用peek材质制成，其包括一吸附端和一连接端，所述吸附端呈圆盘状，所述连接端具有一向内凹设且呈喇叭状的卡接部，且与所述吸盘软垫的伸缩管的一端为过盈套装固定连接；所述固定螺丝内部贯通有一通气孔，所述吸盘软垫通过所述固定螺丝穿设所述连接孔固定于所述底座的出气口上，且所述通气孔与所述真空管路连通。

3、进一步的，所述固定通孔的直径大于所述吸盘软垫的最外直径，方便所述吸盘软垫的活动。

4、本实用新型的优点在于：通过将吸盘软垫和吸盘本体之间通过过盈套装固定连接，可以确保稳定性和气密性；通过吸盘软垫一端为中空伸缩管，通过伸缩的可动性，使真空吸盘形成多自由度活动，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率；通过设置防尘盖，用于防止吸盘软垫表面沾附上黏着物。本实用新型是一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率，降低吸盘与基板因贴合不良使吸真空异常造成设备稼动影响。

技术特征：

1.一种高温炉机械手臂用真空吸盘，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的一种高温炉机械手臂用真空吸盘，其特征在于：所述固定通孔的直径大于所述吸盘软垫的最外直径。

技术总结
本技术提供了一种高温炉机械手臂用真空吸盘，包括一底座、一防尘盖、一吸盘软垫、一吸盘本体及一固定螺丝，底座侧面与顶面之间连通有一真空管路；吸盘软垫的一端为中空伸缩管且外壁呈弯折状，另一端为圆形的连接座，连接座穿设防尘盖的固定通孔与底座连接，连接座中间具有一连接孔；吸盘本体包括一吸附端和一连接端，吸附端呈圆盘状，连接端具有一向内凹设且呈喇叭状的卡接部，且与吸盘软垫的伸缩管的一端为过盈套装固定连接；固定螺丝内部贯通有一通气孔，吸盘软垫通过固定螺丝穿设连接孔固定于底座的出气口上。本技术是一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，减少设备异常率，提升设备稼动率的真空吸盘。

技术研发人员：刘志祥,刘凌谦,张建民,苏志仁,吴俊德,林志维
受保护的技术使用者：福建华佳彩有限公司
技术研发日：20230718
技术公布日：2024/2/1