一种用于线宽测量机的掩膜版夹具的制作方法

本技术涉及检测用具，具体为一种用于线宽测量机的掩膜版夹具。

背景技术：

1、光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得 所需光掩膜版，简单地说，光掩膜基版在被刻蚀上掩膜图形之后就成为光掩膜。

2、经检索专利公开号为cn21762016u的一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，可适用于不同的线宽测量机，满足小尺寸掩膜版测量时的放版功能，将放版位置处的限位角板采用特氟龙材料，耐酸耐碱、摩擦系数低，限位角板位置处设置凹型，通过增加不同厚度垫片，可以满足不同厚度的6寸测试版，提高该夹具的适用范围，并且，夹具设置有可旋转调节位置以固定板材的定位件，板材位置固定，通过输入坐标可以快速找到板材上图形位置。

3、但是上述设备中夹座是通过定位板采用旋转螺丝连接固定的方式，与线宽测量机机台底座表面进行固定连接，当需要对夹具进行更换时，则需要操作人员对螺丝进行拆卸，因螺丝是在夹座内与线宽测量机台面进行连接，夹座内的空间有限，不便操作人员对夹座与线宽测量机进行拆卸，且拆卸时很螺丝和工具很容易出现滑丝，而造成操作人员碰伤手臂。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，包括连接座，连接座顶端开设有四个通孔，通孔内螺纹连接有螺栓，连接座通过螺栓与线宽测量机连接，所述连接座顶端安装有夹紧结构，夹紧结构之间安装有夹具组件，夹具组件顶端安装有固定结构，固定结构用于对掩膜版进行固定，夹紧结构用于对夹具组件固定；

3、所述夹具组件包括：

4、安装在夹紧结构之间的夹座，夹座顶端安装有两个提杆，提杆用于对夹座拿取，夹座顶端安装有悬空的载具，载具顶端安装有两侧定位板，载具顶端中心开设有掩膜版孔。

5、更进一步地，所述夹紧结构包括：

6、安装在连接座顶端的固定座和夹紧板，固定座顶端开设有安装孔，安装孔内安装有固定块，固定块一端安装有电机，电机输出端贯穿固定块另一端外壁并固定连接有螺纹杆，螺纹杆外壁安装有连接板，螺纹杆另一端安装有限位块。

7、更进一步地，所述固定座两侧外壁均开设有移动槽，移动槽内安装有移动杆，移动杆另一端与连接板一侧外壁固定连接，连接板一端外壁安装有连接框，连接框内壁铰接有铰接杆和连接杆。

8、更进一步地，所述铰接杆和连接杆另一端铰接有铰接座，铰接座一端安装有固定板，固定板与夹紧板相适配。

9、更进一步地，所述固定结构包括：

10、安装在载具顶端的两个支撑块，支撑块两侧外壁均开设有滑槽，滑槽内安装有滑块，滑块为工字型结构，滑块一端安装有紧固板。

11、更进一步地，所述滑块之间安装有固定杆，固定杆外壁开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺杆，螺杆一端位于螺纹孔外侧，螺杆另一端安装有支撑板，且螺杆另一端贯穿支撑板并与电机输出端相连接。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、该用于线宽测量机的掩膜版夹具，通过夹紧结构的设置，能够快速的将夹具组件进行固定，方便操作人员对夹具组件的更换和拆卸，可以对夹具组件更稳定的夹紧固定，确保夹具在测量过程中不会发生松动或移动，减少测量误差，提高测量精度，夹紧结构具有可调节的设计，可以根据不同的夹具尺寸和形状进行调整，适应不同的测量需求，提供更灵活的夹具固定方式。

14、同时，通过夹具组件上设置的固定结构，紧固板和定位板能够稳定地固定掩膜版，确保其位置和姿态的稳定性，防止掩膜版在测量过程中的移动或偏移，从而保证测量结果的准确性和可重复性，通过精确的定位和夹持，使得掩膜版与待测物体之间的接触更加紧密和均匀，减小测量时的误差和偏差，提高测量结果的精确度。

技术特征：

1.一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，包括连接座，连接座顶端开设有四个通孔，通孔内螺纹连接有螺栓，连接座通过螺栓与线宽测量机连接，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，其特征在于：

5.根据权利要求3所述的一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，其特征在于：

技术总结
本技术公开了一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，涉及检测用具技术领域。包括连接座，连接座顶端开设有四个通孔，通孔内螺纹连接有螺栓，连接座通过螺栓与线宽测量机连接，所述连接座顶端安装有夹紧结构，夹紧结构之间安装有夹具组件，夹具组件顶端安装有固定结构，固定结构用于对掩膜版进行固定。本技术通过夹紧结构的设置，能够快速的将夹具组件进行固定，方便操作人员对夹具组件的更换和拆卸，可以对夹具组件更稳定的夹紧固定，确保夹具在测量过程中不会发生松动或移动，减少测量误差，提高测量精度，夹紧结构具有可调节的设计，可以根据不同的夹具尺寸和形状进行调整，适应不同的测量需求，提供更灵活的夹具固定方式。

技术研发人员：叶丹丹
受保护的技术使用者：安徽寰球智能装备有限公司
技术研发日：20230818
技术公布日：2024/2/29