本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种六自由度驱动装置及工件台。
背景技术：
1、在半导体设备中，六自由度工件台的需求越来越大，常见的六自由度运动工件台的驱动装置多为洛伦兹电机或者通过通电线圈与halbach磁钢阵列之间的相互作用力来实现。
2、现有的驱动装置均需要用到永磁体，其在装配制造时存在安全隐患；同时，现有的驱动装置均依靠电磁感应定律和洛伦兹力原理进行能量转换，将电能转化为机械能，从而驱动工件台运动，电机效率以及响应速度均较低，驱动装置的行程较小时提供的推力小，功耗较大。
技术实现思路
1、本实用新型提供一种六自由度驱动装置及工件台，用以解决现有技术中驱动装置存在的缺陷。
2、本实用新型提供一种六自由度驱动装置，应用于驱动目标机构运动，包括：多个第一电机和多个第二电机；
3、所述第一电机和所述第二电机中至少一个为磁阻电机；
4、多个所述第一电机的动子和多个所述第二电机的动子相互连接；
5、多个所述第一电机的驱动组件不共线地布置在第一平面内，多个所述第一电机的动子均受到所述第一平面内的驱动力，用于驱动所述目标机构沿第一方向平移、沿第二方向平移和绕第三方向旋转中的至少一项运动；所述第一方向、所述第二方向与所述第三方向相互垂直；
6、多个所述第二电机的驱动组件布置在至少两个不重合的第二平面内，多个所述第二电机的动子均受到所述第三方向上的驱动力，用于驱动所述目标机构沿所述第三方向平移、绕所述第一方向旋转和绕所述第二方向旋转中的至少一项运动；所述第一平面与所述第二平面垂直。
7、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，所述第一电机设置有三个，三个所述第一电机的驱动组件在所述第一平面内形成三角形布局；
8、或者，所述第一电机设置有四个，两个所述第一电机的定子轴线平行于所述第一方向且距离不为零，两个所述第一电机的定子轴线平行于所述第二方向且距离不为零。
9、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，所述第二电机设置有三个或四个；
10、各所述第二电机的定子轴线平行于所述第三方向。
11、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，所述第一电机的驱动组件和/或所述第二电机的驱动组件包括设置于动子两侧的定子，且主线圈绕设于定子的凸齿单元。
12、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，所述动子一侧的定子包括定子座和设置于所述定子座同一侧的两个凸齿单元，每个所述凸齿单元均绕设有主线圈，且每个所述凸齿单元的端面均设置有磁场强度检测模块。
13、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，所述第一电机的驱动组件包括设置于动子一侧的定子；
14、所述定子包括定子座和设置于所述定子座同一侧的两个凸齿单元，每个所述凸齿单元均绕设有主线圈，且每个所述凸齿单元的端面均设置有多个凸齿，每个所述凸齿上均设置有一个磁场强度检测模块；
15、所述动子朝向所述定子的一侧设置有多个凸齿。
16、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，所述第一电机或所述第二电机为洛伦兹电机。
17、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，还包括位置传感器；
18、所述位置传感器设置于所述第一电机的动子和所述第二电机的动子上，用于测量对应动子的位置信息。
19、根据本实用新型提供的一种六自由度驱动装置，还包括动子连接座；
20、多个所述第一电机的动子和多个所述第二电机的动子通过所述动子连接座相互连接；
21、所述目标机构固定在所述动子连接座上。
22、本实用新型还提供一种工件台，包括工件台本体，以及上述的六自由度驱动装置；
23、所述六自由度驱动装置与所述工件台本体固定连接，或者所述六自由度驱动装置与所述工件台本体一体成型；
24、所述六自由度驱动装置用于驱动所述工件台本体运动。
25、本实用新型提供的六自由度驱动装置及工件台，该六自由度驱动装置可以应用于驱动目标机构运动，包括：多个第一电机和多个第二电机；由于第一电机和第二电机中至少一个为磁阻电机，不仅可以驱动目标机构实现六自由度运动，还可以在磁阻电机的行程较小的情况下，为目标机构提供较大推力，可以降低功耗。而且，磁阻电机中没有永磁体，具有生产制造安全、电机效率高、响应速度快、质量轻等优点，进而可以提高六自由度驱动装置的电机效率和响应速度，增加六自由度驱动装置的应用范围。
1.一种六自由度驱动装置，其特征在于，应用于驱动目标机构运动，包括：多个第一电机和多个第二电机；
2.根据权利要求1所述的六自由度驱动装置，其特征在于，所述第一电机的驱动组件和/或所述第二电机的驱动组件包括设置于动子两侧的定子，且主线圈绕设于定子的凸齿单元。
3.根据权利要求2所述的六自由度驱动装置，其特征在于，所述动子一侧的定子包括定子座和设置于所述定子座同一侧的两个凸齿单元，每个所述凸齿单元均绕设有主线圈，且每个所述凸齿单元的端面均设置有磁场强度检测模块。
4.根据权利要求1所述的六自由度驱动装置，其特征在于，所述第一电机的驱动组件包括设置于动子一侧的定子；
5.根据权利要求1所述的六自由度驱动装置，其特征在于，还包括位置传感器；
6.根据权利要求1所述的六自由度驱动装置，其特征在于，还包括动子连接座；
7.根据权利要求1所述的六自由度驱动装置，其特征在于，所述第一电机设置有三个，三个所述第一电机的驱动组件在所述第一平面内形成三角形布局；
8.根据权利要求1-7中任一项所述的六自由度驱动装置，其特征在于，所述第二电机设置有三个或四个；
9.根据权利要求1-7中任一项所述的六自由度驱动装置，其特征在于，所述第一电机或所述第二电机为洛伦兹电机。
10.一种工件台，其特征在于，包括工件台本体，以及如权利要求1-9中任一项所述的六自由度驱动装置；