示例和非限制性实施例一般涉及一种衬底运输组件。
背景技术：
1、用于运输衬底的机器人是已知的。用于运输衬底的运输机器人的线性驱动系统也是已知的，例如美国专利公开号us2016/0229296a1、us2013/0071218 a1、us2015/0214086a1和us2017/0028546a1中所描述的，并且这些专利以整体内容通过引用并入本文。
技术实现思路
1、以下概述仅旨在作为示例。本概述并不旨在限制权利要求的范围。
2、根据一个方面，示例实施例提供了一种装置，该装置包括：第一基板，其中第一基板被配置为具有至少一个线性驱动部件和/或至少一个功率耦合部件，该至少一个线性驱动部件和/或至少一个功率耦合部件被连接到该第一基板的顶侧，其中第一基板被配置为位于真空腔室内部；以及多个导轨，所述多个导轨在第一基板的顶侧上，其中第一基板的端部包括至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐，其中第一基板被配置为与第二基板组合来提供真空腔室内部的结构平台，用于供机器人驱动器沿着多个引导件在真空腔室中移动。
3、根据另一方面，提供了一种示例方法，该方法包括：在真空腔室内部连接第一基板组件，其中第一基板组件包括第一基板和第一多个导轨，该第一多个导轨在第一基板的顶侧上；在真空腔室内部连接第二基板组件，其中第二基板组件包括第二基板，其中将第二基板的端部与第一基板的端部连接，其中第一基板组件包括至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐，其中第一基板被配置为与第二基板组合来提供真空腔室内部的结构平台，用于供机器人驱动器沿着第一多个导轨在真空腔室中移动。
4、根据另一方面，提供了一种方法，该方法包括：提供基板；提供多个导轨，该多个导轨在基板的顶侧上；为基板的端部提供至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐；将以下至少一个连接到基板的顶侧：功率耦合部件，该功率耦合部件被配置为将功率传输到机器人驱动器上的另一个功率耦合部件，其中功率传输通过感应进行，或者线性马达部件，该线性马达部件被配置为提供磁场以沿着多个轨道来移动机器人驱动器，其中基板被配置为在真空腔室内部与第二基板连接，以在真空腔室内部提供结构平台，用于供机器人驱动器沿着第一多个轨道在真空腔室中移动。
1.一种运输装置，包括:
2.根据权利要求1所述的运输装置，其中，所述第一位置传感器相对于所述第一位置轨道的长度或所述第二位置轨道的长度与所述第二位置传感器间隔开。
3.根据权利要求1所述的运输装置，进一步包括所述机器人驱动器上的控制器，所述控制器被配置为基于所述间隙的位置在所述第一位置传感器的激活和所述第二位置传感器的激活之间切换。
4.根据权利要求3所述的运输装置，其中算法被实施以使用来自所述第一位置传感器和所述第二位置传感器的数据，以获得在所述第一位置传感器和所述第二位置传感器的激活之间的切换期间数据的逐渐过渡。
5.根据权利要求3所述的运输装置，其中，当所述第一位置传感器和所述第二位置传感器两者均被激活时，算法被执行以组合来自所述第一位置传感器和所述第二位置传感器的数据。
6.根据权利要求1所述的运输装置，其中，所述至少一个对齐特征被配置为将所述第一基板上的多个运输引导件与所述第二基板上的多个运输引导件对齐。
7.根据权利要求1所述的运输装置，其中，所述至少一个对齐特征包括从所述第一基板的端部延伸的至少一个突出部和延伸到所述第一基板的第一端部中的至少一个凹部。
8.根据权利要求1所述的运输装置，其中，所述第一基板的端部包括从所述第一基板的端部突出的至少一个机械连接特征，其中，所述至少一个机械连接特征被配置为通过至少一个紧固件被机械地附接至所述第二基板。
9.根据权利要求1所述的运输装置，其中，所述第一基板被配置为在所述真空室的底侧处被机械地直接附接到所述真空室。
10.根据权利要求1所述的运输装置，进一步包括所述真空室，其中所述真空室包括多个主部分和至少一个盖部分，所述多个主部分被配置为以端对端构型彼此附接，以形成细长形框架，所述细长形框架具有连接到其上的所述第一基板，其中所述主部分包括相对的横向侧壁和底壁部分，所述至少一个盖部分被配置为可移除地连接到相对的横向侧壁的顶侧。
11.根据权利要求1所述的运输装置，进一步包括连接到所述第一基板的顶侧的所述至少一个线性驱动部件，其中所述至少一个线性驱动部件被配置为提供磁场，以沿着所述多个运输引导件移动所述机器人驱动器。
12.根据权利要求1所述的运输装置，还包括所述功率耦合部件，其中所述功率耦合部件被配置为将功率转移至所述机器人驱动器上的另一个功率耦合部件，其中所述功率的转移是通过感应进行的。
13.一种用于制造运输装置的方法，包括:
14.根据权利要求13所述的方法，进一步包括相对于所述第一位置轨道的长度或所述第二位置轨道的长度，将所述第一位置传感器与所述第二位置传感器隔开。
15.根据权利要求13所述的方法，进一步包括在所述机器人驱动器上提供控制器，并且使用所述控制器基于所述间隙的位置在所述第一位置传感器的激活和所述第二位置传感器的激活之间切换。
16.根据权利要求15所述的方法，进一步包括实施算法以使用来自所述第一位置传感器和所述第二位置传感器的数据，从而获得数据在所述第一位置传感器和所述第二位置传感器的激活之间的交换机期间的逐渐过渡。
17.根据权利要求15所述的方法，进一步包括当所述第一位置传感器和所述第二位置传感器两者均被激活时，实施算法以组合来自所述第一位置传感器和所述第二位置传感器的数据。
18.一种用于制造运输装置的方法，包括: