一种半导体行业有机废液回收利用装置的制作方法

1.本实用新型属于泛半导体行业有机废液收集和回收利用技术领域，特别涉及一种应用于集成电路芯片制造行业的较高浓度有机废排液收集、储存及外送回收再利用的系统性装置，具体涉及一种半导体行业有机废液回收利用装置。


背景技术：

2.近些年，随着新能源汽车、人工智能、物联网、云计算、5g等新兴领域的快速发展，泛半导体制造行业呈现出爆发式的扩张。所谓泛半导体制造行业包括了集成电路、分立器件、光电子器件、传感器等半导体电子元器件的制造，其共同点是运用了相类似的半导体制造工艺技术，其中光刻工艺是最精密和关键的一部分。在光刻之后对其曝光的光刻胶进行显影的工艺过程中，需要用到大量高纯度的光刻胶剥离液，由于其制造工艺复杂、价格昂贵，所以对其废液进行回收利用的要求尤为迫切。而目前现有的收集装置存在以下不足之处：a、无控制反馈装置，设备仅以指示灯方式简单地显示最终状态，缺乏实时监控配套设施；b、消防装置控制需另外设置，无法与废液收集装置实行联动；c、收集装置与输入单元呈多样性衔接时，需额外考虑增加分配阀组装置，效率低且占地面积较大。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种半导体行业有机废液回收利用装置，以解决现有技术中的不足。
4.为了达到上述目的，本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的：
5.提供一种半导体行业有机废液回收利用装置，包括集液柜体、控制柜体和火警感应处理装置，所述集液柜体内设有集液桶槽、进液管道、出气管道和排风管道，所述进液管道连接所述集液桶槽，所述集液桶槽通过所述出气管道连接所述排风管道，所述进液管道上设有多个截止阀，所述截止阀包括接入口截止阀、手动截止阀和气动截止阀，所述出气管道上设有限流孔板流量计，所述排风管道的底部连接有设有排液截止阀的排液管道，所述排风管道的顶部设有排气口调节阀，所述集液桶槽的底部设有称量底座，所述控制柜体内设有控制显示单元，所述控制显示单元分别连接所述火警感应处理装置、所述气动截止阀、所述称量底座和所述排气口调节阀。
6.如所述半导体行业有机废液回收利用装置，所述集液桶槽包括主用集液桶槽和备用集液桶槽。
7.如所述半导体行业有机废液回收利用装置，所述称量底座的顶面设有多排导引所述集液桶槽推入拉出的滚柱列阵装置。
8.如所述半导体行业有机废液回收利用装置，所述进液管道、所述出气管道与所述集液桶槽的连接端均设有柔性管道连接组件。
9.如所述半导体行业有机废液回收利用装置，所述出气管道和所述排液管道上均设有光电传感器，所述光电传感器连接所述控制显示单元。
10.如所述半导体行业有机废液回收利用装置，所述火警感应处理装置包括烟雾传感器、温度传感器、火焰侦测器、二氧化碳喷射口、自动二氧化碳喷射灭火装置和二氧化碳钢瓶，所述二氧化碳钢瓶和所述自动二氧化碳喷射灭火装置设于所述控制柜体内，所述二氧化碳钢瓶通过所述自动二氧化碳喷射灭火装置连接所述二氧化碳喷射口，所述烟雾传感器、所述温度传感器、所述火焰侦测器和所述二氧化碳喷射口设于所述集液柜体内顶部。
11.本实用新型技术方案的有益效果是：
12.1、集液输入端设置有预留装置，且可模块化递增，便于输入端部件的结构简化和标准化；
13.2、配置了两套完整的集液装置，在一个集液桶槽已满或者遇到系统故障而需要维修时，保证整套装置可不间断运行；
14.3、消防装置与废液收集系统共用控制系统及显示装置，可避免消防控制失灵，同时降低设备制造及运行成本；
15.4、桶槽排气口设置有感应元件及节流装置，具有桶槽和管道系统的满溢预警及降低有机溶剂大量挥发，提升了废液收集利用率。
附图说明
16.为进一步说明本实用新型的上述目的、结构特点和效果，以下将结合附图对本实用新型进行详细的描述。
17.图1为本实用新型较佳实施例整体结构示意图；
18.图中：1、集液柜体；2、控制柜体；3、集液桶槽；4、进液管道；5、出气管道；6、排风管道；7、接入口截止阀；8、手动截止阀；9、气动截止阀；10、限流孔板流量计；11、排液截止阀；12、排气口调节阀；13、称量底座；14、控制显示单元；15、压力表；16、柔性管道连接组件；17、光电传感器；18、烟雾传感器；19、温度传感器；20、火焰侦测器；21、二氧化碳喷射口；22、自动二氧化碳喷射灭火装置；23、二氧化碳钢瓶。
具体实施方式
19.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
20.本实用新型涉及一种泛半导体制造行业的新型有机废液回收利用装置，所谓泛半导体行业，包括集成电路、分立器件、光电子器件、传感器等半导体电子元器件的制造，本装置可对其工艺过程中各种有机化学药剂废液完成收集、储存、后续再利用，尤其可专用于半导体光刻工艺中光刻胶剥离废液的回收利用。具体来说，参看图1所示，本半导体行业有机废液回收利用装置包括集液柜体1、控制柜体2、火警感应处理装置和设备落地固定支座等，集液柜体1内设有集液桶槽3、进液管道4、出气管道5和排风管道6，进液管道4连接集液桶槽3，集液桶槽3通过出气管道5连接排风管道6。进液管道4上设有多个截止阀，具体地，包括接入口截止阀7、手动截止阀8和气动截止阀9。出气管道5上设有限流孔板流量计10，排风管道6的底部连接有设有排液截止阀11的排液管道。排风管道6的顶部设有排气口调节阀12，集液桶槽3的底部设有称量底座13，控制柜体2内设有控制显示单元14，控制显示单元14分别连接火警感应处理装置、气动截止阀9、称量底座13和排气口调节阀12。
21.继续参看图1所示，排风管道6为垂直设置的排出挥发废气管道，其中部接入来自集液桶槽3的出气管道5，上端以机械连接方式接到厂务端的废气处理系统中，下端连接一根液化废液排出管。为了调节排气总量和观察排风管道6内部是否保持在负压状态，在其上端排气口安装有排气口调节阀12和压力表15。若收集的废液具有挥发性，挥发气体可通过限流孔板流量计10被排入到排风管道6中，限流孔板流量计10可通过调节排气孔径来限制排气总量，以免已收集的废液过度挥发，同时保证挥发气体具有排出通道，以免过度聚集造成危险。
22.较佳实施例中，集液桶槽3包括主用集液桶槽和备用集液桶槽两套集液装置，根据集液桶槽3中废液的积累程度可进行快速切换，在一个集液桶槽3已满或者遇到系统故障而需要维修时，保证整套装置可不间断运行。
23.称量底座13内包含自动电子秤及便于桶槽搬运的多排滚柱列阵装置，电子秤发出触发信号设置为集液桶槽3和满载废液总重量的90％，一旦总重量达到，电子秤即将信号发至控制显示单元14，触发下一步动作并立即关闭进液管道4上的气动截止阀9。
24.称量底座13的顶面设有多排导引集液桶槽3推入拉出的滚柱列阵装置。可以理解的是，滚柱列阵装置可以采用在称量底座13的顶面设置多条长槽孔，长槽孔内设置多个中间穿轴、可自由滚动的金属滚柱，本实用新型不限于此。
25.继续参看图示，进液管道4、出气管道5与集液桶槽3的连接端均设有柔性管道连接组件16，方便安装拆卸。
26.出气管道5和排液管道上均设有光电传感器17，光电传感器17连接控制显示单元14。
27.本较佳实施例中，火警感应处理装置包括烟雾传感器18、温度传感器19、火焰侦测器20、二氧化碳喷射口21、自动二氧化碳喷射灭火装置22和两个二氧化碳钢瓶23，二氧化碳钢瓶23和自动二氧化碳喷射灭火装置22设于控制柜体2内，二氧化碳钢瓶23通过自动二氧化碳喷射灭火装置22连接二氧化碳喷射口21，烟雾传感器18、温度传感器19、火焰侦测器20和二氧化碳喷射口21设于集液柜体1内顶部。当有火警危险时，即烟雾传感器18、温度传感器19、火焰侦测器20中任何一个被触发，排气口调节阀12自动关闭的同时，自动二氧化碳喷射灭火装置22的阀门被打开，两个二氧化碳喷射口21就可喷射二氧化碳予以灭火和降温，同时排气口调节阀12被自动关闭，以免喷射的二氧化碳被厂务端废气处理系统中负压抽走而影响灭火效果。
28.控制显示单元14包含控制单元及显示单元，安装在控制柜体1正面板上，与称量底座13、集液柜体1内的气动截止阀9、光电传感器17、烟雾传感器18、温度传感器19、火焰侦测器20、自动二氧化碳喷射灭火装置22、排气口调节阀12等实现电路联动。控制显示单元14具备同时兼顾消防及废液收集的功能，可将废液回收利用装置的运行状况实时传送至厂务中央控制室，节省了定时巡查的人力，同时保证了废液收集的动作可持续进行。
29.本装置的工作流程为：来自不同工艺生产设备的同类有机废液，从外部管道和集液柜体1内部管道流入集液桶槽3，其中集液柜体1侧壁预设接入口截止阀7共三个，并预留阀的安装位置和孔洞，可根据不同净化厂房内的实际需要增加接入口截止阀7的数量。接入口截止阀7可根据是否有废液接入手动打开或者关闭，称量底座13是置于集液桶槽3下面的自动称重装置，上置多排排列的滚柱装置，可导引集液桶槽3推入和拉出更换，待集液桶槽3
的重量达到满载的90％时，称量底座13输出电信号至控制显示单元14发出声光提示，并自动关闭正在工作之中管道的气动截止阀9，同时打开备用管道的气动截止阀9，废液即可继续流入备用管道的集液桶槽3。操作人员拆卸下两个柔性管道连接组件16的快速接头，推出基本满载的第一个集液桶槽3至废液集中存放点，推入空桶槽并接好两个柔性管道连接组件16，依此不断交换，可连续进行废液的收集和回收。集液桶槽3中的废液挥发气体经限流孔板流量计10和排风管道6，排至中央废气处理系统之中，其中选定合适型号的限流孔板流量计10可通过调节排气孔径而限制挥发气体的总量，同时可检测排气流量。在排气管道中和地面排液通道中，分别设置光电传感器17，分别用以检测是否有管道中凝结的废液、和桶槽中滴漏的废液，如果废液聚集量达到设定标准，则光电传感器17将发出电信号至控制显示单元14发出声光报警，提示操作人员进行检查，在集液柜体1下方放置临时集液容器，打开三个排液截止阀11可排除积累在集液柜体1底部和排风管道6中的废液。
30.本实用新型集液输入端设置有预留装置，且可模块化递增，便于输入端部件的结构简化和标准化；配置了两套完整的集液装置，在一个集液桶槽已满或者遇到系统故障而需要维修时，保证整套装置可不间断运行；消防装置与废液收集系统共用控制系统及显示装置，可避免消防控制失灵，同时降低设备制造及运行成本；桶槽排气口设置有感应元件及节流装置，具有桶槽和管道系统的满溢预警及降低有机溶剂大量挥发，提升了废液收集利用率。
31.以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。