专利名称：微机电设备墨喷嘴中的密封的制作方法
技术领域：
本发明涉及微机电(MEM)设备中的密封。本发明可应用于一种类型的喷嘴中，制造这种类型的喷嘴时将可应用于微机电系统(MEM)和金属氧化物半导体(“CMOS”)集成电路中的技术结合起来，以及今后在该应用的上下文中描述本发明。然而，应该理解，本发明能够更广泛地应用于其他类型的MEM设备内的密封。
共同未决的专利申请在下面共同未决的专利申请中公开了与本发明相关的各种方法，系统与设备，这些共同未决的专利申请是本发明的申请人或者受让人与本发明申请同时递交申请的PCT/AU00/00518，PCT/AU00/00519， PCT/AU00/00520，PCT/AU00/00521，PCT/AU00/00522， PCT/AU00/00523，PCT/AU00/00524，PCT/AU00/00525， PCT/AU00/00526，PCT/AU00/00527，PCT/AU00/00528， PCT/AU00/00529，PCT/AU00/00530，PCT/AU00/00531， PCT/AU00/00532，PCT/AU00/00533，PCT/AU00/00534， PCT/AU00/00535，PCT/AU00/00536，PCT/AU00/00537， PCT/AU00/00538，PCT/AU00/00539，PCT/AU00/00540， PCT/AU00/00541，PCT/AU00/00542，PCT/AU00/00543， PCT/AU00/00544，PCT/AU00/00545，PCT/AU00/00547， PCT/AU00/00546，PCT/AU00/00554，PCT/AU00/00556， PCT/AU00/00557，PCT/AU00/00558，PCT/AU00/00559， PCT/AU00/00560，PCT/AU00/00561，PCT/AU00/00562， PCT/AU00/00563，PCT/AU00/00564，PCT/AU00/00565， PCT/AU00/00566，PCT/AU00/00567， PCT/AU00/00568， PCT/AU00/00569，PCT/AU00/00570， PCT/AU00/00571， PCT/AU00/00572，PCT/AU00/00573， PCT/AU00/00574， PCT/AU00/00575，PCT/AU00/00576， PCT/AU00/00577， PCT/AU00/00578，PCT/AU00/00579， PCT/AU00/00581， PCT/AU00/00580，PCT/AU00/00582， PCT/AU00/00587， PCT/AU00/00588，PCT/AU00/00589， PCT/AU00/00583， PCT/AU00/00593，PCT/AU00/00590， PCT/AU00/00591， PCT/AU00/00592，PCT/AU00/00584， PCT/AU00/00585， PCT/AU00/00586，PCT/AU00/00594， PCT/AU00/00595， PCT/AU00/00596，PCT/AU00/00597， PCT/AU00/00598， PCT/AU00/00516，PCT/AU00/00517， PCT/AU00/00511， PCT/AU00/00501，PCT/AU00/00502， PCT/AU00/00503， PCT/AU00/00504，PCT/AU00/00505， PCT/AU00/00506， PCT/AU00/00507，PCT/AU00/00508， PCT/AU00/00509， PCT/AU00/00510，PCT/AU00/00512， PCT/AU00/00513， PCT/AU00/00514，PCT/AU00/00515。
这些共同未决的专利申请的公开内容在这里被用作交叉参考。
在这些高速页宽喷墨打印机中，从电阻材料中部分地形成一个致动器并且将电流施加于该杆上以便相对于基底移动该杆，从而在一张纸张上产生一个图像。该杆连至一个浆叶以便当该杆移动时将该浆叶移动从而将一滴墨滴喷至纸上。为喷出墨滴，该浆叶伸展入一个具有喷嘴孔的喷嘴腔，浆叶的移动促使墨滴从喷嘴孔内喷出。因此致动器和浆叶必须相对于喷嘴腔移动以便喷出墨滴。此外，考虑到致动器和浆叶相对于喷嘴腔的移动的必要性，必须在致动器伸入喷嘴腔的地方进行密封，以便在打印机操作时墨不至于欺骗性地从腔内泄漏。
该第二壁优选地形成于连至致动器的块上。
该块优选地实际上是矩形配置。
优选地，该第二壁在垂直于致动器移动方向的方向内具有一个宽度，该宽度实际上与腔壁的直边缘部分长度相同。
优选地，该致动器包括一个上半杆部分和一个下半杆部分，该上半杆部分具有一个开口及该块的一部分包括一个凸缘，它伸出通过所述开口以方便于将该块连至该操作杆。
该第二壁优选地离开腔壁的边缘部分一个距离，当该致动器位于静止位置时，该距离小于1微米。
该致动器优选地连至安排于腔内的一个浆叶，用于在致动器移动时以水滴形式喷出液体。
优选地，该致动器被支撑于一个支撑结构的一端，以及用于操作该设备的电路元件是被埋嵌于支撑结构之内或之上的CMOS结构内的。
优选地，通过同时淀积来形成腔壁和具有第二壁的块，其中该块具有一个上表面，当致动器位于静止位置时，该上表面实际上与该腔平行。
优选地，在边缘部分上形成一个唇边，它向外伸出腔外，该第二壁也有一个伸出腔外的唇边。
优选实施例的描述如
图1和其他相关附图中大约放大3000倍的图形所表示的，单个墨喷嘴设备1被显示为通过将MEMS和CMOS技术相结合而制造的芯片的一部分。该完整的喷嘴设备包括一个支撑结构，它具有一个硅基底20、一个金属氧化物半导体层21、一个钝化层22和一个非腐蚀介质镀层/腔形成层29。可以参照以上确认的国际专利申请号PCT/AU00/00338的关于喷嘴设备制造的公开内容。在由相同的本发明申请人提出申请的题为“微机电设备中的移动传感器”(MJ12)的共同未决申请中更全面地公开了该设备的操作。这两个申请的公开内容在说明书中被用作参考。
该喷嘴设备包括一个连至一个墨源(未示出)的墨腔24。如以下将描述的，层29形成一个腔壁23，它具有一个用于将墨滴自包含于腔24内的墨25中喷出的喷嘴孔13。如图1中所示，壁23一般是圆柱形配置，该小孔13实际上位于圆柱形壁23的中部。该壁23具有一个直边缘部分10，它形成壁23周围的一部分。
如图3中所示，该腔24也由一个周围侧壁23a、一个下侧壁23b、一个基壁(未示出)和一个基底20的边缘部分39所形成。一个致动器28形成于层22上，及支撑部分23c形成于致动器28的一端。
致动器28在制造设备时被淀积，以及能够相对于基底20和支撑部分23c通过铰链转动。致动器28包括外杆部分和内杆部分31和32。杆28的内杆部分32是一个与CMOS层21接触的电触点，用于向部分32提供电流以便通过热弯曲将杆28自图2中所示位置移动至图3中所示极端位置，以使墨滴D通过小孔13喷至纸上(未示出)。因此，层22包括用于向部分32和其他电路提供电流的电源电路，以便操作附图中所示喷嘴，如同以上共同未决的专利申请中所描述的那样。
一个块8安装于致动器28上并且包括一个凸缘部分50，该凸缘部分50伸展穿过部分31中的开口52以便于将该块8固定于致动器28上。致动器28携带一个安排于腔24内的浆叶27，它可如图1和3中所示地随着致动器移动，以便喷出墨滴D。
周围壁23a、腔壁23、块8和支撑部分23c全部都通过将用于形成层29的材料进行淀积和将保护材料腐蚀而形成，从而形成腔24、喷嘴孔23、分离块8和块8与支撑部分23c之间的空间。在基底20上淀积时也形成下半壁部分23b。
层22的端边22a与壁23的边10之间的空间形成一个致动器孔54，当致动器28处于如图1和2中所示静止状态中时，它实际上全部被壁9所关闭。当处于图1和2中所示静止位置中时，壁23的边缘部分10离开壁9一段距离，该距离小于1微米，以便形成壁9与边10之间的细槽。
当致动器28上下移动以便自腔24中喷射墨滴D时，平面壁9相对于壁23的边10上下移动，从而保持与壁23的边10的紧密相距关系。考虑到壁9与边10的邻近性，当壁9相对于边10上下移动时，在壁9与边10之间形成一个弯月形部分M。该弯月形部分M的形成在壁9与边10之间形成一个密封，从而能够减少自腔24内泄漏和浸润墨的可能性。在层22上形成的支撑凸缘56与在其上形成块8的致动器28的部分58之间也形成一个弯月形部分M2。当处于静止位置中时，该部分58靠在凸缘54上。该弯月形部分M2的形成也能减少致动器28和浆叶27移动时墨泄漏和浸润的可能性。在致动器孔54的各边(未示出)与用于形成小孔54的壁23a的各边(未示出)之间也形成一个弯月形部分(未示出)。
如图3中所示，边缘部分10可以携带一个唇边80，以及壁9也可携带一个唇边82，以便进一步减少墨自腔24中浸润至块8或壁23的上表面的可能性。唇边80可以完全伸展在壁23周围，以及类似的唇边也可被提供于小孔13上。
参照图5和6，该浆叶27通过一个自块8向外伸展的结构部分120连至致动器28的其余部分。该结构部分120能够包括一个增强结构以便增强结构部分120的强度，因而也增强浆叶27与致动器28其余部分的连接部分的强度。
图5显示增强结构的一个实施例，在此实施例中该部分120由包围于保护材料124周围的氮化钛层122和123所形成。在图6中所示第二实施例中，该层122是一个包围于保护材料126、127和128周围的波纹状层。图5和6中所示结构能够增强用于连接块8与浆叶27的结构部分120的强度。
权利要求
1.一种微机电设备，包括一个液体腔，用于盛放液体，该液体腔具有第一腔壁，该腔壁具有一个大体上直的周围边缘部分；一个腔壁内的输出孔，用于允许液体从腔内排出，一个部分地由腔壁的所述边缘部分所限定的致动器孔；一个穿过致动器孔伸入所述腔的致动器，它能够移动以便从腔内通过输出孔排放液体；一个由致动器承载并且至少覆盖一部分所述致动器孔的第二壁，该第二壁大体上是平面的，并且当致动器移动以便自腔内排放液体时能够相对于腔壁的边缘部分而移动，且其中，当致动器在腔内移动以便从腔内排放液体时，该第二壁相对于边缘部分保持紧密相距关系地移动，以便由腔内液体在边缘部分与第二壁之间形成一个弯月形部分，从而在第二壁与边缘部分之间形成密封。
2.权利要求1的设备，其中该第二壁实际上全部覆盖致动器孔。
3.权利要求1的设备，其中该第二壁形成于连至致动器的块上。
4.权利要求3的设备，其中该块大体上是矩形配置。
5.权利要求1的设备，其中该第二壁在垂直于致动器移动方向的方向内具有一个宽度，该宽度实际上与腔壁的直边缘部分长度相同。
6.权利要求1的设备，其中该致动器包括一个上半杆部分和一个下半杆部分，该上半杆部分具有一个开口及该块的一部分包括一个凸缘，它伸出通过所述开口以方便于将该块连至该操作杆。
7.权利要求1的设备，其中该第二壁离开腔壁的边缘部分一个距离，当该致动器位于静止位置时，该距离小于1微米。
8.权利要求1的设备，其中该致动器连至安排于腔内的一个浆叶，用于在致动器移动时以水滴形式喷出液体。
9.权利要求1的设备，其中该致动器被支撑于一个支撑结构的一端，以及用于操作该设备的电路元件被埋嵌于支撑结构之内或之上的CMOS结构内。
10.权利要求3的设备，其中通过同时淀积来形成腔壁和具有第二壁的块，以及其中该块具有一个上表面，当致动器位于静止位置时，该上表面实际上与该腔平行。
11.权利要求1的设备，其中在边缘部分上形成一个唇边，它向外伸出腔外，该第二壁也有一个伸出腔外的唇边。
全文摘要
一个埋嵌于墨喷嘴中的微机电设备具有一个致动器,该致动器用于移动一个喷墨桨叶,当热感应电流流过时,该致动器(28)被打开。该桨叶(27)位于一个墨腔(24)内,及该致动器(28)穿过腔(24)内的致动器孔(54)。该腔(24)部分地由墨腔(24)的上半壁(23)上的一个直边缘部分(10)所形成。该致动器(28)携带一个第二平面壁(9),用于覆盖致动器孔(54),同时当致动器28和桨叶(27)移动以便喷射墨滴(D)时,第二平面壁(9)能够相对于边缘部分(10)移动。当致动器(28)移动时,第二壁(9)相对于边缘部分(10)移动,在边缘部分(10)与第二壁(9)之间形成一个弯月形部分(M),它在第二壁(9)与腔壁(23)的边缘部分(10)之间形成一个密封。
文档编号B41J2/14GK1371323SQ00812130
公开日2002年9月25日 申请日期2000年5月24日 优先权日1999年6月30日
发明者卡·西尔弗布鲁克 申请人:西尔弗布鲁克研究股份有限公司