头芯片、液体喷射头以及液体喷射记录装置的制作方法

本公开涉及头芯片、液体喷射头以及液体喷射记录装置。

背景技术：

作为液体喷射记录装置的一种，提供有将油墨(液体)喷出(喷射)到记录纸等被记录介质来进行图像和文字等的记录的喷墨方式的记录装置(例如，参照专利文献1)。在这种方式的液体喷射记录装置中，通过从油墨储罐向喷墨头(液体喷射头)供给油墨，并从该喷墨头的喷嘴孔将油墨相对于被记录介质喷出，从而进行图像和文字等的记录。另外，在这样的喷墨头中，设有喷出油墨的头芯片。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-35454号公报。

技术实现要素：

发明要解决的问题

在这样的头芯片等中，一般要求提高可靠性。希望提供能够提高可靠性的头芯片、液体喷射头以及液体喷射记录装置。

用于解决问题的方案

本公开的一实施方式所涉及的头芯片具备：第一板，其具有用于对液体施加压力的多个压力室；第二板，其具有根据压力的施加来喷射液体的多个喷嘴孔；以及第三板，其配置于第一板以及第二板之间，并具有与多个压力室以及多个喷嘴孔各自单独连通的多个贯通孔。在贯通孔中，与第二板对置的第二开口区域比与第一板对置的第一开口区域大。

本公开的一实施方式所涉及的液体喷射头具备上述本公开的一实施方式所涉及的头芯片、以及对该头芯片供给液体的供给机构。

本公开的一实施方式所涉及的液体喷射记录装置具备上述本公开的一实施方式所涉及的液体喷射头、以及容纳液体的容纳部。

发明效果

根据本公开的一实施方式所涉及的头芯片、液体喷射头以及液体喷射记录装置，能够提高可靠性。

附图说明

图1是表示本公开的一实施方式所涉及的液体喷射记录装置的概略结构例的示意立体图；

图2是表示图1中所示的液体喷射头的详细结构例的立体图；

图3是表示图2中所示的头芯片的详细结构例的立体图；

图4是图3中所示的头芯片的分解立体图；

图5是将图4中所示的头芯片的一部分扩大而表示的分解立体图；

图6是将图3中所示的头芯片的一部分扩大而表示的剖视图；

图7是将图3中所示的头芯片的一部分扩大而表示的示意俯视图以及示意剖视图；

图8是将比较例所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意俯视图以及示意剖视图；

图9a是表示在比较例所涉及的头芯片中发生了错位的情况下的液体喷射动作的一个例子的示意剖视图；

图9b是表示在比较例所涉及的头芯片中发生了错位的情况下的液体喷射动作的其他例子的示意剖视图；

图10a是表示在本实施方式的头芯片中发生了错位的情况下的液体喷射动作的一个例子的示意剖视图；

图10b是表示在本实施方式的头芯片中发生了错位的情况下的液体喷射动作的其他例子的示意剖视图；

图11是将变形例1所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意剖视图；

图12是将变形例2所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意俯视图以及示意剖视图；

图13a是将变形例3-1所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意剖视图；

图13b是图13a中所示的头芯片的从其他方向的示意剖视图；

图13c是将变形例3-2所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意剖视图；

图14a是将变形例4-1所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意剖视图；

图14b是将变形例4-2所涉及的头芯片的一部分扩大而表示的示意剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细地说明。此外，说明按照以下的顺序进行。

1.实施方式(中间板具有倒锥状的贯通孔的情况的例1)

2.变形例

变形例1(中间板具有倒锥状的贯通孔的情况的例2)

变形例2(中间板具有阶梯状的贯通孔的情况的例子)

变形例3(液体循环方式的例1：中间板兼用为返回板的例子)

变形例4(液体循环方式的例2：另行设置返回板的情况的例子)

3.其他变形例。

<1.实施方式>

[打印机1的整体结构]

图1是将作为本公开的一实施方式所涉及的液体喷射记录装置的打印机1的概略结构例示意性地利用立体图表示的图。该打印机1是利用后述的油墨9对作为被记录介质的记录纸p进行图像和文字等的记录(打印)的喷墨打印机。

如图1所示，打印机1具备一对运送机构2a、2b、油墨储罐3、喷墨头4、供给管50以及扫描机构6。这些各部件被容纳在具有规定形状的筐体10内。此外，在本说明书的说明中使用的各附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。

在此，打印机1与本公开中的“液体喷射记录装置”的一个具体例对应，喷墨头4(后述的喷墨头4y、4m、4c、4b)与本公开中的“液体喷射头”的一个具体例对应。另外，油墨9与本公开中的“液体”的一个具体例对应。

如图1所示，运送机构2a、2b是各自将记录纸p沿着运送方向d(x轴方向)运送的机构。这些运送机构2a、2b各自具有栅格辊21、夹送辊22以及驱动机构(未图示)。栅格辊21以及夹送辊22各自沿着y轴方向(记录纸p的宽度方向)延伸设置。驱动机构是使栅格辊21围绕轴旋转(在z-x面内旋转)的机构，例如由马达等构成。

(油墨储罐3)

油墨储罐3是将油墨9容纳于内部的储罐。作为该油墨储罐3，在本例中如图1所示，设有单独地容纳黄(y)、洋红(m)、青(c)、黑(b)这四色的油墨9的4种储罐。即，设有容纳黄色的油墨9的油墨储罐3y、容纳洋红色的油墨9的油墨储罐3m、容纳青色的油墨9的油墨储罐3c、以及容纳黑色的油墨9的油墨储罐3b。这些油墨储罐3y、3m、3c、3b在筐体10内沿着x轴方向排列配置。

此外，油墨储罐3y、3m、3c、3b各自除了所容纳的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为油墨储罐3进行说明。另外，该油墨储罐3(3y、3m、3c、3b)与本公开中的“容纳部”的一个具体例对应。

(喷墨头4)

喷墨头4是从后述的多个喷嘴(喷嘴孔h2)对记录纸p喷射(喷出)液滴状的油墨9来进行图像和文字等的记录的头。作为该喷墨头4，在本例中也如图1所示，设有单独地喷射分别容纳于上述的油墨储罐3y、3m、3c、3b这四色的油墨9的4种头。即，设有喷射黄色的油墨9的喷墨头4y、喷射洋红色的油墨9的喷墨头4m、喷射青色的油墨9的喷墨头4c、以及喷射黑色的油墨9的喷墨头4b。这些喷墨头4y、4m、4c、4b在筐体10内沿着y轴方向排列配置。

此外，喷墨头4y、4m、4c、4b各自除了所利用的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为喷墨头4进行说明。另外，关于该喷墨头4的详细结构在后文描述(图2)。

供给管50是用于从油墨储罐3内向喷墨头4内供给油墨9的管。

(扫描机构6)

扫描机构6是沿着记录纸p的宽度方向(y轴方向)使喷墨头4扫描的机构。如图1所示，该扫描机构6具有沿着y轴方向延伸设置的一对导轨61a、61b、被这些导轨61a、61b以能够移动的方式支承的滑架62、使该滑架62沿着y轴方向移动的驱动机构63。另外，驱动机构63具有配置于一对导轨61a、61b之间的一对滑轮631a、631b、卷绕于这些滑轮631a、631b之间的无接头带632、使滑轮631a旋转驱动的驱动马达633。

滑轮631a、631b分别沿着y轴方向配置于与各导轨61a、61b的两端附近对应的区域。滑架62连结于无接头带632。该滑架62具有载置前述的4种喷墨头4y、4m、4c、4b的平板状的基台62a和从该基台62a垂直(z轴方向)地立起的壁部62b。在基台62a上，喷墨头4y、4m、4c、4b沿着y轴方向排列地载置。

此外，通过这样的扫描机构6和前述的运送机构2a、2b，构成使喷墨头4和记录纸p相对移动的移动机构。

[喷墨头4的详细结构]

接下来，参照图1和图2，对喷墨头4的详细结构例进行说明。图2是将喷墨头4的详细结构例利用立体图表示的图。

本实施方式中喷墨头4是沿着后述的头芯片41中的多个通道(通道c1)的延伸方向(z轴方向)喷出油墨9的、所谓边射类型的喷墨头。

如图2所示，喷墨头4具备固定板40、头芯片41、供给机构42、控制机构43以及基底板44。

如图2所示，固定板40是固定喷墨头4中的各种部件的板状的部件。具体地，在该固定板40的上表面，固定有头芯片41、供给机构42中的后述流路部件42a、基底板44。

基底板44是例如由铝(al)等金属材料形成的矩形状的板。该基底板44以垂直(z轴方向)地立起的状态固定于固定板40的上表面。

如图2所示，头芯片41是沿z轴方向喷射油墨9的部件，使用后述的各种板构成。此外，关于这样的喷墨头41的详细结构，在后文描述(图3~图7)。

(供给机构42)

供给机构42是将经由前述的供给管50被供给的油墨9相对于头芯片41(后述的油墨导入孔410a)供给的机构。如图2所示，该供给机构42具有流路部件42a、压力缓冲器42b以及油墨连结管42c。

流路部件42a是作为供油墨9流动的流路起作用的部件，固定于固定板40的上表面。压力缓冲器42b以支承于上述的基底板44的状态而配置于流路部件42a的上方。该压力缓冲器42b在内部具有存储油墨9的存储室。这样的压力缓冲器42b和流路部件42a经由油墨连结管42c相互连结。此外，在压力缓冲器42b的上部，安装有上述的供给管50。

通过这样的结构，在供给机构42中，当经由供给管50将油墨9供给到压力缓冲器42b时，油墨9临时存储于压力缓冲器42b内的存储室。而且，该压力缓冲器42b将存储于存储室的油墨9中的规定量的油墨9经由油墨连结管42c以及流路部件42a而供给到头芯片41内(油墨导入孔410a)。

(控制机构43)

如图2所示，控制机构43具有电路基板43a、驱动电路43b以及柔性基板43c，是用于控制头芯片41的动作(驱动头芯片41)的机构。

电路基板43a是搭载用于驱动头芯片41的驱动电路43b的基板。该电路基板43a固定于基底板44，相对于固定板40沿垂直方向(z轴方向)竖立设置。此外，驱动电路43b例如由集成电路(ic:integratedcircuit)等构成。

柔性基板43c是用于将上述的驱动电路43b和头芯片41中的后述的驱动电极ed之间电连接的基板。在这样的柔性基板43c中，印刷布线有后述的多个引出电极ee。

[头芯片41的详细结构]

接下来，参照图2以及图3~图7，对头芯片41的详细结构例进行说明。图3是将头芯片41的详细结构例利用立体图表示的图，图4是将该头芯片41的详细结构例利用分解立体图表示的图。另外，图5是将图4所示的头芯片41的一部分放大并利用分解立体图表示的图，图6是将图3所示的头芯片41的一部分放大并利用剖视图(x-y剖视图)表示的图。

如图3以及图4所示，头芯片41主要具备盖板410、促动器板411、喷嘴板(喷射孔板)412、中间板(间隔板)413以及支承板414。具体地，盖板410配置于促动器板411的上方(沿着y轴方向的上侧)。另外，如图3所示，这些促动器板411、盖板410以及支承板414、中间板413、喷嘴板412沿着z轴方向以该顺序层叠配置。此外，这些各部件彼此例如使用粘接剂互相贴合。

(促动器板411)

促动器板411是由例如pzt(钛酸锆酸铅)等压电材料构成的板。如图3~图6所示，在该促动器板411中，设有沿着z轴方向各自延伸的多个通道c1。详细在后文描述，这些通道c1是作为用于对油墨9施加压力的压力室而起作用的部分，以沿着x轴方向隔开规定间隔互相平行的方式排列配置。各通道c1通过由压电体(促动器板411)构成的驱动壁wd各自划界而成，在剖视时为凹状的槽部(参照图5以及图6)。

另外，这些通道c1(槽部)各自以开口于促动器板411的前端面侧(中间板413侧)的方式形成(参照图4以及图5)，并且以深度随着朝向后端面逐渐变浅的方式形成。此外，各通道c1的后端面侧被未图示的封闭部件封闭。

在此，如图3~图6所示，在这样的通道c1中，存在用于使油墨9喷出的喷出通道c1e和不使油墨9喷出的虚拟通道(非喷出通道)c1d。换言之，在喷出通道c1e中填充有油墨9，另一方面，在虚拟通道c1d中没有填充油墨9。另外，如图6所示，各喷出通道c1e与后述的喷嘴板412中的喷嘴孔h2连通，另一方面，各虚拟通道c1d与喷嘴孔h2不连通，被后述的盖板410从上方覆盖。如图3~图6所示，这些喷出通道c1e和虚拟通道c1d沿着x轴方向交错地排列配置。

在此，如图5以及图6所示，在上述的驱动壁wd中的对置的内侧面，各自设有沿着z轴方向延伸的驱动电极ed。在该驱动电极ed中存在设于面向喷出通道c1e的内侧面的公用电极和设于面向虚拟通道c1d的有源电极。此外，如图5所示，这样的驱动电极ed(公用电极以及有源电极)在驱动壁wd的内侧面上，只形成到深度方向(y轴方向)的中间位置。

另外，在相同的喷出通道c1e内对置的一对驱动电极ed(公用电极)彼此在公用端子(未图示)处相互电连接。另外，在相同的虚拟通道c1d内对置的一对驱动电极ed(有源电极)彼此相互电隔离。另一方面，经由喷出通道c1e而对置的一对驱动电极ed(有源电极)彼此在有源端子(未图示)处相互电连接。

在此，如前所述，这些驱动电极ed和电路基板43a中的驱动电路43b之间，经由形成于柔性基板43c的多个引出电极ee而电连接(参照图3以及图5)。由此，经由柔性基板43c从驱动电路43b对各驱动电极ed施加驱动电压。此外，此时，设于喷出通道c1e内的驱动电极ed(公用电极)和设于虚拟通道c1d内的驱动电极ed(有源电极)以极性相互不同的方式被施加驱动电压。

此外，这样的促动器板411与本公开中的“第一板”的一个具体例对应。另外，促动器板411中的各通道c1与本公开中的“压力室”的一个具体例对应。

(盖板410)

如图3~图6所示，盖板410配置于促动器板411的上表面，为板状构造。另外，如图3以及图4所示，油墨9被供给来的油墨导入孔410a以沿着x轴方向延伸的方式形成于在该盖板410。该油墨导入孔410a由凹状的槽部形成。

在该油墨导入孔410a中，在与促动器板411的各喷出通道c1e对应的区域中，如图3~图6所示，形成有将盖板410沿着其厚度方向(y轴方向)贯通的多个狭缝410b。这些各狭缝410b与各喷出通道c1e的延伸方向相同，以沿着z轴方向延伸的方式形成。另外，油墨导入孔410a经由各狭缝410b与各喷出通道c1e连通，另一方面，与各虚拟通道c1d不连通。即，各虚拟通道c1d被油墨导入孔410a的底部封堵。这样，在各喷出通道c1e中填充有油墨9，另一方面，在各虚拟通道c1d中没有填充油墨9。

(支承板414)

如图3以及图4所示，支承板414对重合的促动器板411以及盖板410进行支承，并且还对后述的喷嘴板412以及中间板413进行支承。

如图4所示，在该支承板414，形成有沿x轴方向延伸的嵌合孔414a。在该嵌合孔414a内，重合的促动器板411以及盖板410各自以嵌入的状态下被支承。此时，如图3所示，支承板414的中间板413侧的端面的位置与促动器板411以及盖板410的前端面(中间板413侧的端面)的位置各自一致。

而且，在支承板414的中间板413侧的端面和促动器板411以及盖板410的前端面，以使中间板413间置于中间的状态，使用粘接剂贴合有喷嘴板412。

(喷嘴板412)

喷嘴板412例如为具有50μｍ左右的厚度的由聚酰亚胺等膜材料构成的板。在该喷嘴板412中，一个面为粘接于中间板413的粘接面，另一个面为与记录纸p对置的对置面。此外，为了防止油墨9的附着等，在该对置面涂覆有具有拒液性的拒涂膜(未图示)。

另外，如图3以及图4所示，在该喷嘴板412，设有沿着x轴方向延伸的喷嘴列。该喷嘴列具有沿着x轴方向隔开规定间隔地在一条直线上排列地形成的、多个喷嘴孔h2。这些喷嘴孔h2各自将喷嘴板412沿着z轴方向贯通，例如如图6所示，与促动器板411的各喷出通道c1e内连通。另外，喷嘴孔h2的沿着x轴方向的形成间距与喷出通道c1e的沿着x轴方向的形成间距相同(相同间距)。而且，如图6所示，各喷嘴孔h2在各喷出通道c1e内以位于沿着x轴方向的中心附近的方式形成。

这样的各喷嘴孔h2的剖面(x-y剖面)例如形成为圆形状。另外，详细在后文描述(图7)，在各喷嘴孔h2中，位于上述的粘接面侧(中间板413侧)的入口径rin比位于上述的对置面侧(记录纸p侧)的出口径rout大。即，各喷嘴孔h2的剖面为随着朝向出口而逐渐缩小直径的锥状。此外，这样的喷嘴孔h2例如使用准分子激光器(excimerlaser)等而形成。

详细在后文描述，从这样的喷嘴孔h2分别将从喷出通道c1e内被供给的油墨9与压力的施加对应地喷出(喷射)。此外，这样的喷嘴板412与本公开中的“第二板”的一个具体例对应。

(中间板413)

如图3以及图4所示，中间板413沿着z轴方向配置于促动器板411、盖板410以及支承板414与喷嘴板412之间，并通过粘接剂与这些各部件贴合。也就是说，详细在后文描述(图7)，中间板413配置于促动器板411和喷嘴板412之间。

另外，如图4所示，该中间板413具有沿着x轴方向隔开规定间隔地在一条直线上排列地形成的、多个贯通孔h3。在该例中，这些贯通孔h3各自具有矩形状的剖面，并将中间板413沿着其厚度方向(z轴方向)贯通，其中该矩形状的剖面沿着y轴方向具有长轴，并且沿着x轴方向具有短轴，另外，这些贯通孔h3各自与促动器板411的多个喷出通道c1e内和喷嘴板412的多个喷嘴孔h2内分别单独地连通。而且，贯通孔h3的沿着x轴方向的形成间距与喷出通道c1e的沿着x轴方向的形成间距、以及喷嘴孔h2的沿着x轴方向的形成间距各自相同(相同间距)。

这样的中间板413例如由陶瓷或聚酰亚胺等材料构成，但只要对油墨9具有耐性，也可以自由地选择。另外，该中间板413与促动器板411以及盖板410的接合体、喷嘴板412粘接。因此，为了使在各板(中间板413、促动器板411、盖板410以及喷嘴板412)中的相互的热变形大致等同，希望在各板中具有大致等同的热变形特性。另外，中间板413的热膨胀系数k3希望为促动器板411的热膨胀系数k1和喷嘴板412的热膨胀系数k2之间的值。具体地，希望设为满足(k1≧k3≧k2)或(k1≦k3≦k2)这样的大小关系。这是因为，在设为满足这样的大小关系的情况下，在上述的各板彼此的粘接工序时，即使在例如存在喷嘴板412的热变形(由热导致的拉伸缩小)的情况下，也能够在中间板413中将这样的热变形吸收。

在此，参照图7，对这样的中间板413和促动器板411以及喷嘴板412的层叠构造例进行详细地说明。图7是将图3中所示的头芯片41的一部分扩大而示意性地表示的图。具体地，图7(a)示出示意性的俯视图(x-y俯视图)，图7(b)示出示意性的剖视图(z-x剖视图)。另外，图7(c)示出仅关于中间板413的示意性的剖视图(z-y剖视图)。

此外，在这些图7(a)、图7(b)中，分别将各通道c1的x轴方向的长度图示为通道宽度lc，将驱动壁wd的x轴方向的长度图示为驱动壁宽度lw。另外，在图7(a)、图7(b)中，还分别对前述的喷嘴孔h2的入口径rin以及出口径rout(各自的x轴方向的长度)进行了图示。

在此，如图7(a)、图7(b)、图7(c)所示，在中间板413的贯通孔h3中，与喷嘴板412对置的开口区域a2比与促动器板411对置的开口区域a1大。也就是说，为开口区域a2的面积(x-y平面上的面积)的开口面积sa2比为开口区域a1的面积(x-y平面上的面积)的开口面积sa1大(sa1＜sa2)。换言之，开口区域a2的x轴方向的长度(开口宽度la2)比开口区域a1的x轴方向的长度(开口宽度la1)大(la1<la2)。

而且，如图7(a)、图7(b)所示，在本实施方式的贯通孔h3中，开口区域a1的开口宽度la1比通道c1的通道宽度lc大(la1>lc)。另外，该开口区域a1从喷出通道c1e的对置区域延伸至与该喷出通道c1e邻接的两侧的驱动壁wd的对置区域为止。同样地，开口区域a2也从喷出通道c1e的对置区域延伸至与该喷出通道c1e邻接的两侧的驱动壁wd的对置区域为止。也就是说，在本实施方式的贯通孔h3中，开口区域a1、a2双方延伸至与喷出通道c1e邻接的两侧的驱动壁wd的对置区域为止，而没有到达虚拟通道c1d的对置区域。

另外，如图7(b)、图7(c)所示，本实施方式的贯通孔h3包含剖面积从开口区域a1侧到开口区域a2侧为止逐渐变大的倒锥状部分。特别是，在该中间板413中，贯通孔h3整体为剖面积从开口区域a1到开口区域a2为止逐渐变大的倒锥状的贯通孔。即，这样的倒锥状的贯通孔h3例如通过对中间板413实施喷砂处理、各向异性的蚀刻加工而形成。

在此，这样的中间板413与本公开中的“第三板”的一个具体例对应。另外，开口区域a1与本公开中的“第一开口区域”的一个具体例对应，并且开口区域a2与本公开中的“第二开口区域”的一个具体例对应。

[动作以及作用·效果]

[a.打印机1的基本动作]

在该打印机1中，如以下那样，进行对记录纸p的图像和文字等的记录动作(打印动作)。此外，作为初始状态，在图1所示的四种油墨储罐3(3y、3m、3c、3b)中各自充分地封入有对应的颜色(四色)的油墨9。另外，油墨储罐3内的油墨9为通过水头差经由供给管50而供给到压力缓冲器42b的状态。因此，规定量的油墨9为经由油墨连结管42c以及流路部件42a向头芯片41的油墨导入孔410a被供给，并经由狭缝410b填充到喷出通道c1e内的状态。

当在这样的初始状态下使打印机1工作时，通过使运送机构2a、2b的栅格辊21各自旋转，从而在栅格辊21和夹送辊22之间沿着运送方向d(x轴方向)运送记录纸p。另外，与这样的运送动作同时，驱动机构63的驱动马达633通过使滑轮631a、631b各自旋转，从而使无接头带632动作。由此，滑架62一边被导轨61a、61b引导，一边沿着记录纸p的宽度方向(y轴方向)往复移动。然后此时，通过各喷墨头4(4y、4m、4c、4b)使四色油墨9适当喷出到记录纸p，从而进行对该记录纸p的图像和文字等的记录动作。

(b．喷墨头4的详细动作)

接下来，参照图1~图6，对喷墨头4的详细动作(油墨9的喷射动作)进行说明。即，在本实施方式的喷墨头4(边射类型)中，如以下那样，进行使用剪切(共用)模式的油墨9的喷射动作。

首先，当上述的滑架62(参照图1)的往复移动开始时，驱动电路43b经由柔性印刷基板43c对喷墨头4内(头芯片41)的驱动电极ed施加驱动电压。具体地，驱动电路43b对各驱动电极ed施加驱动电压，该各驱动电极ed配置于将喷出通道c1e划界而成的一对驱动壁wd。由此，这些一对驱动壁wd各自以向与该喷出通道c1e邻接的虚拟通道c1d侧突出的方式变形(参照图5、图6)。

在此，如前所述的驱动电极ed只形成到驱动壁wd的内侧面上的深度方向的中间位置为止。因此，通过由驱动电路43b施加驱动电压，从而使驱动壁wd以驱动壁wd的深度方向的中间位置为中心弯曲变形为v字状。而且，通过这样的驱动壁wd的弯曲变形，喷出通道c1e以类似膨胀的方式变形。

这样，通过在一对驱动壁wd处的因压电厚度滑移效果引起的弯曲变形，喷出通道c1e的容积增大。而且，通过使喷出通道c1e的容积增大，油墨导入孔410a内的油墨9经由狭缝410b向喷出通道c1e内被诱导(参照图5、图6)。

接下来，这样向喷出通道c1e内被诱导的油墨9成为压力波并向喷出通道c1e的内部传播。而且，在该压力波到达喷嘴板412的喷嘴孔h2的时点下，施加于驱动电极ed的驱动电压变为0(零)v。由此，驱动壁wd从上述的弯曲变形的状态复原，其结果，临时增大的喷出通道c1e的容积再次回到原样(参照图5、图6)。

这样，当喷出通道c1e的容积回到原样时，喷出通道c1e内部的压力增加，喷出通道c1e内的油墨9被加压。其结果，液滴状的油墨9通过喷嘴孔h2向外部(朝向记录纸p)喷出(参照图5、图6)。这样，进行喷墨头4中的油墨9的喷射动作(喷出动作)，其结果，进行对记录纸p的图像和文字等的记录动作。

特别是，如前所述，本实施方式的喷嘴孔h2为随着朝向出口而逐渐缩小直径的剖面(参照图7)，因此能够以高速将油墨9笔直地(前进性良好地)喷出。由此，能够进行高画质的记录。

(c.作用·效果)

接下来，一边与比较例进行比较，一边对本实施方式的头芯片41、喷墨头4以及打印机1的作用以及效果进行详细地说明。

(比较例)

图8是将比较例所涉及的头芯片(头芯片104)的一部分扩大而示意性地表示的图。具体地，图8(a)示出示意性的俯视图(x-y俯视图)，图8(b)示出示意性的剖视图(z-x剖视图)。另外，图9a以及图9b各自是在该比较例所涉及的头芯片104中，产生了后述的喷嘴板412的错位的情况下的油墨9的喷射动作例利用示意性的剖视图(z-x剖视图)表示的图。

如图8(a)、图8(b)所示，该比较例的头芯片104对应的是，在图7(a)、图7(b)所示的本实施方式的头芯片41中，在促动器板411和喷嘴板412之间不设置中间板413的头芯片。也就是说，在头芯片104中，在促动器板411和喷嘴板412之间不介入中间板413，使促动器板411和喷嘴板412通过粘接剂直接贴合。

具体地，在组装该头芯片104时，将喷嘴板412相对于促动器板411直接安装的工序例如如以下那样进行。即，首先，在促动器板411的前述的前端面上涂覆具有热固性的粘接剂(例如环氧树脂类的粘接剂)。接下来，例如以成为如图8(b)所示的配置位置的方式，进行促动器板411的各喷出通道c1e和喷嘴板412的各喷嘴孔h2的定位，同时使喷嘴板412与促动器板411的前端面接触。而且，通过在这样的接触状态下进行加热处理，促动器板411和喷嘴板412被粘接，从而被直接贴合。

在此，在这样的比较例的头芯片104中，例如存在产生以下那样的问题点的风险。即，首先，在想要增加对记录纸p的图像和文字等的记录密度的情况下(谋求高分辨率的情况下)，在头芯片104中，通道c1(喷出通道c1e)间的间距(通道宽度lc和驱动壁宽度lw的长度)变小，谋求窄间距化。另外，在谋求这样的高分辨率的情况下，当要将油墨9的液滴尺寸确保为与以往相同程度时，在喷嘴板412中，各喷嘴孔h2的直径(入口径rin以及出口径rout)也确保为与以往相同程度的大小。

然而，在要谋求高分辨率化的同时确保喷嘴孔h2的直径的情况下，如上所述，在对促动器板411直接安装(贴合)喷嘴板412时，各喷嘴孔h2的定位变得困难。具体地，例如如图8(b)所示，在将各喷嘴孔h2相对于各喷出通道c1e定位时，由于误差的容许范围小，因此它们之间产生错位的风险变高。

而且，例如如图9a以及图9b所示，在各喷嘴孔h2的端部从喷出通道c1e的对置区域内到邻接的驱动壁wd的对置区域内为止偏移的情况下，存在例如产生以下那样的油墨9的喷出不良的风险。即，例如在利用图9(a)、图9(b)中的附图标记p101、p102所示的部位处，当粘接剂流入到喷嘴孔h2内时，存在因压力聚集不均一导致油墨9的喷出方向弯曲(变为向倾斜方向的喷出动作)的风险(参照9(a)、图9(b))。

这样，在比较例的头芯片104中，在将喷嘴板412的各喷嘴孔h2相对于促动器板411的各喷出通道c1e定位时，存在由误差的容许范围小引起发生油墨9的喷出不良的风险。而且，当存在这样的发生油墨9的喷出不良的风险时，在头芯片104(和具备该头芯片104的喷墨头以及打印机)中，可靠性下降。

(本实施方式)

与此相对，在本实施方式的头芯片41中，如图7(a)、图7(b)所示，在促动器板411和喷嘴板412之间，设有具有多个贯通孔h3的中间板413。而且，在该中间板413的贯通孔h3中，与喷嘴板412对置的开口区域a2(开口面积sa2)比与促动器板411对置的开口区域a1(开口面积sa1)大。

由此，在本实施方式的头芯片41中，与上述比较例的头芯片104相比，上述的定位时的误差的容许范围变大。即，在该头芯片41中，在经由中间板413将喷嘴板412朝向促动器板411安装时，将各喷嘴孔h2相对于各喷出通道c1e定位时的误差的容许范围变大。

这是由于以下的理由。即，首先，在如图8(a)、图8(b)中所示的比较例的头芯片104中，通道宽度lc和喷嘴孔h2的入口径rin的差的一半(=(lc-rin)/2)为定位时的误差的容许范围。另一方面，在如图7(a)、图7(b)中所示的本实施方式的头芯片41中，贯通孔h3的开口区域a2的开口宽度la2和喷嘴孔h2的入口径rin的差的一半(=(la2-rin)/2)为定位时的误差的容许范围。而且，如前所述，开口区域a1的开口宽度la1比通道宽度lc大(la1>lc)，并且开口区域a2的开口宽度la2比开口区域a1的开口宽度la1大(la1<la2)。由此，可以说在本实施方式的头芯片41中，与上述比较例的头芯片104相比，上述的定位时的误差的容许范围变大。

作为一个例子，在通道宽度lc=70μｍ，喷嘴孔h2的入口径rin=60μｍ的情况下，在上述比较例的头芯片104中，定位时的误差的容许范围为(lc-rin)/2=±5μｍ，容许范围非常小。另一方面，在本实施方式的头芯片41中，当设为开口区域a2的开口宽度la2=100μｍ时，该情况下的定位时的误差的容许范围为(la2-rin)/2=±20μｍ，与比较例相比，容许范围非常大。

这样，在本实施方式的头芯片41中，与比较例的头芯片104相比，上述的定位时的误差的容许范围变大，因此与上述的比较例相比，难以产生由错位引起的油墨9的喷出不良。

在此，图10a以及图10b各自是在本实施方式的头芯片41中，将产生了喷嘴板412的错位的情况下的油墨9的喷射动作例利用示意性的剖视图(z-x剖视图)表示的图。如这些图10a以及图10b所示，即使在各喷嘴孔h2的端部从喷出通道c1e的对置区域内到邻接的驱动壁wd的对置区域内为止偏移的情况下，也与图9a、图9b所示的比较例的情况不同，在本实施方式中不产生油墨9的喷出不良。即，即使在这样的情况下，由于粘接剂不会流入到喷嘴孔h2内(参照图10a、图10b中的附图标记p11、p12)，因此避免油墨9的喷出方向弯曲(变为向倾斜方向的喷出动作)(参照10a、图10b)。

如以上那样在本实施方式的头芯片41中，在促动器板411和喷嘴板412之间，设有具有开口区域a2比开口区域a1大的多个贯通孔h3的中间板413，因此成为以下那样。即，在经由中间板413将喷嘴板412朝向促动器板411安装时，能够抑制由各喷嘴孔h2的错位引起的油墨9的喷出不良等。由此，在本实施方式中，与上述比较例相比，能够提高头芯片41(和喷墨头4以及打印机1)的可靠性。

另外，在本实施方式的头芯片41中，这样的贯通孔h3为剖面积从开口区域a1到开口区域a2为止逐渐变大的倒锥状的贯通孔，因此能够获得例如以下那样的效果。即，由于为倒锥状的贯通孔h3，在中间板413中，开口区域a1和开口区域a2之间的面积的不同(开口面积sa1、sa2间的不同)变得容易利用单一的板而形成。因此，中间板413仅为单一的板(部件)即可，因此与例如将中间板413利用多层板而形成的情况相比，能够使头芯片41整体便宜地制造。

进一步地，在本实施方式的头芯片41中，与比较例的头芯片104不同，不需要考虑前述的粘接剂向喷嘴孔h2内的流入，因此能够例如容易谋求前述的头芯片41的窄间距化和高分辨率化。

<2.变形例>

接下来，对上述实施方式的变形例(变形例1~4)进行说明。此外，对与实施方式同样的构成要素附以相同的符号，并适当省略说明。

[变形例1]

图11是将变形例1所涉及的头芯片(头芯片41a)的一部分扩大而示意性地利用剖视图(z-x剖视图)表示的图。

本变形例的头芯片41a对应的是，在实施方式的头芯片41中，取代中间板413，设有以下说明的中间板413a的头芯片，其他结构基本相同。另外，该中间板413a对应的是，在中间板413中，变更多个贯通孔h3的各形状，并且不是由单一的板，而是由多层板(在本变形例中为两层板81、82)构成的中间板。此外，这样的中间板413a与本公开中的“第三板”的一个具体例对应。

具体地，如图11所示，首先，在中间板413a中也与中间板413相同，在贯通孔h3中，与喷嘴板412对置的开口区域a2比与促动器板411对置的开口区域a1大。也就是说，在中间板413a中也与中间板413相同，开口区域a2的开口面积sa2比开口区域a1的开口面积sa1大(sa1<sa2)，并且开口宽度la2比开口宽度la1大(la1<la2)。另外，在中间板413a的贯通孔h3中，也与中间板413的贯通孔h3相同，该开口宽度la1比通道c1的通道宽度lc大(la1>lc)。

但是，在该中间板413a的贯通孔h3中，与中间板413的贯通孔h3(倒锥状的贯通孔)不同，为以下那样。即，该中间板413a由第一级板81和第二级板82形成，该第一级板81形成有具有开口宽度la1的第一级贯通孔h3，该第二级板82形成有由倒锥状构成的第二级贯通孔h3。也就是说，在该第二级板s2的倒锥状的贯通孔h3中，剖面积从开口宽度la1到开口宽度la2(>la1)为止逐渐变大。对其换言之，中间板413a整体中的贯通孔h3包含剖面积从开口区域a1侧到开口区域a2侧为止逐渐变大的倒锥状部分(第二级板82的贯通孔的部分)。

在这样的结构的本变形例的头芯片41a中，基本上能够通过与实施方式的头芯片41相同的作用来获得同样的效果。

[变形例2]

在上述实施方式以及变形例1中各自对中间板具有倒锥状的贯通孔的情况的例子进行了说明，但在以下的变形例2中，对中间板具有阶梯状的贯通孔的情况的例子进行说明。

(结构)

图12是将变形例2所涉及的头芯片(头芯片41b)的一部分扩大而示意性地表示的图。具体地，图12(a)示出示意性的俯视图(x-y俯视图)，图12(b)示出示意性的剖视图(z-x剖视图)。

本变形例的头芯片41b对应的是，在实施方式的头芯片41中，取代中间板413，设有以下说明的中间板413b的头芯片，其他结构基本相同。另外，该中间板413b对应的是，在中间板413中，变更多个贯通孔h3的各形状，并且不是由单一的板，而是由多层板(在本变形例中为两层板71、72)构成的中间板。此外，这样的中间板413b与本公开中的“第三板”的一个具体例对应。

具体地，如图12(a)、图12(b)所示，首先，在中间板413b中也与中间板413相同，在贯通孔h3中，与喷嘴板412对置的开口区域a2比与促动器板411对置的开口区域a1大。也就是说，在中间板413b中也与中间板413相同，开口区域a2的开口面积sa2比开口区域a1的开口面积sa1大(sa1<sa2)，并且开口宽度la2比开口宽度la1大(la1<la2)。另外，在中间板413b的贯通孔h3中，也与中间板413的贯通孔h3相同，该开口宽度la1比通道c1的通道宽度lc大(la1>lc)。

但是，在该中间板413b的贯通孔h3中，与中间板413的贯通孔h3(倒锥状的贯通孔)不同，贯通孔h3的剖面积从开口区域a1到开口区域a2为止以阶梯状变大。具体地，在图12(a)、图12(b)中所示的例子中，该阶梯状的剖面积的阶梯的级数为二级。换言之，该中间板413b由第一级板71和第二级板72形成，该第一级板71形成有具有开口宽度la1的第一级贯通孔h3，该第二级板72形成有具有开口宽度la2(>la1)的第二级贯通孔h3。

另外，如图12(a)、图12(b)所示，在该中间板413b中与中间板413不同，贯通孔h3的开口区域a2从喷出通道c1e的对置区域延伸到与该喷出通道c1e邻接的虚拟通道c1d的对置区域为止。也就是说，在该例中，la2>(lc+2×lw)。

(作用·效果)

在这样的结构的本变形例的头芯片41b中，基本上能够通过与实施方式的头芯片41相同的作用来获得同样的效果。

具体地，在本变形例的头芯片41b中，在促动器板411和喷嘴板412之间，也设有具有开口区域a2比开口区域a1大的多个贯通孔h3的中间板413a，因此成为以下那样。即，在经由中间板413b将喷嘴板412朝向促动器板411安装时，能够抑制由各喷嘴孔h2的错位引起的油墨9的喷出不良等。由此，在本变形例中，与前述的比较例相比，能够提高头芯片41b的可靠性。

另外，特别是在本变形例的头芯片41b中，中间板413b的贯通孔h3的剖面积从开口区域a1到开口区域a2为止阶梯状地变大，因此能够获得例如以下那样的效果。即，贯通孔h3的开口区域a1、a2的大小和形状能够各自较大地变更。另外，例如使阶梯状的贯通孔h3的每一级的部件都不同，从而使中间板413b容易多层化(在该例中为谋求基于两张板71、72的多层化)。具体地，例如在促动器板411和喷嘴板412中热膨胀系数差异较大的情况下等，通过使中间板413b内包含热膨胀系数为它们的中间值的部件(在该例中为板71、72的任一个)，从而使因头芯片41b的变形而产生的应力变得容易吸收。其结果，例如促动器板411、中间板413b以及喷嘴板412彼此变得难以剥离。由此，能够提高设计头芯片41b时的自由度，并且还能够提高头芯片41b的耐久性(可靠性)。

进一步地，在本变形例的头芯片41b中，中间板413b的贯通孔h3的开口区域a2从喷出通道c1e的对置区域延伸到与该喷出通道c1e邻接的虚拟通道c1d的对置区域为止，因此能够获得例如以下那样的效果。即，各喷嘴孔h2的定位时的误差的容许范围变得更大，并且油墨9不会从虚拟通道c1d的对置区域被喷出，因此不会产生对油墨9的喷射动作的坏影响。由此，能够进一步提高头芯片41b的可靠性。

[变形例3、4]

在上述实施方式以及变形例1、2中，均以油墨9不循环的非循环方式的喷墨头为例进行了说明，但以下的变形例3、4中，均对向油墨9循环的液体循环方式的喷墨头的适用例进行了说明。

而且，在该液体循环方式的喷墨头中，如以下详述那样，油墨9在头芯片内和头芯片的外部(油墨储罐3内)之间循环。在这样的液体循环方式的喷墨头中，新鲜的油墨9总是被供给到喷嘴孔h2的附近，因此在例如使用了干燥性高的油墨9的情况下，也能够防止喷嘴孔h2的附近的油墨的干燥，从而降低油墨9的喷出不良。

(变形例3的结构)

图13a以及图13c是各自将变形例3(变形例3-1、3-2)所涉及的头芯片的一部分扩大而示意性地利用剖视图(z-x剖视图)表示的图。另外，图13b是将图13a中所示的变形例3-1所涉及的头芯片的一部分扩大而示意性地利用剖视图(y-z剖面)表示的图。此外，图13b中所示的沿着ii-ii线的剖视图与图13a中所示的剖视图对应。

在这些变形例3-1、3-2的头芯片中各自如以下说明的那样，具有多个贯通孔h3的中间板兼用为具有油墨9的流路的返回板。也就是说，该中间板(返回板)的贯通孔h3(返回路)经由喷墨头的油墨出口与打印机的油墨储罐连通。而且，在头芯片中用于对在喷出中没有被利用的油墨9进行再利用的循环机构设于喷墨头。

具体地，在图13a、图13b中所示的变形例3-1所涉及的头芯片41中，在实施方式中说明的中间板413还作为具有油墨9的流路的返回板而起作用。而且，在该头芯片41内和油墨储罐3内之间循环的油墨9流入到头芯片41内(喷出通道c1e内)，并且经由中间板413的贯通孔h3(返回路)从头芯片41内流出(参照图13a、图13b)。

另外，在图13c中所示的变形例3-2所涉及的头芯片41b中，在变形例2中说明的中间板413b还作为具有油墨9的流路的返回板而起作用。而且，在该头芯片41b内和油墨储罐3内之间循环的油墨9流入到头芯片41b内(喷出通道c1e内)，并且经由中间板413b的贯通孔h3(返回路)从头芯片41b内流出(参照图13c)。

(变形例4的结构)

图14a以及图14b是各自将变形例4(变形例4-1、4-2)所涉及的头芯片的一部分扩大而示意性地利用剖视图(z-x剖视图)表示的图。在这些变形例4-1、4-2的头芯片中各自如以下说明的那样，具有油墨9的流路的返回板与具有多个贯通孔h3的中间板分开设置。

具体地，在图14a中所示的变形例4-1所涉及的头芯片41c中，与在实施方式中说明的中间板413分开地，设有具有油墨9的流路c5(返回路)的返回板415。详细地，在该头芯片41c中，在中间板413和喷嘴板412之间，设有这样的返回板415。而且，在该头芯片41c内和油墨储罐3内之间循环的油墨9流入到头芯片41c内(喷出通道c1e内)，并且经由中间板413的贯通孔h3以及返回路板415的流路c5从头芯片41c内流出(参照图14a)。

另外，在图14b中所示的变形例4-2所涉及的头芯片41d中，与在变形例2中说明的中间板413b分开地，设有具有油墨9的流路c5(返回路)的返回板415。详细地，在该头芯片41d中，在中间板413b和喷嘴板412之间，设有这样的返回板415。而且，在该头芯片41d内和油墨储罐3内之间循环的油墨9流入到头芯片41d内(喷出通道c1e内)，并且经由中间板413b的贯通孔h3以及返回路板415的流路c5从头芯片41d内流出(参照图14b)。

(变形例3、4的作用·效果)

在这样的结构的变形例3、4的头芯片中，分别将在实施方式以及变形例2中说明的中间板413、413b适用于液体循环方式的喷墨头，因此为以下那样。即，除了实施方式以及变形例2中的效果以外，例如还能够获得以下那样的效果。具体地，在油墨9经由贯通孔h3流到头芯片内时，难以产生油墨9的流动的沉淀。由此，在这些变形例3、4中各自能够谋求油墨9的循环动作的稳定化，从而能够进一步提高头芯片的可靠性。

另外，如在图13a、图14a中所示的变形例3-1、4-1所涉及的头芯片那样，在中间板413的贯通孔h3为倒锥状的情况下，上述的那样的难以产生油墨9的流动的沉淀的效果会变得特别大。由此，在这些情况下，能够谋求油墨9的循环动作的进一步的稳定化，从而能够更进一步提高头芯片的可靠性。

<3.其他变形例>

以上，举了几个实施方式以及变形例对本公开进行了说明，但本公开不限定于这些实施方式等，能够进行各种变形。

例如，在上述实施方式等中，具体地举了打印机、喷墨头以及头芯片的各部件的构成例(形状、配置、个数等)进行了说明，但在上述实施方式等中说明的并不限定于此，也可以是其他形状和配置、个数等。另外，关于在上述实施方式等中说明的各种参数的值和范围、大小关系等，也不限定于上述实施方式等中说明的，也可以是其他值和范围、大小关系等。

具体地，例如，在上述变形例中，在贯通孔h3的剖面积以阶梯状变大的情况下，举了该阶梯的级数为两级的例子进行了说明，但不限定于该例子，例如，该级数也可以是三级以上的多级。另外，在上述实施方式等中，在贯通孔h3为倒锥状的情况下，举了开口区域a2未延伸到虚拟通道c1d的对置区域为止的例子进行了说明，但不限定于该例子。即，与如在上述变形例中说明的那样，贯通孔h3的剖面积以阶梯状变大的情况相同，也可以在贯通孔h3为倒锥状的情况下，使开口区域a2延伸到虚拟通道c1d的对置区域为止。

另外，例如，在上述实施方式等中，举了贯通孔h3的剖面形状为矩形状的情况的例子进行了说明，但贯通孔h3的剖面形状不限定于该例子，例如，也可以为圆形状和椭圆形状、或者三角形状等多角形状、星形形状等。进一步地，关于喷嘴孔h2的剖面形状，也不限定于在上述实施方式等中说明的那样的圆形状，例如，也可以为椭圆形状、三角形状等多角形状、星形形状等。

除此以外，本公开的“头芯片”不仅适用于在上述实施方式等中说明的方式的头芯片，也能够适用于例如所谓屋顶型头芯片、所谓泡沫型头芯片等其他方式的头芯片。此外，在上述的屋顶型头芯片中，在相当于本公开的“第一板”的板内，设有相当于本公开的“多个压力室”的多个泵室，并且在该板的上部设有促动器机构。

另外，在上述实施方式等中说明的一系列的处理可以利用硬件(电路)进行，也可以利用软件(程序)进行。在利用软件进行的情况下，该软件由用于通过电脑使各功能运行的程序组构成。各程序例如可以事先编入上述电脑而使用，也可以从网络或记录介质安装到上述电脑而使用。

进一步地，在上述实施方式等中，作为本公开的“液体喷射记录装置”的一个具体例，举了打印机1(喷墨打印机)进行了说明，但不限定于该例子，也可以将本公开适用于喷墨打印机以外的其他装置。换言之，也可以将本公开的“头芯片”(头芯片41、41a、41b、41c、41d)以及“液体喷射头”(喷墨头4)适用于喷墨打印机以外的其他装置。具体地，例如也可以将本公开的“头芯片”以及“液体喷射头”适用于传真机和按需打印机等装置。

除此以外，也可以将目前为止说明的各种例子任意组合而使用。

此外，本说明书中记载的效果仅为示例，并非限定，另外，也可以有其他的效果。

另外，本公开也能够采用以下那样的结构。

(1)

一种头芯片，为喷射液体的头芯片，其具备：

第一板，其具有用于对前述液体施加压力的多个压力室；

第二板，其具有根据前述压力的施加来喷射前述液体的多个喷嘴孔；以及

第三板，其配置于前述第一板以及前述第二板之间，并具有与前述多个压力室以及前述多个喷嘴孔各自单独连通的多个贯通孔；

在前述贯通孔中，与前述第二板对置的第二开口区域比与前述第一板对置的第一开口区域大。

(2)

在上述(1)记载的头芯片中，前述贯通孔包含剖面积从前述第一开口区域侧到前述第二开口区域侧为止逐渐变大的倒锥状部分。

(3)

在上述(2)记载的头芯片中，前述贯通孔的剖面积从前述第一开口区域到前述第二开口区域为止以阶梯状变大。

(4)

在上述(3)记载的头芯片中，在前述第一板中，作为填充有前述液体的前述多个压力室的多个喷出通道和未填充有前述液体的多个虚拟通道交错地排列配置，

前述贯通孔的前述第二开口区域从前述喷出通道的对置区域延伸到与该喷出通道邻接的前述虚拟通道的对置区域为止。

(5)

在上述(1)至(4)中任一项记载的头芯片中，构成为，在前述头芯片内和前述头芯片的外部之间循环的前述液体流入到前述头芯片内，并且经由前述贯通孔从前述头芯片内流出。

(6)

在上述(1)至(5)中任一项记载的头芯片中，前述第三板的热膨胀系数为前述第一板的热膨胀系数和前述第二板的热膨胀系数之间的值。

(7)

一种液体喷射头，具备：上述(1)至(6)中任一项记载的头芯片，以及对前述头芯片供给前述液体的供给机构。

(8)

一种液体喷射记录装置，具备：上述(7)记载的液体喷射头，以及容纳前述液体的容纳部。

符号说明

1打印机

10筺体

2a、2b运送机构

21栅格辊

22夹送辊

3(3y、3m、3c、3b)油墨储罐

4(4y、4m、4c、4b)喷墨头

40固定板

41、41a、41b、41c、41d头芯片

410盖板

410a油墨导入孔

410b狭缝

411促动器板

412喷嘴板

413、413a、413b中间板

414支承板

414a嵌合孔

415返回板

42供给机构

42a流路部件

42b压力缓冲器

42c油墨连结管

43控制机构

43a电路基板

43b驱动电路

43c柔性基板

44基底板

50供给管

6扫描机构

61a、61b导轨

62滑架

62a基台

62b壁部

63驱动机构

631a、631b滑轮

632无接头带

633驱动马达

71、72板

9油墨

p记录纸

d运送方向

h2喷嘴孔

h3贯通孔

c1通道

c1e喷出通道

c1d虚拟通道

c5流路

wd驱动壁

ed驱动电极

ee引出电极

a1、a2开口区域

sa1、sa2开口面积

la1、la2开口宽度

lc通道宽度

lw驱动壁宽度

rin入口径

rout出口径。