控制单元及包括其的基板处理装置的制作方法

本发明涉及控制单元及包括其的基板处理装置。更详细地，涉及能够应用在用于制造显示装置的设备的控制单元及包括其的基板处理装置。

背景技术：

1、当为了制造lcd面板、pdp面板、led面板等显示装置而在透明基板上执行印刷工艺(例如，rgb图案化(rgb patterning))时，可以使用具有喷墨头单元(inkjet head unit)的印刷装备。

技术实现思路

1、喷墨头单元可以包括多个喷嘴以向基板上喷出墨。然而，如果多个喷嘴中的哪怕一个喷嘴出现不良，则对基板的印刷质量可能会降低，因而可能发生物质上/时间上的浪费。

2、现有的喷墨头单元的更换时间取决于制造商提供的手册。然而，喷墨头单元的性能下降的时间点可能根据使用环境而改变，因此通过上述方法无法预测喷墨头单元的性能下降，因此难以预先防止印刷质量变得不良。

3、本发明要解决的技术问题是提供能够预测喷墨头单元的寿命并且能够使该寿命最大化的控制单元及包括其的基板处理装置。

4、本发明的技术问题不限于上述技术问题，本领域的技术人员可以通过下面的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。

5、用于解决上述技术问题的本发明的控制单元的一方面(aspect)用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括；计数模块，用于对所述喷墨头单元的每个喷嘴的喷出次数进行计数；比较模块，用于将所述喷出次数与基准值进行比较，以判别所述喷出次数是否为所述基准值以上；以及评估模块，用于基于每个喷嘴的所述喷出次数是否为所述基准值以上来评估所述喷墨头单元的寿命是否达到可使用寿命。

6、所述计数模块可以基于电压是否施加到在所述喷嘴的运行中所涉及的压电元件来对所述喷出次数进行计数。

7、所述压电元件可以设置为与所述喷嘴相同的数量，且所述计数模块可以基于电压是否施加到与所述喷嘴有对应关系的所述压电元件来对所述喷出次数进行计数。

8、所述基准值可以与所述基板的印刷质量和不参与基板印刷的喷嘴中的至少一者相关。

9、在所述基准值与所述印刷质量相关的情况下，所述基准值可以是与在所述基板上形成斑纹的情况相关的喷嘴的使用量，或者可以是与通过印刷形成在所述基板上的阶层的平坦度未达到基准的情况相关的喷嘴的使用量。

10、在所述基准值与所述不参与基板印刷的喷嘴相关的情况下，所述基准值可以是被判定为不良的不良喷嘴的使用量。

11、所述不良喷嘴可以与卫星喷出、未喷出和喷出位置不准确中的至少一种相关。

12、所述控制单元还可以包括用于存储所述基准值的存储器模块、用于输入所述基准值的输入模块和用于从外部接收所述基准值的通信模块中的任一个，其中，所述基准值可以通过所述存储器模块、所述输入模块和所述通信模块中的任一个提供给所述比较模块。

13、所述评估模块可以将所述喷出次数为所述基准值以上的喷嘴的数量与基准数量进行比较，以评估所述喷墨头单元的寿命是否达到可使用寿命。

14、当所述喷嘴的数量为所述基准数量以上时，所述评估模块可以评估为所述喷墨头单元的寿命已达到可使用寿命，并且可以请求更换已达到可使用寿命的喷墨头单元。

15、所述控制单元可以基于每个喷嘴的使用量来使使用量相对少的喷嘴参与所述基板的印刷。

16、所述控制单元还可以包括：提取模块，用于基于每个喷嘴的使用量来提取使用量相对少的喷嘴；以及控制模块，用于控制所提取的喷嘴参与所述基板的印刷，其中，当评估为所述喷墨头单元的寿命未达到可使用寿命时，所述提取模块和所述控制模块可以运行。

17、所述提取模块可以提取使用量为基准量以下的喷嘴或使用量最少的喷嘴。

18、所述控制单元可以判别所述喷出次数是否与电压施加到在所述喷嘴的运行中所涉及的压电元件的次数匹配。

19、所述控制单元可以基于当电压施加到所述压电元件时所述喷嘴是否向所述基板上正常地喷出所述基板处理液来判别是否匹配。

20、所述控制单元还可以包括：摄像模块，用于利用相机传感器对所述喷嘴与所述基板之间的空间进行拍摄；以及处理模块，用于基于通过拍摄获取的影像信息来判别所述喷嘴是否将所述基板处理液喷出到所述基板上。

21、当电压施加到所述压电元件时，所述摄像模块可以对所述空间进行拍摄。

22、用于解决上述技术问题的本发明的控制单元的另一方面用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括；计数模块，用于对所述喷墨头单元的每个喷嘴的喷出次数进行计数，并且基于电压是否施加到在所述喷嘴的运行中所涉及的压电元件来对所述喷出次数进行计数；比较模块，用于将所述喷出次数与基准值进行比较，以判别所述喷出次数是否为所述基准值以上；以及评估模块，用于基于每个喷嘴的所述喷出次数是否为所述基准值以上来评估所述喷墨头单元的寿命是否达到可使用寿命，其中，基于每个喷嘴的使用量来使使用量相对少的喷嘴参与所述基板的印刷，以及所述基准值与所述基板的印刷质量和不参与基板印刷的喷嘴中的至少一者相关。

23、用于解决上述技术问题的本发明的基板处理装置的一方面包括：工艺处理单元，用于在处理基板期间支承所述基板；喷墨头单元，包括多个喷嘴，并且用于通过所述多个喷嘴向所述基板上喷出基板处理液；门架单元，用于使所述喷墨头单元的位置移动；基板处理液供应单元，用于向所述喷墨头单元供应所述基板处理液；以及控制单元，用于维护所述喷墨头单元，其中，所述控制单元包括：计数模块，用于对所述喷墨头单元的每个喷嘴的喷出次数进行计数；比较模块，用于将所述喷出次数与基准值进行比较，以判别所述喷出次数是否为所述基准值以上；以及评估模块，用于基于每个喷嘴的所述喷出次数是否为所述基准值以上来评估所述喷墨头单元的寿命是否达到可使用寿命。

24、所述基板处理装置还可以包括：相机传感器，用于在所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴向所述基板上喷出所述基板处理液的情况下，对所述至少一个喷嘴与所述基板之间的空间进行拍摄。

25、其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。

技术特征：

1.一种控制单元，用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括：

2.根据权利要求1所述的控制单元，其中，

3.根据权利要求2所述的控制单元，其中，

4.根据权利要求1所述的控制单元，其中，

5.根据权利要求4所述的控制单元，其中，

6.根据权利要求4所述的控制单元，其中，

7.根据权利要求6所述的控制单元，其中，

8.根据权利要求1所述的控制单元，还包括用于存储所述基准值的存储器模块、用于输入所述基准值的输入模块和用于从外部接收所述基准值的通信模块中的任一个，

9.根据权利要求1所述的控制单元，其中，

10.根据权利要求9所述的控制单元，其中，

11.根据权利要求1所述的控制单元，其中，

12.根据权利要求1所述的控制单元，还包括：

13.根据权利要求12所述的控制单元，其中，

14.根据权利要求1所述的控制单元，其中，

15.根据权利要求14所述的控制单元，其中，

16.根据权利要求15所述的控制单元，还包括：

17.根据权利要求16所述的控制单元，其中，

18.一种控制单元，用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括：

19.一种基板处理装置，包括：

20.根据权利要求19所述的基板处理装置，还包括：

技术总结
本发明提供了能够预测喷墨头单元的使用寿命并且能够使该寿命最大化的控制单元及包括其的基板处理装置。所述控制单元用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括：计数模块，用于对喷墨头单元的每个喷嘴的喷出次数进行计数；比较模块，用于将喷出次数与基准值进行比较，以判别喷出次数是否为基准值以上；以及评估模块，用于基于每个喷嘴的喷出次数是否为基准值以上来评估喷墨头单元的寿命是否达到可使用寿命。

技术研发人员：宋延徹,林名俊,金光燮,李锺民,吴埈昊,柳志勳,朴永镐
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12