一种真空干燥设备的制作方法

1.本实用新型涉及干燥设备技术领域，尤其涉及一种真空干燥设备。


背景技术：

2.在例如有机发光二极管(oled)以及量子点发光二极管(qled)等这类有机发光器件的制备流程中，喷墨打印因具有材料利用率高，设备价格低等优点而广为使用。在喷墨打印中，对喷墨打印后的基板进行干燥成膜的过程是影响基板表面的膜面平整性的关键。
3.目前，主要是通过真空干燥设备对基板进行干燥，即主要是将基板放置在干燥室内，一边通过加热装置对基板进行加热，一边通过和干燥室连接的真空泵控制干燥室内的真空度，进而完成对基板的加热。然而，一方面由于现有技术的干燥室结构无法保证基板各处的气流是均匀一致的，使得基板不同位置的干燥情况不一样，导致基板表面的膜层形貌不均；另一方面由于无法实现干燥室的完全密封，导致干燥室在工作过程中会出现漏气的现象进而影响真空度，从而在通过真空泵对干燥室内进行间歇的增压和减压时所形成的气流会对墨水表面造成影响，同样导致基板表面的膜面形貌不均，影响基板膜面的平整性。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提出一种真空干燥设备，该真空干燥设备结构简单，操作方便，能保证基板膜面的平整性。
5.为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：
6.一种真空干燥设备，包括：
7.壳体，所述壳体内设置有真空腔室；
8.隔板，所述隔板的数量为两个，两个所述隔板均设置在所述真空腔室内并将所述真空腔室分隔成进气室、干燥室和出气室，基板设置在所述干燥室内，所述隔板上开设有气流孔，所述进气室、所述干燥室和所述出气室依次通过所述气流孔相连通，且所述气流孔的最低点所在平面均高于所述基板的最高点所在平面。
9.作为优选，所述隔板上开设有多个气流孔，位于所述进气室和干燥室之间的隔板上的所述气流孔和位于所述干燥室和出气室之间的隔板上的所述气流孔一一对应。
10.作为优选，两个所述隔板沿所述基板的长度方向间隔设置，每个所述隔板上的多个所述气流孔沿所述基板的宽度方向间隔设置。
11.作为优选，所述气流孔的孔径为0.1～2mm。
12.作为优选，所述壳体上分别开设有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口分别与所述真空腔室相连通，通过所述进气口能向所述进气室内通入惰性气体，通过所述出气口能对所述出气室进行抽气。
13.作为优选，所述真空干燥设备还包括气体补充装置，所述气体补充装置通过所述进气口与所述进气室连通，所述气体补充装置能调节所述进气室内的气压。
14.作为优选，所述真空干燥设备还包括气体抽取装置，所述气体抽取装置通过所述
出气口与所述出气室连通，所述气体抽取装置能调节所述出气室内的气压。
15.作为优选，所述真空干燥设备还包括加热装置，所述加热装置用于对所述基板进行加热。
16.作为优选，所述加热装置包括热板，所述热板设置在所述干燥室内，所述基板放置在所述热板上。
17.作为优选，所述热板上设置有导流孔。
18.本实用新型的有益效果为：本实用新型提供了一种真空干燥设备，通过隔板将真空腔室分隔成进气室、干燥室和出气室，通过进气室通入气体，出气室排出气流，由此在干燥室内形成方向一致的气流，提高了干燥速度，此外，通过气流孔的最低点所在平面均高于所述基板的最高点所在平面能保证所形成的气流位于基板的上方，且由于气流只能从气流孔中流进或流出，能保证即便是对真空腔室进行间歇的抽气时也能保证基板上方的气流始终是均匀的，提高了基板上膜面的平整性。
19.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
20.图1是本实用新型具体实施方式提供的真空干燥设备的正视图；
21.图2是本实用新型具体实施方式提供的真空干燥设备的俯视图；
22.图3是本实用新型具体实施方式提供的隔板的结构示意图。
23.附图标记：
24.1、壳体；101、进气室；102、干燥室；103、出气室；11、进气口；12、出气口；
25.2、隔板；21、气流孔；
26.100、基板。
具体实施方式
27.下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
28.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅
表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
31.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
32.如图1至图3所示，本实施例中提供了一种真空干燥设备，包括壳体1和隔板2，壳体1内设置有真空腔室；隔板2的数量为两个，两个隔板2均设置在真空腔室内并将真空腔室分隔成进气室101、干燥室102和出气室103，基板100设置在干燥室102内，隔板2上开设有气流孔21，进气室101、干燥室102和出气室103依次通过气流孔21相连通，且气流孔21的最低点所在平面均高于基板100的最高点所在平面。
33.其中，通过隔板2将真空腔室分隔成进气室101、干燥室102和出气室103，通过进气室101通入气体，出气室103排出气流，由此在干燥室102内形成方向一致的气流，提高了干燥速度，此外，通过气流孔21的最低点所在平面均高于基板100的最高点所在平面能保证所形成的气流位于基板100的上方，且由于气流只能从气流孔21中流进或流出，能保证即便是对真空腔室进行间歇的抽气时也能保证基板100上方的气流始终是均匀的，提高了基板100上膜面的平整性。
34.进一步地，为了保证能在基板100上形成均匀气流，隔板2上开设有多个气流孔21，位于进气室101和干燥室102之间的隔板2上的气流孔21和位于干燥室102和出气室103之间的隔板2上的气流孔21一一对应。即通过设置多个气流孔21，以保证气流的流速更为均匀，并通过位于进气室101和干燥室102之间的隔板2上的气流孔21和位于干燥室102和出气室103之间的隔板2上的气流孔21一一对应，从而形成了多个气流通道，以便气流从进气室101进入干燥室102和从干燥室102进入出气室103时能分别从多个气流通道内经过，保证了基板100上方气流的均匀性。示例性地，壳体1和隔板2均有金属材料制成。
35.本实施例中，结合图3所示，两个隔板2沿基板100的长度方向间隔设置，每个隔板2上的多个气流孔21沿基板100的宽度方向间隔设置，从而在基板100上方形成了均匀的气流。
36.进一步地，多个沿基板100的宽度方向间隔设置的气流孔21形成气流孔21组，气流孔21组的数量为多个，多个气流孔21沿基板100的厚度方向间隔设置，进而进一步地对气流进行分散，以保证气流的均匀性。
37.优选地，气流孔21为圆孔，气流孔21的孔径为0.1～2mm。
38.本实施例中，壳体1上分别开设有进气口11和出气口12，进气口11和出气口12分别与真空腔室相连通，通过进气口11能向进气室101内通入惰性气体，通过出气口12能对出气室103进行抽气。从而通过一边进气一边抽气的方向或者只抽气的方式实现基板100所需要的干燥要求。其中通入的惰性气体作为干燥基板100用的保护气，以提高干燥效率，并保证
品质。
39.具体地，真空干燥设备还包括气体补充装置，气体补充装置通过进气口11与进气室101连通，气体补充装置能调节进气室101内的气压，以适应基板100干燥时所需的不同需求。
40.同理，真空干燥设备还包括气体抽取装置，气体抽取装置通过出气口12与出气室103连通，气体抽取装置能调节出气室103内的气压，以适应基板100干燥时所需的不同需求。
41.进一步地，真空干燥设备还包括加热装置，加热装置用于对基板100进行加热，从而实现基板100能在真空环境下进行干燥加热。
42.具体地，加热装置包括热板，热板设置在干燥室102内，基板100放置在热板上。
43.可选地，热板上设置有导流孔，整体上能够进一步提高对基板100上的膜层中高沸点溶剂的去除效率，加快干燥过程。
44.在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
45.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。