一种新型烘干炉整机及丝网印刷系统的制作方法

本技术涉及硅片烘干设备领域，特别涉及一种新型烘干炉整机及丝网印刷系统。

背景技术：

1、在硅片经过丝网印刷后，需要对硅片表面的银铝浆进行烘干，在对硅片进行烘干时，主要是对硅片的上表面进行烘干处理，故烘干炉的第一炉体才是主要工作区，第二炉体仅起到辅助作用，不需要与第一炉体布置一致的温区和气路，太多气路和加热温区会造成烘干炉的能耗过大。并且，在烘干时，硅片表面的银铝浆蒸发形成银铝气体，银铝气体在未经过充分燃烧时，容易液化回流污染硅片，也会造成有害气体直接排放的问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种新型烘干炉整机，能够在维持烘干效果的同时降低能耗，有效避免有害气体回流，并能够充分燃烧有害气体，使其转为无害气体，减少环境污染。

2、还提出一种具有上述新型烘干炉整机的丝网印刷系统。

3、根据本实用新型第一方面实施例的新型烘干炉整机，包括：

4、输送装置，具有输送面，用于输送硅片依次经过烘干段和冷却段；

5、相对间隔设置的第一炉体、第二炉体，二者均设置于所述烘干段内，所述第一炉体和所述第二炉体之间为所述输送装置，所述第一炉体朝向所述输送面设置，所述第一炉体的温度高于所述第二炉体温度，所述第二炉体能够朝向所述第一炉体吹出热气流，所述第一炉体能够排出所述热气流；

6、燃烧塔，与所述第一炉体相连通，用于接收所述热气流并减缓所述热气流的速度，能够燃烧处理所述热气流，在燃烧处理后冷却排出；

7、冷却器，设置于所述冷却段，用于冷却所述输送装置输送的已烘干硅片。

8、根据本实用新型第一方面实施例的新型烘干炉整机，至少具有如下有益效果：

9、1.将第二炉体的热量设置为低于第一炉体，减少第二炉体的能耗，从而降低烘干炉整体的能耗，第二炉体朝向第一炉体吹出的热气流将依次经过输送装置上的硅片和第一炉体，并被第一炉体排出，在经过输送装置上的硅片时，热气流能够带走硅片上蒸发的银铝浆，并维持银铝蒸气的温度，使得其一直处于气态，因第一炉体中的温度高于第二炉体，在热气流及银铝蒸气通过第一炉体时，热气流及银铝蒸气进一步被加热，在热气流进入燃烧塔时，更易被燃烧塔所加热，实现充分燃烧；

10、2.燃烧塔能够在接收热气流后，减缓热气流的速度，延长热气流在燃烧塔内的燃烧时间，进而使得热气流中的有害气体能够充分燃烧，在充分燃烧后，有害气体会转化为无害气体被排出至外界中，减少环境污染；

11、3.在冷却段中，通过冷却器对烘干后的硅片进行降温，使得硅片温度迅速降低，在硅片冷却后便于进行下一步的加工。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述第一炉体沿所述输送装置的输送方向依次为入口温区－加热温区－出口温区，所述入口温区温度、所述出口温区的温度均低于所述加热温区的温度，所述燃烧塔与所述加热温区相连通。

13、根据本实用新型的一些实施例，还包括抽风排气装置，所述抽风排气装置与所述加热温区相连通，所述抽风排气装置用于抽出所述第一炉体内剩余的气流，并能够处理剩余的气流。

14、根据本实用新型的一些实施例，所述第二炉体设有若干加热室和若干气源，所述加热室内设有安装位，所述加热室的顶部设有多个均匀分布的透气孔，所述加热室内设有用于均匀加热气体的匀热组件，所述气源与所述匀热组件相连通。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述第二炉体包括加热槽和透气板，所述加热槽顶部为其槽口，所述透气板盖合设置于所述加热槽的槽口处，所述透气板上设有多个均匀分布的透气孔。

16、根据本实用新型的一些实施例，所述加热室的侧壁上设有保温层。

17、根据本实用新型的一些实施例，所述安装位内设有用于检测所述匀热组件温度的第一测温件。

18、根据本实用新型的一些实施例，所述匀热组件包括热气腔体和加热源，所述热气腔体设有气源壁和若干匀气壁，所述气源壁上设有吹气孔，所述吹气孔形成气流道，所述匀气壁与所述气流道间隔设置，所述匀气壁上设有多个均匀分布的第一匀气孔，所述第一匀气孔朝向所述气流道设置，所述加热源设置于热气腔体内。

19、根据本实用新型的一些实施例，还包括匀气挡板，设置于所述热气腔体内，与所述吹气孔相对设置，所述匀气挡板上设有多个均匀分布的第二匀气孔，所述第二匀气孔位于所述气流道的路径上，用于均匀气流道的气流。

20、根据本实用新型的一些实施例，所述第一匀气孔设置于所述匀气壁远离所述气源壁的一侧。

21、根据本实用新型的一些实施例，所述匀气壁上设有若干可拆卸的匀气板，所述匀气板上设有多个所述第一匀气孔。

22、根据本实用新型的一些实施例，所述匀气壁上设有安装通槽，所述匀气板安装于所述安装通槽内。

23、根据本实用新型的一些实施例，所述加热源呈条状，与所述气流道同向设置。

24、根据本实用新型的一些实施例，所述加热源数量与所述匀气壁数量相对应，所述加热源部分位于所述气流道与所述第一匀气孔之间。

25、根据本实用新型的一些实施例，所述燃烧塔包括塔体、加热组件冷凝组件和缓气组件，所述塔体内部设有腔室，外部设有与所述腔室相连通的进气口和出气口，沿进气口至出气口方向形成气流道，所述腔室包括沿所述气流道方向依次设置的加热腔和冷凝腔，所述加热腔沿所述气流道方向依次为第一低温区—高温区—第二低温区；所述加热组件设置于所述加热腔内，用于加热；所述冷凝组件设置于所述冷凝腔内，用于冷凝；所述缓气组件设置于所述加热腔内，用于减缓所述气流道内气流速度。

26、根据本实用新型的一些实施例，所述缓气组件包括多个沿所述气流道方向依次间隔设置的隔板，所述隔板上设有多个散布的气孔，所述气孔沿气流道方向设置，两相邻所述隔板的每一所述气孔均错位设置。

27、根据本实用新型的一些实施例，所述加热组件包括沿所述气流道方向依次设置的多组加热件，每组所述加热件设置于两相邻所述隔板之间，且每组所述加热件之间的隔板数量至少为二。

28、根据本实用新型的一些实施例，还包括多个第二测温件，所述第二测温件沿所述气流道方向依次设置于所述加热腔中。

29、根据本实用新型的一些实施例，所述冷凝组件朝向气流道方向伸出设置且伸出端悬空，所述冷凝组件的伸出端与所述冷凝腔的侧壁形成避让通道，所述加热腔与所述冷凝腔的连接处设有隔热吹气口，所述隔热吹气口能够朝向所述避让通道吹气。

30、根据本实用新型的一些实施例，还包括冷凝排废管道，所述冷凝排废管道与所述冷凝腔相连通，所述冷凝排废管道与所述冷凝腔的连接处设有吹气弯管，所述吹气弯管沿所述气流道方向吹气。

31、根据本实用新型的一些实施例，还包括外围排废管道，所述外围排废管道环绕所述冷凝排废管道设置，具有一高端和一低端，两端均具有开口，所述外围排废管道的低端设有接油件。

32、根据本实用新型的一些实施例，所述外围排废管道设有第三测温件。

33、根据本实用新型的一些实施例，还包括盖体，所述塔体上设有沿所述气流道方向设置的开口，所述盖体能够盖合于所述开口上，所述盖体内或所述盖体朝向所述开口的一面设有保温层。

34、根据本实用新型的一些实施例，还包括第一除杂吹风装置，所述第一除杂吹风装置设置于所述烘干段的出口位置，所述第一除杂吹风装置设有第一除杂风口，所述第一除杂风口朝向所述输送面上的硅片设置。

35、根据本实用新型的一些实施例，所述冷却器包括相对间隔设置的第一冷却腔体、第二冷却腔体，所述第一冷却腔体和所述第二冷却腔体之间为所述输送装置，所述第一冷却腔体朝向所述输送面设置，所述第一冷却腔体和所述第二冷却腔体能够一同冷却所述输送装置输送的已烘干硅片。

36、根据本实用新型的一些实施例，所述第一冷却腔体包括第二除杂吹风装置和主抽风装置，所述第二除杂吹风装置设有第二除杂风口，所述第二除杂风口朝向所述输送面上的硅片设置，所述主抽风装置用于抽取所述第一冷却腔体与所述第二冷却腔体间的气体，所述第二冷却腔体包括降温吹风装置和次抽风装置，所述降温吹风装置朝向所述输送装置上的硅片设置，所述次抽风装置用于抽取所述第一冷却腔体与所述第二冷却腔体间的气体。

37、根据本实用新型的一些实施例，所述输送装置包括烘干输送组件和冷却输送组件，所述烘干输送组件设置于所述烘干段，所述冷却输送组件设置于所述冷却段，所述冷却输送组件能够承接所述烘干输送组件输送的硅片。

38、根据本实用新型第二方面实施例的丝网印刷系统，包括：

39、丝网印刷设备，用于丝网印刷电极至硅片上；

40、烘干炉，所述烘干炉为本实用新型第一方面实施例所述的新型烘干炉整机；

41、输送线，用于输送硅片依次经过所述丝网印刷设备和所述烘干炉。

42、根据本实用新型第二方面实施例的丝网印刷系统，至少具有如下有益效果：在输送线输送硅片至丝网印刷设备时，硅片被丝网印刷设备印上指定图案，然后通过输送线输送至烘干炉内，印刷的图案被烘干炉烘干后凝固成型，而烘干炉主要通过第一炉体进行加热，降低第二炉体的温度，以降低第二炉体的能耗，能够降低烘干炉整体的能耗，同时燃烧塔能够对烘干段内蒸发的有害气体进行处理，使得有害气体在充分燃烧后再排出，降低环境污染。烘干后的硅片通过冷却段内的冷却器进行冷却，使得硅片迅速降温，便于硅片进行后续加工。

43、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。