柔性显示面板和显示装置的制作方法

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板和显示装置。

背景技术：

柔性显示面板因可弯折或可折叠特性越来越多的应用于诸如曲面显示、折叠显示等领域中。现有技术中，柔性显示面板的结构容易形成应力缺陷点，导致在弯折或折叠时形成黑斑或发生断裂的概率较高，使得触控失效，影响产品体验效果。

技术实现要素：

本申请实施例提供了一种柔性显示面板和显示装置，能够避免产生应力缺陷点和缓解结构应力，提升了整体的结构强度，使得面板更加耐弯折和耐外力冲击，降低了弯折或折叠柔性显示面板时形成黑斑或发生断裂的风险。

第一方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板，包括：驱动电路，用于输出驱动信号；显示区，间隔设置有多排触控单元，每排所述触控单元的延伸方向与所述柔性显示面板的弯折轴的延伸方向平行；周边区，围绕所述显示区的外周设置，在多排所述触控单元的延伸方向的两端处的所述周边区内间隔设置有多条信号引线，每条所述信号引线沿垂直于所述弯折轴的方向延伸，且多排所述信号引线的第一端与所述驱动电路连接，多排所述信号引线的第二端分别与多排所述触控单元一一对应地连接；其中，所述信号引线包括沿所述柔性显示面板的背面至正面的方向依次层叠设置的第一金属层、绝缘层和第二金属层，且所述绝缘层的位于所述信号引线的第二端的位置处设置有贯穿开孔，所述第一金属层和所述第二金属层在所述贯穿开孔处接触连接。

由于信号引线的两层金属在与触控单元连接的第二端处对齐设计的方案会使第二端处的绝缘层露出，这样在图形化金属层时该位置处的绝缘层容易被干刻损伤而形成应力缺陷点，导致在弯折和外力冲击柔性显示面板时从该应力缺陷点起裂，进而带动信号引线的金属层以及信号引线下方的薄膜封装tef开裂，容易形成黑斑或使面板断裂，触控失效风险较高。本申请实施例的柔性显示面板通过将绝缘层在信号引线的第二端处设置贯穿开孔，第一金属层和第二金属层在贯穿开孔处接触连接，这样绝缘层在信号引线的第二端处没有露出，图形化第二金属层时不会损伤该位置处的绝缘层而形成应力缺陷点，并且贯穿开孔处去除了绝缘层能够释放结构应力，从而使得在沿弯折轴弯折柔性显示面板时，不易形成黑斑或发生断裂，提升了整体的结构强度，使得面板更加耐弯折和耐外力冲击。

在一种可能的实现方式中，所述绝缘层的朝向所述贯穿开孔的端面设置有斜坡，所述斜坡沿所述柔性显示面板的背面至正面的方向远离所述贯穿开孔倾斜。这样在沿弯折轴弯折柔性显示面板时，绝缘层的端面所受应力通过斜坡能够分解到不同方向，提高了柔性显示面板承受应力的程度，降低了柔性显示面板形成黑斑或断裂的风险。

在一种可能的实现方式中，所述贯穿开孔设置为使所述第一金属层的第二端露出，所述第二金属层的第二端覆盖所述贯穿开孔。具体地，贯穿开孔设置为使第一金属层的第二端完全露出，这样能够保证将绝缘层可能形成应力缺陷点的部位全部去除，并且能够较好地释放结构应力。另外，第二金属层的第二端完全覆盖贯穿开孔，这样保证在干刻图形化第二金属层的过程中，不会损伤绝缘层。

在一种可能的实现方式中，所述贯穿开孔为圆形或多边形。这是因为圆形或多边形的贯穿开孔有助于减少应力集中点，提高承受应力的能力，从而提高耐弯折性能，降低弯折柔性显示面板时形成黑斑或发生断裂的风险。

在一种可能的实现方式中，所述贯穿开孔为矩形体，所述贯穿开孔的第一侧边位于所述第一金属层的第二端的端面和所述第二金属层的第二端的端面之间，所述第一金属层的沿宽度方向间隔的两条侧边位于所述贯穿开孔的与所述第一侧边相连的两条第二侧边之间，所述两条第二侧边位于所述第二金属层的沿宽度方向间隔的两条侧边之间。这是因为矩形体加工方便，有助于降低加工难度和节省成本，并且矩形体的四个角可设置为圆角结构，以便减少应力集中点。

在一种可能的实现方式中，所述贯穿开孔包括：第一部分，所述第一部分的宽度小于所述第一金属层的宽度；和，第二部分，与所述第一部分相连，且所述第二部分的宽度大于所述第一金属层的宽度以使所述第一金属层的第二端露出，所述第二金属层的第二端覆盖所述贯穿开孔。也就是说，贯穿开孔可由两个不同形状拼接而成，具体地，可根据工作需要设计贯穿开孔的形状。另外，贯穿开孔的位于外端的第二部分可使第一金属层的第二端完全露出，这样能够保证将绝缘层可能形成应力缺陷点的部位全部去除和更好地释放结构应力，并且，第二金属层的第二端完全覆盖贯穿开孔，保证在干刻图形化第二金属层时不会损伤绝缘层。

在一种可能的实现方式中，所述第二部分为圆形或多边形；和/或，所述第一部分为长条状结构，所述长条状结构的远离所述第二部分的端面为圆弧形。将贯穿开孔的第二部分设计成圆形或多边形以及将贯穿开孔的长条状结构的第一部分的远离第二部分的端面设计为弧形有助于减少应力集中点，降低弯折柔性显示面板时形成黑斑或发生断裂的风险。

在一种可能的实现方式中，所述第二部分为矩形体，所述第二部分的第一侧边位于所述第一金属层的第二端的端面和所述第二金属层的第二端的端面之间，所述第一金属层的沿宽度方向间隔的两条侧边位于所述第二部分的与所述第一侧边相连的两条第二侧边之间，所述两条第二侧边位于所述第二金属层的沿宽度方向间隔的两条侧边之间。这是因为矩形体加工方便，有助于降低加工难度和节省成本，并且矩形体的四个角可设置为圆角结构，以便减少应力集中点。

在一种可能的实现方式中，所述贯穿开孔还包括第三部分，所述第三部分连接所述第一部分和所述第二部分，且所述第三部分的宽度沿所述第二部分至所述第一部分的方向变窄。由于第一部分的宽度小于第一金属层的宽度，而第二部分的宽度大于第一金属层的宽度以使第一金属层的第二端完全露出，这样将连接第一部分和第二部分的第三部分的宽度设置为沿第二部分至第一部分的方向变窄，能够起到平缓过渡的作用，可提高结构承受应力的能力。

第二方面，本申请实施例提供了一种显示装置，所述显示装置包括上述第一方面的柔性显示面板。

在上述方案中，由于信号引线的两层金属在与触控单元连接的第二端处对齐设计的方案会使第二端处的绝缘层露出，这样在图形化顶层金属层时该位置处的绝缘层容易被干刻损伤而形成应力缺陷点，导致在弯折和外力冲击柔性显示面板时从该应力缺陷点起裂，带动信号引线的金属层以及信号引线下方的薄膜封装tef开裂，容易形成黑斑或使面板断裂，触控失效的风险较高。本申请实施例的柔性显示面板通过将绝缘层在信号引线的第二端处设置贯穿开孔，使第一金属层和第二金属层在贯穿开孔处接触连接，这样绝缘层在信号引线的第二端处没有露出，图形化第二金属层时不会损伤该位置处的绝缘层而形成应力缺陷点，并且贯穿开孔处去除了绝缘层能够释放结构应力，从而使得在沿弯折轴弯折柔性显示面板时，不易形成黑斑或发生断裂，提升了整体的结构强度，使得面板更加耐弯折和耐外力冲击。

附图说明

图1是一种柔性显示面板的局部结构示意图；

图2是一种柔性显示面板的信号引线的局部剖视结构示意图；

图3是本申请实施例提供的一种信号引线的局部俯视结构示意图；

图4是图3的a-a剖视放大图；

图5是图3的b-b剖视放大图；

图6是本申请实施例提供的另一种信号引线的局部俯视结构示意图；

图7是本申请实施例提供的又一种信号引线的局部俯视结构示意图；

图8是本申请实施例提供的再一种信号引线的局部俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，还可以是抵触连接或一体的连接；对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，单独存在b，同时存在a和b这三种情况。另外，除非另有说明，术语“多个”的含义是指两个或两个以上。例如，多个系统是指两个或两个以上的系统。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以适合的方式结合。

下面先对本申请实施例涉及的术语进行介绍：

薄膜封装：thinfilmencapsulation，tfe，是指一种通过有机/无机的薄膜覆盖oled(organiclight-emittingdiode，有机发光二极管)功能层表面实现阻隔水氧，防止oled材料失效的封装技术。

触控封装：touchonencapsulation，toe，是指一种在tfe上制作触控功能层的技术，实现on-cell的触控。

绝缘层或钝化层：passivation，是指一种通过氮化硅、氧化硅等致密惰性材料实现不同膜层间的电性隔离和外部环境隔离。

接触孔：contacthol，是指一种在钝化层或绝缘层上通过干刻等工艺实现局部去除绝缘层实现不同膜层之间接触的设计。

柔性屏幕也可称为柔性oled，相较于传统屏幕，柔性屏幕不仅在体积上更加轻薄，同时基于其可弯曲、柔韧性佳的特性，柔性屏幕的耐用程度也大大高于传统屏幕。toe即在柔性oled的tfe封装上制作触控结构，该技术在直板机上应用已经成熟。由于触控封装toe结构的厚度远小于传统的外挂触控，即触控封装具有较大的厚度优势，因此在折叠屏上具有很好的应用前景。

图1是一种柔性显示面板的局部结构示意图。如图1所示，柔性显示面板包括用于输出驱动信号的驱动电路(图中未示出)、显示区1和周边区2。其中，显示区1内间隔设置有多排触控单元11，每排触控单元11的延伸方向与柔性显示面板的弯折轴b的延伸方向平行。这里的“弯折轴b”是指柔性显示面板弯折或折叠时所围绕的轴线。周边区2围绕显示区1的外周设置，在多排触控单元11的延伸方向的两端处的周边区2内间隔设置有多条信号引线21，每条信号引线21沿垂直于弯折轴b的方向延伸，且多排信号引线21的第一端与驱动电路连接，多排信号引线21的第二端分别与多排触控单元11一一对应地连接。

另外，显示区1内还间隔设置有沿垂直于弯折轴b的方向延伸的多排触控单元12，每排触控单元11与每排触控单元12相互绝缘，每排触控单元11包括相连的多个第一触控图形，每排触控单元12包括不相连(由触控单元11隔开)的多个的第二触控图形，不相连的第二触控图形可借助桥接金属层连接。多排触控单元11和多排触控单元12位于同一层以形成图形金属层。

图2是一种柔性显示面板的信号引线的局部剖视结构示意图。如图2所示，该信号引线10包括依次层叠设置在薄膜封装tfe上的桥接金属层101、绝缘层102和图形金属层103。其中，图形金属层103和桥接金属层101的位置可以互换。也就是说，触控封装toe结构主要由桥接金属层101、绝缘层(低温氮化硅)102、图形金属层103和有机封装层(光刻胶)组成。按照功能能够将toe分成两个区域，即设置有触控图形的显示区(即触控图形区域)和设置有信号引线的周边区(即周边走线区域)。触控图形包括探测手指触摸的电容结构。信号引线为触控图形区域提供控制信号。

继续参考图2，信号引线10中的桥接金属层101和图形金属层103的与触控图形连接的盲端的端面(即图2中的桥接金属层101和图形金属层103的右端)对齐且与柔性显示面板的弯折轴平行，这样在弯折面板时，金属层的盲端受到垂直于弯折轴方向的张应力或压应力较大。另外，两层金属走线的端面对齐设计会使覆盖在底层金属(如桥接金属层101)边缘上的绝缘层露出而在顶层金属(如图形金属层103)干刻图形化时被干刻损伤，容易形成应力缺陷点，导致在弯折和外力冲击柔性显示面板从该应力缺陷点起裂，带动信号引线的金属层以及信号引线下方的薄膜封装tef开裂，容易形成黑斑或使面板断裂，触控失效风险较高。

鉴于此，本申请实施例提供了一种柔性显示面板和显示装置，能够避免产生应力缺陷点和缓解结构应力，提升了整体的结构强度，使得面板更加耐弯折和耐外力冲击，降低了弯折或折叠柔性显示面板时形成黑斑或发生断裂的风险。

图3是本申请实施例提供的一种信号引线的局部俯视结构示意图。图4是图3的a-a剖视放大图。图5是图3的b-b剖视放大图。如图4所示，信号引线21包括沿柔性显示面板的背面至正面的方向依次层叠设置的第一金属层211、绝缘层212和第二金属层213，且绝缘层212的位于信号引线21的第二端的位置处设置有贯穿开孔h，第一金属层211和第二金属层213在贯穿开孔h处接触连接。

在上述方案中，周边区2的信号引线21由两层金属连接构成，可以降低线阻。并且，通过将绝缘层212在信号引线21的第二端处设置贯穿开孔h，第一金属层211和第二金属层213在贯穿开孔h处接触连接，这样避免了绝缘层212在信号引线21的第二端处露出在图形化第二金属层213时被干刻损伤而形成应力缺陷点，并且贯穿开孔h处去除了绝缘层121能够释放结构应力，在沿弯折轴弯折柔性显示面板时，不易形成黑斑或发生断裂，提升了整体的结构强度，使得面板更加耐弯折和耐外力冲击。

其中，贯穿开孔h为圆形或多边形。圆形的贯穿开孔h能够更好地避免产生应力集中点，提高承受应力的能力。并且，贯穿开孔h设置为使第一金属层211的第二端露出，第二金属层213的第二端覆盖贯穿开孔h。具体地，为了使贯穿开孔h起到更好地缓解结构应力的目的，贯穿开孔h可设置为使第一金属层211的第二端完全露出。而为了在图形化第二金属层213时防止蚀刻损伤绝缘层，第二金属层213的第二端可完全覆盖贯穿开孔h。举例而言，如图3所示，贯穿开孔h为矩形体，贯穿开孔h的第一侧边l1位于第一金属层211的第二端的端面和第二金属层213的第二端处的端面之间，第一金属层211的沿宽度方向间隔的两条侧边位于贯穿开孔h的与第一侧边l1相连的两条第二侧边l2之间，两条第二侧边l2位于第二金属层213的沿宽度方向间隔的两条侧边之间。

另外，为了进一步提高柔性显示面板承受应力的能力，如图4和图5所示，绝缘层212的朝向贯穿开孔h的端面设置有斜坡s，斜坡s沿柔性显示面板的背面至正面的方向(即绝缘层212的朝向tef的表面至背向tfe的表面)远离贯穿开孔h倾斜。由于绝缘层212的端面设置的斜坡s不与弯折轴b平行，这样在沿弯折轴b弯折柔性显示面板时,绝缘层212所受应力通过斜坡能够分解到不同方向，从而起到缓解应力的目的。同理，也可将第一金属层211和第二金属层213的第二端的端面设置成倾斜结构，以便在弯折柔性显示板时，通过倾斜结构将应力分解在不同方向上，从而实现缓解应力大小的目的。

另外，贯穿开孔h可由一种图形组成，如图3中所示的矩形体。或者，贯穿开孔h也可由两种或两种以上的图形组合而成，下面结合图6-图8进行介绍。

图6是本申请实施例提供的另一种信号引线的局部俯视结构示意图。如图6所示，贯穿开孔h包括第一部分h1和第二部分h2。第一部分h1的宽度小于第一金属层211的宽度。第二部分h2与第一部分h1相连，且第二部分h2的宽度大于第一金属层211的宽度以使第一金属层211的第二端露出，具体地，第二部分h2使第一金属层211的第二端完全露出，这样能够保证将绝缘层212可能形成应力缺陷点的部位全部去除和更好地释放结构应力，并且，第二金属层的第二端完全覆盖贯穿开孔，保证在干刻图形化第二金属层213时不会损伤绝缘层212。其中，第二部分h2可为圆形或多边形，第一部分h1可为长条状结构，长条状结构的远离第二部分h2的端面为圆弧形，从而降低形成应力集中点的数量，降低弯折柔性显示面板时形成黑斑或发生断裂的风险。

继续参考图6，其中，第二部分h2可为矩形体，第二部分h2的第一侧边l1位于第一金属层211的第二端处的端面和第二金属层213的第二端处的端面之间，第一金属层211的沿宽度方向间隔的两条侧边位于第二部分h2的与第一侧边l1相连的两条第二侧边l2之间，两条第二侧边l2位于第二金属层213的沿宽度方向间隔的两条侧边之间。矩形体加工方便，有助于降低加工难度和节省成本，且矩形体的四个角可设置为圆角结构，可减少应力集中点。

图7是本申请实施例提供的又一种信号引线的局部俯视结构示意图。图8是本申请实施例提供的再一种信号引线的局部俯视结构示意图。如图7和图8所示，贯穿开孔h还包括第三部分h3，第三部分h3连接第一部分h1和第二部分h2，且第三部分h3的宽度沿第二部分h2至第一部分h1的方向变窄。其中，图7所示的第二部分h2的结构为矩形，图8所示的第二部分h2为六边形，而图7和图8中所示的第三部分h3均为梯形。将连接第一部分h1和第二部分h2的第三部分h3的宽度设置为沿第二部分h2至第一部分h1的方向变窄，能够起到平缓过渡的作用，可提高结构承受应力的能力。

综上所述，本申请实施例的方案对柔性显示面板的toe的周边区的信号引线的设计进行了改进，具体地，将信号引线的盲端(即与触控单元11连接的第二端)位置采用绝缘层去除的设计，彻底去除信号引线的盲端位置的绝缘层。其中，第一金属层211可为桥接层金属，第二金属层213可为图形层金属。涉及的制程工艺流程如下：

1、桥接层金属成形：在tfe表面，通过金属物理气象成膜(physicalvapordeposition，pvd)成膜，光刻胶曝光、显影，金属刻蚀，光刻胶剥离清洗等流程，形成所需图形的桥接层金属；

2、绝缘层成形：通过绝缘层化学气象成膜(chemicalvapordeposition，cvd)成膜，光刻胶曝光、显影，绝缘层刻蚀，光刻胶剥离清洗等流程，形成所需图形的绝缘层；

3、图形层金属成形：通过金属pvd成膜，光刻胶曝光、显影，金属刻蚀，光刻胶剥离清洗等流程，形成所需图形的图形层金属。

根据toe的制备流程，从绝缘层成形制程开始，本申请实施例在周边走线区域的走线的盲端位置采用了特殊设计，具体地，图形化时需要将信号引线的盲端边缘的绝缘层去除，例如可使用干刻工艺将底层金属(即桥接层金属)走线边缘的绝缘层刻蚀去除，并且绝缘层的开孔可设计成方形，保证底层金属的盲端和与盲端连接的两侧边缘的绝缘层都被去除，不会被绝缘层覆盖。另外，在保证盲端边缘的绝缘层去除的前提下，绝缘层开孔的设计可有多种形状以释放结构应力。去除底层金属走线的盲端位置的绝缘层后，原本因为绝缘层成膜形成的缺陷和后续金属干刻引入的损伤缺陷都被一并去除，盲端位置不再有容易受外应力开裂的绝缘层，整体的结构强度提升，改善了耐弯折和耐外力冲击性能。

另外，本申请实施例还提供一种显示装置，该显示装置包括上述的柔性显示面板。该显示装置解决了toe的周边区的信号引线的盲端位置特定结构的钝化层受设计和制程影响容易产生缺陷，导致在外力冲击或者弯折场景下开裂的问题。具体地，通过在引号引线的盲端位置增加绝缘层过孔设计，彻底去除信号引线的盲端位置的绝缘层，避免了绝缘层成膜和受到干刻形成的缺陷成为后续的起裂点进而导致形成黑斑和屏幕断裂问题的发生。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。