显示装置及显示装置的制造方法与流程

本发明的一个方式涉及一种显示装置。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本说明书等所公开的本发明的一个方式的的例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置、输入输出装置、这些装置的驱动方法或这些装置的制造方法。注意，在本说明书等中，半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置。

背景技术：

1、近年来，高清晰显示器面板被需求。作为需求高清晰显示器面板的设备，例如，应用于虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmented reality)、代替现实(sr：substitutional reality)或混合现实(mr：mixed reality)的设备近年来被积极地研发。

2、此外，作为可以应用于显示器面板的显示装置，典型地可以举出液晶显示装置、具备有机el(electro luminescence：电致发光)元件、发光二极管(led：light emittingdiode)等发光元件的发光装置、以电泳方式等进行显示的电子纸等。

3、例如，有机el元件的基本结构是在一对电极之间夹有包含发光有机化合物的层的结构。通过对该元件施加电压，可以得到来自发光有机化合物的发光。由于应用上述有机el元件的显示装置不需要液晶显示装置等所需要的背光源，所以可以实现薄型、轻量、高对比度且低功耗的显示装置。例如，专利文献1公开了使用有机el元件的显示装置的一个例子。

4、[先行技术文献]

5、[专利文献]

6、[专利文献1]日本专利申请公开第2002-324673号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、例如，在上述vr、ar、sr或mr用可穿戴式设备中，需要在眼睛与显示器面板之间设置焦点调整用透镜。因为该透镜放大图像的一部分，所以在显示器面板的清晰度低的情况下会导致真实感及沉浸感减少的问题。

3、此外，显示器面板还被需求高颜色再现性。尤其是在上述vr、ar、sr或mr用设备中，通过使用颜色再现性高的显示器面板，可以进行接近实物颜色的显示，而可以提高真实感及沉浸感。

4、本发明的一个方式的目的之一是提供一种清晰度极高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种实现高颜色再现性的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种亮度高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。此外，本发明的一个方式的目的之一是提供一种上述显示装置的制造方法。

5、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。此外，本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。此外，可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽出上述以外的目的。

6、解决技术问题的手段

7、本发明的一个方式是一种显示装置，包括：第一绝缘层；第一绝缘层上的发光元件及第一导电层；第一导电层上的第一层；第一层上的第二导电层；以及发光元件上及第二导电层上的第三导电层。发光元件包括第四导电层、第四导电层上的第二层、第二层上的第三层以及第三层上的第五导电层。第三导电层具有与第二导电层接触的区域和与第五导电层接触的区域。第二层包含发光化合物。第一导电层与第四导电层包含相同的材料。第一层与第三层包含相同的材料。第二导电层与第五导电层包含相同的材料。

8、另外，本发明的一个方式是一种显示装置，包括：第一绝缘层；第一绝缘层上的发光元件及第一导电层；第一导电层上的第一层；第一层上的第二导电层；发光元件上、第二导电层上及第一绝缘层上的第二绝缘层；以及第二绝缘层上的第三导电层。发光元件包括第四导电层、第四导电层上的第二层、第二层上的第三层以及第三层上的第五导电层。第二绝缘层具有与第四导电层的侧面、第二层的侧面、第三层的侧面、第五导电层的侧面及第五导电层的顶面接触的区域。第二绝缘层包括具有与第二导电层重叠的区域的第一开口和具有与第五导电层重叠的区域的第二开口。第三导电层具有通过第一开口与第二导电层接触的区域和通过第二开口与第五导电层接触的区域。第二层包含发光化合物。第一导电层与第四导电层包含相同的材料。第一层与第三层包含相同的材料。第二导电层与第五导电层包含相同的材料。

9、在上述显示装置中，第二绝缘层优选具有第三绝缘层与第三绝缘层上的第四绝缘层的叠层结构。第三绝缘层优选具有与第四导电层的侧面接触的区域、与第二层的侧面接触的区域、与第三层的侧面接触的区域、与第五导电层的侧面接触的区域及与第五导电层的顶面接触的区域。优选的是，第三绝缘层包含铝和氧，第四绝缘层包含硅和氮。

10、另外，在上述显示装置中，在第三绝缘层与第四绝缘层之间且不与第五导电层重叠的区域中优选包括空隙。

11、另外，在上述显示装置中，第三层优选包含电子注入性高的物质。另外，第三层优选包含氟化锂。

12、或者，在上述显示装置中，第三层优选包含具有缺电子型杂芳环的化合物和银。

13、本发明的另一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在第一绝缘层上沉积第一导电膜；在第一导电膜上沉积包含发光化合物的第一膜；在第一膜上沉积第一牺牲层；在第一牺牲层上形成第一抗蚀剂掩模；通过去除不被第一抗蚀剂掩模覆盖的第一牺牲层及第一膜，从第一牺牲层形成第二牺牲层，并且从第一膜形成第二膜；去除第二牺牲层；在第二膜上沉积第三膜；在第三膜上沉积第二导电膜；在第二导电膜上形成第二抗蚀剂掩模；以及通过去除不被第二抗蚀剂掩模覆盖的第二导电膜、第三膜、第二膜及第一导电膜，从第二导电膜形成第五导电层及第二导电层，从第三膜形成第三层及第一层，从第二膜形成第二层，并且从第一导电膜形成第四导电层及第一导电层。

14、另外，本发明的另一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在第一绝缘层上沉积第一导电膜；在第一导电膜上沉积包含发光化合物的第一膜；在第一膜上沉积第一牺牲层；在第一牺牲层上形成第一抗蚀剂掩模；通过去除不被第一抗蚀剂掩模覆盖的第一牺牲层及第一膜，从第一牺牲层形成第二牺牲层，并且从第一膜形成第二膜；去除第二牺牲层；在第二膜上使用金属掩模沉积第三膜；在第三膜上及第一导电膜上沉积第二导电膜；在第二导电膜上形成第二抗蚀剂掩模；以及通过去除不被第二抗蚀剂掩模覆盖的第二导电膜、第三膜、第二膜及第一导电膜，从第二导电膜形成第五导电层及第二导电层，从第三膜形成第三层，从第二膜形成第二层，并且从第一导电膜形成第四导电层及与第二导电层接触的第一导电层。

15、在上述显示装置的制造方法中，优选的是，在形成第五导电层和第二导电层、第三层和第一层、第二层以及第四导电层和第一导电层之后，在第二导电层上、第五导电层上及第一绝缘层上形成第二绝缘层，在第二绝缘层中形成位于与第二导电层重叠的区域的第一开口和位于与第五导电层重叠的区域的第二开口，以通过第一开口与第二导电层接触并通过第二开口与第五导电层接触的方式形成第三导电层。

16、在上述显示装置的制造方法中，第二绝缘层优选具有第三绝缘层与第三绝缘层上的第四绝缘层的叠层结构。优选的是，第三绝缘层利用ald法沉积，第四绝缘层利用溅射法沉积。

17、另外，在上述显示装置的制造方法中，第二绝缘层优选具有第三绝缘层、第三绝缘层上的第四绝缘层和第四绝缘层上的第五绝缘层的叠层结构。优选的是，第三绝缘层及第五绝缘层利用ald法沉积，第四绝缘层利用溅射法沉积。

18、另外，在上述显示装置的制造方法中，第三膜优选包含电子注入性高的物质。另外，第三层优选包含氟化锂。

19、或者，在上述显示装置的制造方法中，第三膜优选包含具有缺电子型杂芳环的化合物和银。

20、发明效果

21、根据本发明的一个方式，可以提供一种清晰度极高的显示装置。此外，可以提供一种实现高颜色再现性的显示装置。此外，可以提供一种亮度高的显示装置。此外，可以提供一种可靠性高的显示装置。此外，可以提供一种上述显示装置的制造方法。

22、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。此外，本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。此外，可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽出上述以外的效果。