专利名称：包括rgb色组合器及带有纹影滤波器的1d光阀中继器的显示装置的制作方法
技术领域：
这个申请在提交于2001年11月30日且被命名为“DisplayApparatus Including RGB Color Combiner and 1D Light Valve RelayIncluding Schlieren Filter”的共同未决U.S.临时专利申请序号60/337,861的35U.S.C.§119(e)名义下提出优选权要求。提交于2001年11月30日且被命名为“Display Apparatus Including RGB Color Combinerand 1D Light Valve Relay Including Schlieren Filter”的临时专利申请序号60/337,861在此也被引入作为参考。
本发明涉及一种显示装置。更具体地，本发明涉及一种包括RGB色组合器及带有纹影(Schlieren)滤波器的1D光阀中继器的显示装置。
背景技术：
光调制器被用来调制一个或更多个光波长。光调制器可以应用在显示、印刷及电设备技术中。利用悬浮的微带结构来调制光的光调制器且尤其是光栅光阀类型器件的实例，被公开于全部由Bloom等人发表的U.S.专利号5,311,360，5,841,579和5,808,797中，所述内容在此被引入作为参考。
简短地，在上述所参考专利中说明的光栅光阀类型器件包括被相邻且平行设置的一系列细长的反射带。当所述带处于非偏转或平直状态时，入射光束反射离开作为镜面的光栅光阀类型器件。如果交替带被拉下(pull down)，或被偏转，则入射光进行衍射。在操作中，当交替带被偏转一预定距离时则将被视为通过状态，由此获得入射光的最大衍射，并且被衍射的第一级光可被收集。由于第一级光并不是在偏转状态下仅有的衍射光，所以引起低效率。包括第二级、第三级等的较高级光也被产生。这些较高的级并没有被收集且因此得到浪费。这降低了效率。
引发与第一级光的收集过程相联系的问题。当入射光在通过状态被衍射时，不同的波长在不同的角进行衍射。较大的波长具有较大的衍射角。依照如此，用于收集第一级光的任何波长组合器必须足够大以考虑变化的波长衍射角。波长组合器还被称为波长复用器，其实例包括二向色滤波器、衍射光栅、以及阵列波导。不幸地，组合器越大，收集过程的效率越低且所提供的反差比越低。
光学系统的设计不仅必须考虑收集正和负的第一级光，而且必须将第一级光与较高级光及任何反射光隔离。由于不同的波长在不同的角进行衍射，所以光学系统必须确保对系统中所遇所有波长的零和第一级衍射的足够区分。考虑到这样系统的隔离和收集约束，通过使用传统光栅光阀类型器件的光学设计考虑便是实际的。
所需要的是这样的光学系统，其利用高效地组合多个光波长并且还对组合光的规定状态进行隔离或滤波的光调制器。
发明内容
本发明的实施例包括光学系统。所述光学系统包括多个光调制器，一个或更多个组合滤波器，以及包括滤波器的光中继器(opticalrelay)系统。每个光调制器调制对应的入射光束。一个或更多个组合滤波器叠加来自多个光调制器中每个的经调制光束。光中继器系统对被叠加的光进行滤波并且将经滤波的光中继到图像平面。
每个光调制器优选地是光栅光阀类型器件。光中继器系统优选地是包括主镜及副镜的经修改的Offner中继器类型器件。所述主镜优选地接收离轴的来自一个或更多个组合滤波器的被叠加光。在经修改的Offner中继器类型器件内的滤波器优选地位于经修改的Offner中继器类型器件的变换平面处。副镜优选地包括所述滤波器。在光中继器系统内的滤波器优选地是纹影类型的滤波器。组合滤波器可以是二向色滤波器。
每个光调制器优选地通过反射作为零级光的一部分入射光束以及通过衍射作为第一级光的另外一部分入射光束而对光进行调制。零级光可以被中继到图像平面或第一级光可以被中继到图像平面。光学系统还可以包括被耦合在一个或更多个多光调制器与组合滤波器之间的色校正透镜。
图1示例一种根据本发明优选实施例的光学系统。
图2示例被包括在图1光学系统内的光栅光阀类型器件的优选实施例。
图3示例在反射模式下的光栅光阀类型器件的横断面。
图4示例在衍射模式下的光栅光阀类型器件的横断面。
图5示例被包括在图1光学系统内的色组合光学装置。
具体实施例方式
本发明前端光学系统的实施例包括RGB色组合器和包括纹影类型滤波器的1D光阀中继器。本发明的实施例优选地涉及使用光调制器的显示应用。优选地，光调制器是光栅光阀类型器件。前端光学系统使用二向色滤波器和经修改的Offer中继器类型器件以对来自三个光栅光阀类型器件的光输出进行组合，所述三个光栅光阀类型器件表示跨越视觉空间的三原色。所述三色利用二向色滤波器被组合且然后所述三个组合色被经修改的Offer中继器类型器件中继且滤波，然后其形成基本的三色、1D图像。通过将所述1D图像中继到显示屏幕并且沿着显示屏幕扫描所述1D图像，则在显示屏幕上形成2D图像。
在此所说明的本发明实施例涉及这样的高效且新颖的装置，其用于组合三个RGB可见光波长，并且适宜地将被叠加的光调制器输出中继到公用的、衍射受限的图像平面上面的1D图像上。包括经修改的Offner中继器类型器件的光中继器系统被用来产生实三色图像且充当纹影类型的滤波器以选择适合于高对比度图像投影的适当光栅光阀器件状态。优选地，单色激光被用来照明相等数量的光调制器，一个用于每一基色。光学纹影类型滤波器优选地被用来将来自被照明的光调制器的衍射光分量，优选地第一级衍射光中继到衍射受限的图像平面，而同时阻挡来自光调制器的被镜面反射的光分量以及任何杂散光的发射。在这个优选的情况中，本发明的光学系统被称为操作在第一级。
作为选择地，光学纹影类型滤波器被用来将来自被照明的光调制器的被镜面反射的光分量中继到衍射受限的图像平面，而同时阻挡来自光调制器的衍射光分量的发射。在这个可供替换的情况下，本发明的光学系统被称为操作在零级。
总体上，经色组合光的被中继图像穿过视场光阑以抑制不希望的能量进入系统，并且输入可以被进一步加以处理且通过使用传统的投影物镜被投影到大屏幕上。除了纹影类型滤波用于高图像对比度以外，本发明的实施例还允许对最后投影物镜的轴向及侧向色象差进行校正或补偿。在其中如上所说明光学系统操作在第一级的优选实施例中，在中继器的衍射受限平面输出处可以取得大于约2000∶1的全动态范围的反差比(contrast ratio)。
根据本发明优选实施例的光学系统50被示例于图1。所优选的光学系统50包括分别的第一、第二和第三光调制器52、54和56；分别的第一、第二及第三照明光轨58、60和62；分别的第一、第二及第三镜64、66和68；色组合光学装置70；经修改的Offner中继器类型器件72；第四镜74以及投影透镜76。优选地，光调制器52、54和56是光栅光阀类型器件。
第一照明光轨58被光耦合到第一光调制器52。第一光调制器52被光耦合到色组合光学装置70。第二照明光轨60被光耦合到第二光调制器54。第二光调制器54被光耦合到色组合光学装置70。第三照明光轨62被光耦合到第三光调制器56。第三光调制器56被光耦合到色组合光学装置70。
色组合光学装置70被光耦合到经修改的Offner中继器类型器件72。经修改的Offner中继器类型器件72被光耦合到第四镜74。第四镜被光耦合到投影透镜76。投影透镜76被光耦合到显示屏幕(未示出)。
优选地，第一照明光轨58将近似波长630-650nm的红光源78耦合到第一光调制器52。优选地，第二照明光轨60将近似波长520-540nm的绿光源80耦合到第二光调制器54。优选地，第三照明光轨62将近似波长440-460nm的蓝光源82耦合到第三光调制器56。
作为选择地，第一、第二和第三照明光轨58、60和62分别将其它光源耦合到分别的第一、第二和第三光调制器52、54和56。第一、第二和第三照明光轨58，60和62分别产生分别的第一、第二和第三楔形焦点，其分别在第一、第二和第三光调制器52、54和56处产生线照明。
在操作中，通过分别使用第一第二和第三照明光轨58、60和62，红、绿和蓝光被分别入射到第一、第二和第三光调制器52、54和56上。红、绿和蓝光分别以设计角从第一、第二和第三光调制器52、54和56离开。
根据本发明优选实施例的示范光栅光阀类型器件20被示例于图2中。光栅光阀类型器件20优选地包括靠基片38上面的第一和第二柱34和36而被悬吊的细长元件32。细长元件32包括传导和反射表面40。基片38包括导体42。在操作中，光栅光阀类型器件20操作以产生从反射模式和衍射模式中加以选择的调制光。
本发明的光栅光阀类型器件20的横断面被进一步示例于图3和图4。光栅光阀类型器件20包括被悬吊在基片38上面的细长元件32。所述细长元件包括传导和反射表面40以及弹性材料44。基片38包括导体42。
图3描绘了处于反射模式的光栅光阀类型器件20。在反射模式中，细长元件32的传导和反射表面40形成一平面，以便于入射光从细长元件32反射以产生反射光R。
图4描绘处于衍射模式的光栅光阀类型器件20。在衍射模式中，电偏置致使细长元件32的交替元件向基片38移动。电偏置被施加在细长元件的交替元件的反射和传导表面40与导体42之间。电偏置导致细长元件32的交替元件与细长元件32的非偏置元件之间入射光的四分之一波长λ/4的高度差。四分之一波长λ/4的高度差产生包括正一和负一衍射级D+1及D-1的衍射光。
图3和4描绘了分别处于反射和衍射模式的光栅光阀类型器件20。对于小于四分之一波长λ/4的细长元件32的交替元件的偏转，入射光I即反射又衍射，从而产生反射光R和包括正一和负一衍射级D+1及D-1的衍射光。换句话说，通过将细长元件32的交替元件偏转小于四分之一波长λ/4，光栅光阀类型器件20产生可变的反射率，其在显示应用中提供灰标效应。
对于本领域中的普通技术人员将非常显而易见地是传导和反射表面40可以被多层电介质反射器和传导元件所替代，其中传导元件被埋置在每个细长元件32内或仅被埋置在细长元件32的交替元件内。此外，对于本领域中的普通技术人员将非常显而易见地是传导和反射表面40可以被涂有透明层如抗反射层。
虽然图2、3和4描绘了具有六个细长元件32的光栅光阀类型器件20，但是光栅光阀类型器件20优选地包括更多的细长元件32。通过提供更多的细长元件32，细长元件32能够起到被称为像素的组的作用。优选地，每个像素是两个细长元件32的组。作为选择地，每个像素是更多细长元件32的组。优选地，光栅光阀类型器件20包括3240个像素。作为选择地，光栅光阀类型器件20包括可多可少的像素。
对于本领域的普通技术人员将非常显而易见地是在此术语“像素”被用在光调制器元件的环境中而不是其对显示器画面元素的更具体定义。
参考图1，分别从光调制器52、54和56被导引的红、绿和蓝光被色组合光学装置70所组合。优选地通过使用两个二向色板的最小值完成共线色组合，其中每个板的主反射表面由长波通多层涂层组成。每个板的次表面具有多层抗反射涂层。每个板的二向色表面被设计用于经选择原色或原色带的高反射率，并且对于“通带”是可高度透射的。取决于应用，板的经抗反射涂镀的第二表面可以是窄带或宽带。优选地，因其相对低的成本和总体上在宽角范围上的良好性能，宽带可见光涂层被使用。优选地，接近对称的光调制器52、54和56簇被选择用于进行组合，从而导致在每个光通道之间大约120度的三角形布置。
本发明的色组合光学装置70被进一步示例于图5。色组合光学装置70包括第一和第二二向色板82和84。红光86从第一光调制器52(图1)耦合到色组合光学装置70。第一二向色板82包括微小的楔形并且还包括第一和第二红色抗反射涂层87和88。第二二向色板84包括第三和第四红色抗反射涂层90和92。因此，红光86通过第一和第二二向色板82和84被折射。
绿光94从第二光调制器54(图1)耦合到色组合光学装置70。第一二向色板82包括绿色反射涂层96。第二二向色板包括第一和第二绿色抗反射涂层98和100。因此，绿光94从第一二向色板82反射且折射通过将绿光94与红光86进行组合的第二二向色板84。
对于本领域的普通技术人员将非常显而易见地是第二红色抗反射涂层88和绿色抗反射涂层96优选地包括第一多层集成涂层。
蓝光102从第三光调制器56(图1)耦合到色组合光学装置70。第二二向色板84包括蓝色反射涂层97。因此，蓝光102从将蓝光102与红及蓝光86和94进行组合的第二二向色板84反射。
对于本领域的普通技术人员将非常显而易见地是第三红色抗反射涂层90和第一绿色抗反射涂层98优选地包括第二多层集成涂层。此外，对于本领域的普通技术人员将非常显而易见地是第四红色抗反射涂层92，第二绿色抗反射涂层100和蓝色反射涂层97优选地包括第三多层集成涂层。
不像一些传统的色组合棱镜或板，色组合光学装置70适应于直至f/3数值孔径的偏振状态S和P。板82和84优选地被设置在基本30度的入射角或更小以便于取得S和P偏振状态两者的高性能。由于板82和84具有有限厚度且板82和84典型地离轴地使用非准直光，所以未被加以补偿的慧形象差及象散可以导致过多的光学象差，特别是在大的数值孔径处。通过使用相对于入射光呈相反角而取向的板82和84，作为结果的慧形象差项可以被消循似地变小。象散可以被加以控制而无需使用附加的柱面光学部件。在本发明的实施例中，每个板82和84被略微且不同地楔形化以便于调节慧形象差校正以足够补偿纵向象散。这样的色组合装置保持颜色得到校正且对于小于或等于f/3的数值孔径衍射受到限制。色组合装置还为处在色组合板入射平面内轴上的以及其中离轴区域被局限到横向或正交平面且基本上处于法线入射的象变系统工作。这是针对1D光调制器的情况，正如在本发明上面一旦由色组合光学装置70加以组合，则利用被设计用来将来自光调制器52、54和56的光中继到公用焦平面的有限共轭光学系统，三色可以被适宜地成像。通过使用全反射Offner系统，经组合的色输入可以被中继到中间图像平面，如在图1中所描绘的中间焦点116，而没有引发色差。通过使用两个接近同心的镜，这可以被实现，其中主镜表面被使用两次。镜的焦距和大小被加以选择以允许输入和输出光被离轴对准，以适应相对大的不受阻拦的孔径，并且为中继器的两个共轭臂提供适当的工作距离。
返回到图1，红、绿和蓝光86、94和102分别从色组合光学装置70耦合到经修改的Offner中继器类型器件72。经修改的Offner中继器类型器件72包括第一焦点，它分别是第一、第二和第三光调制器52、54和56的位置重合的点。经修改的Offner中继器类型器件72包括主镜104和副镜106。优选地，主镜104和副镜106包括球面镜。优选地，副镜106位于经修改的Offner中继器类型器件的变换平面处。副镜106包括其中出现纹影类型滤波的狭缝108。
红、绿和蓝光86、94和102分别偏离主镜光轴110耦合到主镜104上且被反射到副镜106。优选地通过反射分别由第一、第二和第三光调制器52、54和56衍射的光，以及通过把分别由第一、第二和第三光调制器52、54和56反射的光传递通过副镜106中的狭缝108，副镜106执行纹影类型滤波。
尤其地，纹影类型滤波优选地被执行如下。由分别第一、第二和第三光调制器52、54和56所衍射的分别红、绿和蓝光86、94和102偏离副镜光轴112且平行于由图1所定义的光学系统平面成行地照明副镜106。由分别第一、第二和第三光调制器52、54和56所反射的分别红、绿和蓝光86、94和102平行于光学系统平面排成一行地穿过在副镜光轴112上面的副镜106的狭缝108。分别穿过狭缝108的红、绿和蓝光86、94和102优选地被束流倾卸器114所收集。束流倾卸器114防止未被副镜106反射的光引起杂散光问题。
作为选择地，由可供替换的经修改的Offner中继器类型器件执行纹影类型滤波。在可供替换的经修改的Offner中继器类型器件中，副镜106被可供替换的副镜所代替。可供替换的副镜包括两个狭缝，其中由第一、第二和第三光调制器52、54和56分别所衍射的光照明了可供替换的副镜。所述可供替换的副镜并不包括狭缝108。在可供替换的纹影类型滤波中，由第一、第二和第三光调制器52、54和56分别所反射的光从可供替换的副镜反射而由第一、第二和第三光调制器52、54和56分别所衍射的光穿过可供替换的狭缝。
重要的益处在于经修改的Offner中继器类型器件72是消色差的。即没有色差，因为经修改的Offner中继器类型器件72是反射式的。由于经修改的Offner中继器类型器件72是反射式的而不是折射式的，所以没有由红、绿和蓝光的折射差数所引起的色散。对于经修改的Offner中继器类型器件72，红、绿和蓝光基本上被相同地对待。另一重要方面是经修改的Offner中继器类型器件72提供传统的位置以放置一孔或狭缝以进行纹影类型滤波。
在红、绿和蓝光86、94和102分别被副镜106反射之后，红、绿和蓝光86、94和102分别耦合到主镜104，其中红、绿和蓝光86、94和102分别被再次反射。然后红、绿和蓝光86、94和102分别耦合到第四镜74，所述第四镜74将红、绿和蓝光86、94和102分别反射到焦点116。然后红、绿和蓝光86、94、102分别继续行进到投影透镜76。
经修改的Offner中继器类型器件72是具有单位放大的2f/2f配置。这样，在所优选的实施例中，分别的红、绿和蓝光86、94和102已经被从分别的第一、第二和第三光调制器52、54和56中继，并且与此同时被反射部分已经分别地从红、绿和蓝光86、94和102中被滤波。色组合光学装置70和经修改的Offner中继器类型器件72执行如下功能，即组合颜色、滤波以建立光调制器输出的对比度、以及进行中继以在焦点116处形成实像而无需放大。这样，所有三色被组合、被滤波且在焦点116被中继。然后在焦点116的图像经由投影透镜76被投影到屏幕(未示出)上并且利用镜子被扫描以在屏幕上形成两维图像。
经修改的Offner中继器类型器件72的统一放大率提供最佳的性能、最小的成本并且对于可获得的数值孔径允许投影透镜76的清楚孔径以保持尽可能小。
具有半径为主镜104半径一半的副镜106处在主镜104的后焦距上，并且因此起到傅立叶或变换平面以及孔径光阑的作用。通过适当地造型副镜106，经修改的Offner中继器类型器件72的输入一半被用作光学或纹理类型滤波器，并且优选地被设计成仅反射携带信息内容的感兴趣的光调制器衍射角。所有其它不希望的频率被穿过副镜106内或周围的孔径，并且被适宜地以束波倾卸器114终止。对于大约5度的小场角，以及直至f/2.5的孔径，在焦点116处1∶1的图像场基本上是平的，衍射受到限制且没有色象差。
Offner中继器基本上是身为反射式光学系统的消色差中继器系统。反射式光学系统趋向于希望在其自身上面形成回一个图像。这是很难处理的，因为然后两个图像必须被分开。经修改的Offner中继器类型器件72的配置接受离轴到主镜的入射组合光，其允许形成消色差图像而不正好在其本身的背面。如果入射的组合光在轴上被导引到经修改的Offner中继器类型器件72，则被反射的图像在其本身上的背面形成。然而，通过接受离轴的入射组合光，则大量被称为慧形象差的光学象差被建立。慧形象差具有奇偶性，这样当组合光被第二次反射回到主镜时，在组合光初始入射主镜的光轴的正好相反侧处，在第一反跳被建立的慧形象差基本上得到消除。概括地，Offner中继器类型器件72利用反射式系统进行中继并且不正好在其本身上面背部形成图像，但是避免了主离轴慧形象差。
慧形象差在从主镜的第一反射中被建立并且慧形象差在从主镜的第二反射中被消除。经修改的Offner中继器类型器件还形成一变换位置，在此频率平面滤波，例如纹影类型滤波被加以执行。在频率平面滤波中，角变成位置。针对来自光调制器的衍射，角是截然不同的。由光调制器所衍射的光针对正一和负一衍射级在两个角处进行衍射。正一和负一衍射级在副镜上形成两个截然不同的位置。由光调制器所反射的光(也被称为零级光)在副镜上形成另一截然不同的位置。对于执行纹影类型滤波这是最佳的对比度位置。在另一位置成像和变换关系以复杂的方式被混合，因此纹影类型滤波并不如此清晰。副镜被放置在变换平面处以最佳地执行纹影类型滤波。在优选的实施例中，孔或狭缝(纹影孔径)被放置在第二镜中，零级光被倾卸，并且正一和负一衍射级得到收集。这在优选的光学系统中建立了对比度。这个实施被称为第一级操作，因为正一和负一衍射级被用来建立图像。
本发明的实施例提供了非模糊的三色图像平面，其被极好地加以校正并且可接近。图像进一步利用孔径、狭缝或其它装置可以被加以修改或滤波，并且适合于利用外部物镜的投影。由于每个RGB色被分开地加以承认或拒绝，所以利用在此所说明的本发明的光学系统，可获得若干唯一的色补偿方案。这样的方案之一允许对轴向和侧向色的校正，因紧跟Offner图像之后的物镜固有色差所述校正可是必要的。大多数投影透镜的设计拥有一些程度的未加以校正的纵向和侧向色。高度消色的物镜是昂贵的且难以设计和制造。这样的色象差可以通过变化光调制器52、54和56相对于经修改的Offner中继器类型器件72的共轭距离被加以校正或补偿。经修改的Offner中继器类型器件72对物共轭极为宽容。侧向色在投影物镜中难以校正，并且取决于所要求的色校正程度通常要求精心的选择并且使用外来玻璃。通过在中继器的输入臂使用弱场透镜，在本发明的实施例中侧向色校正得到实现。
参考图1，所优选的光学系统50包括位于到色组合光学装置70的绿光输入路径中的色补偿透镜120。离轴场角仅被略微地改变，由此降低了作为波长或色通道函数的在放大率方面的任何色差异。投影透镜76消除红和蓝色差而投影透镜76结合色补偿透镜120消除绿色差。侧向色差基本上是在色中的放大率方面不同。为了校正侧向色差，通过使用色补偿透镜120少量光功率被添加到绿色中并且红和蓝色在投影透镜76中被加以校正。
色补偿透镜120优选地包括具有曲率垂直于由图1所定义的光学系统平面的柱面透镜。作为选择地，色补偿透镜120包括球面透镜。
光学系统50的可供替换的实施例反射镜面光，例如分别来自第一、第二和第三光调制器52、54和56的零级光，并且倾卸第一级光。在可供替换的实施例中，副镜106被具有将要通过而不是反射第一级光的两个狭缝的可供替换的副镜所取代。
本发明已经就具体实施例并结合细节被加以说明，以便利于理解本发明的结构原理和操作。如所指的，在此对具体实施例和其细节的参考并不旨在限制在此所附加的权利要求的范围。对于本领域中那些普通技术人员将显然地是在被选择用于示例的实施例中可以进行修改而不偏离本发明的实质和范围。
权利要求
1.一种光学系统包括(a.)多个光调制器，其中每个光调制器调制对应的入射光束；(b.)一个或更多个组合滤波器，用于叠加来自所述多个光调制器中每个的经调制光；以及(c.)包括滤波器的光中继器系统，其中所述光中继器系统对被叠加的光进行滤波并且将经滤波的光中继到图像平面。
2.根据权利要求1的光学系统，其中每个光调制器包括光栅光阀类型器件。
3.根据权利要求1的光学系统，其中所述光中继系统包括经修改的Offner中继器类型器件，所述器件包括主镜和副镜。
4.根据权利要求3的光学系统，其中主镜接收离轴的来自一个或更多个组合滤波器的被叠加光。
5.根据权利要求3的光学系统，其中在经修改的Offner中继器类型器件内的滤波器位于经修改的Offner中继器类型器件的变换平面处。
6.根据权利要求5的光学系统，其中副镜包括所述滤波器。
7.根据权利要求1的光学系统，其中在所述光中继系统内的滤波器包括纹影类型滤波器。
8.根据权利要求1的光学系统，其中所述组合滤波器包括二向色滤波器。
9.根据权利要求1的光学系统，其中通过反射作为零级光的一部分入射光并且通过衍射作为第一级光的另一部分入射光，每个光调制器对光进行调制。
10.根据权利要求9的光学系统，其中所述零级光被中继到图像平面。
11.根据权利要求9的光学系统，其中所述第一级光被中继到图像平面。
12.根据权利要求1的光学系统进一步包括被耦合在多个光调制中的一个或更多个与组合滤波器之间的色校正透镜。
13.一种对多个光束进行组合、中继以及滤波的方法包括(a.)对所述多个光束中的每个进行调制；(b.)对经调制光束中的每个进行组合；(c.)将组合的光束中继到图像平面；以及(d.)在组合的光束被中继到图像平面的同时对组合的光束进行滤波。
14.根据权利要求13的方法，其中通过反射作为零级光的一部分光束并且通过衍射作为第一级光的另一部分光束，所述多个光束中的每个被加以调制。
15.根据权利要求14的方法，其中通过使零级光通过并且反射第一级光以便于第一级光被中继到图像平面，组合的光束被加以滤波。
16.根据权利要求14的方法，其中通过使第一级光通过并且反射零级光以便于零级光被中继到图像平面，组合的光束被加以滤波。
17.一种光学系统包括(a.)用于对所述多个光束中的每个进行调制的装置；(b.)用于对经调制光束中的每个进行组合的装置；(c.)用于将组合的光束中继到图像平面的装置；以及(d.)用于在组合的光束被中继到图像平面的同时对组合的光束进行滤波的装置。
18.根据权利要求17的光学系统，其中用于调制的所述装置包括多个光栅光阀类型器件，每个光栅光阀类型器件对应于多个光束之一。
19.根据权利要求18的光学系统，其中用于中继的所述装置包括经修改的Offner中继器类型器件，所述器件包括主镜和副镜。
20.根据权利要求19的光学系统，其中用于滤波的所述装置包括副镜以便于副镜被配置成为纹影类型滤波器。
全文摘要
光学系统(50)包括多个光调制器(52，54，56)、一个或更多个组合滤波器以及包括滤波器的光中继器系统。每个光调制器调制对应的入射光束。所述一个或更多个组合滤波器叠加来自所述多个光调制器中每个的经调制光束。光中继器系统对被叠加的光进行滤波并且将经滤波的光中继到图像平面。
文档编号G03B21/28GK1754122SQ02827595
公开日2006年3月29日 申请日期2002年11月21日 优先权日2001年11月30日
发明者K·P·格罗斯, P·曼哈特, R·A·布赫罗德 申请人:硅光机器公司