光罩验证系统及程序的制作方法

专利名称：光罩验证系统及程序的制作方法
技术领域：
本发明涉及到一种为了进行所希望的曝光而进行是否制作了光罩
数据(reticle data)的验证的光罩验证系统，尤其涉及到一种进行平板 显示器制作用光罩数据的验证的光罩验证系统。
背景技术：
平板显示器(FPD)制作用光罩数据在面板布局数据上规定拍摄 框，作为曝光要素(以下也称为重复要素)剪切制作，包括上述曝光 要素的图形数据及表示面板基板上的曝光位置的坐标信息。
利用上述光罩数据转印到FPD面板基板上时，使用上述光罩数据 的配置曝光要素的坐标信息，在曝光装置中转印到FPD的面板基板上。
此时，当光罩上设置的曝光要素的图形数据或上述坐标信息中存 在错误时，不仅浪费光罩，而且浪费面板基板。尤其是在制作平板显 示器用的光罩数据时，需要人力进行曝光区域分割的情况较多，易产 生错误。
为了防止这一点，考虑根据光罩图像数据和坐标信息模拟曝光装 置并进行验证的方法。其中，在曝光装置和模拟的关系中，例如包括
实现曝光装置的成本优化的技术。专利文献1提供如下方法使用模 拟器，在曝光装置中降低时间和劳力，优化测量条件的测量条件优化 方法。但是，专利文献l仅仅公开了想要进行测量条件优化的发明。
一般情况下，平板显示器用的面板基板的大小是远远超过曝光装 置的曝光范围的大小。因此，安装在曝光装置的光罩小于面板基板，
在光罩上将剪切了面板基板上的一部分的要素作为曝光要素配置。
使用光罩通过曝光装置曝光时，反复配置光罩上的曝光要素进行 曝光，从而制造出平板显示器用面板基板。
因此，在制作光罩时，进行显示面板区域的分割和显示器布局数 据的切断，制作光罩的曝光要素等，另一方面，制作显示面板时，通 过反复曝光制作面板基板，因此在布局数据切断和曝光要素反复配置 时，易产生错误。
并且，即使在不伴随布局数据切断的情况下，也需要显示面板区 域的分割，因此必须实施曝光要素的反复配置的指定。此时，存在产 生反复配置的指示错误的情况非常多。因此，要求在制造的前工序中 预先验证曝光结果的验证单元。
专利文献l:日本特开2006-140204号公报

发明内容
本发明的课题在于提供一种可预先验证光罩上设置的曝光要素的 曝光结果的光罩验证系统。
并且，本发明的课题在于提供一种通过模拟曝光装置的动作可预 先验证曝光要素的曝光结果的光罩验证系统。
并且，本发明的课题在于提供一种由计算机执行、适于构建上述 光罩验证系统的光罩验证用程序。
根据本发明，提供一种光罩验证系统，其特征在于，具有存储 单元，存储平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据； 以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝
光位置的坐标信息；布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存 储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上 述显示面板上的布局图形要素；验证单元，根据上述布局图形要素生 成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证 上述曝光要素；以及显示单元，显示上述验证单元验证的结果。
布局图形要素生成单元根据存储单元中存储的曝光要素的图形数 据及坐标信息，生成与上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图 形要素。检测单元根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面 板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素。显示单元 显示上述验证单元验证的结果。
其中，上述显示单元至少具有显示验证结果的窗口，上述验证单 元通过进行与上述多个布局图形要素对应的网格格子之间的计算处 理，验证上述多个曝光要素，上述显示单元将上述验证单元的验证结 果所获得的图形显示到上述窗口上。
并且，上述光罩的数据将定义晶体管图形的中间层、或定义了晶 体管图形的外部程序库作为中间层持有，并且具有使定义上述晶体管 图形的中间层或外部程序库通过指针构造根据需要而展开的、具有表 格构造的展开单元。
并且，上述验证单元具有差异抽取单元，其在进行了二个布局图 形要素的逻辑OR处理后，进行上述任意一个布局图形要素和与上述逻 辑OR结果所获得的图形要素中的该布局图形要素所对应的区域的逻 辑XOR处理或差分处理，从而抽取上述二个布局图形要素的差异。
并且，上述验证单元具有重叠量检测单元，通过进行二个布局图 形要素的逻辑AND处理，检测出上述二个布局图形要素的重叠量。
并且，上述验证单元具有偏移验证单元，验证上述重叠量检测单 元检测出的重叠量是否满足所指示的偏移值。
并且，上述验证单元具有要素判断单元，在上述重叠量检测单元 检测出没有上述二个布局图形要素的重叠量后，进行逻辑OR处理，当 确认了二个布局图形要素形成关闭的一个图形的结果时，判断上述二
个布局图形要素是连续的图形要素。
并且，上述各曝光要素中含有图形要素及包围上述图形要素的预 定宽的百叶框，上述验证单元具有终点验证单元，对于与上述百叶框 内边缘对应的上述显示面板上的网格格子，验证在规定偏移值的范围 内是否存在上述图形要素的布局图形要素的终点。
并且，具有指定单元，指定含有错误的验证结果的错误层，当上 述显示单元在表示上述验证结果的窗口上显示错误图形信息时，以层 单位在上述窗口上显示上述指定单元指定的错误层的错误图形信息。
并且，上述显示单元具有与显示上述验证结果的窗口不同的对话 框，上述指定单元在上述对话框上指定上述错误层，上述显示单元在 上述对话框上显示错误个数，并且响应上述指定单元对错误层的指定， 将该层的错误图形信息显示到上述窗口上。
并且，根据本发明，提供一种程序，使计算机起到上述任意一项 所述的光罩验证系统的作用。
计算机通过执行上述程序，作为上述任意一项所述的光罩验证系 统起作用。
本发明的光罩验证系统可预先验证光罩上设置的曝光要素的曝光 结果。 并且，通过模拟曝光装置的动作可预先验证曝光要素的曝光结果。
并且，本发明的程序由计算机执行，从而可构筑上述光罩数据曝 光验证系统。


图1是表示本发明的实施方式中的平板显示器用面板基板和光罩 的关系的图。
图2是表示本发明的实施方式中的面板基板上的面板布局数据和 光罩上的光罩布局数据的关系的图。
图3是表示在本发明的实施方式中生成光罩数据时的整体的显示 内容的图。
图4是表示在本发明的实施方式中生成光罩数据时的整体处理的 流程图。 图5是表示本发明的实施方式中的面板布局数据的构造的图。 图6是表示本发明的实施方式中的光罩数据的构造的图。 图7是本发明的实施方式中的光罩数据的表格。 图8是表示本发明的实施方式中的坐标信息输出处理的图。 图9是表示本发明的实施方式中的坐标信息输出处理的图。 图10是表示本发明的实施方式中的曝光区域的分割处理方法的 说明图。
图11是表示本发明的实施方式中的曝光区域的分割处理方法的 说明图。
图12是表示本发明的实施方式中的曝光区域的分割处理方法的 说明图。
图13是表示本发明的实施方式中的曝光要素的图。 图14是本发明的实施方式涉及的光罩验证系统的框图。 图15是表示本发明的实施方式涉及的光罩验证系统的处理的流 程图。
图16是表示本发明的实施方式中的各种数据的关系的图。
图17是本发明的实施方式中的数据的表格。
图18是表示本发明的实施方式中的面板基板上的数据构造的图。 图19是表示本发明的实施方式中的面板基板上的数据构造所对 应的表格构造的图。
图20是表示本发明的实施方式中的图形的各种处理的说明图。 图21是表示本发明的实施方式中的图形的各种处理的说明图。 图22是表示本发明的实施方式中的单侧曝光区域检测的OR处理 的说明图。
图23是表示本发明的实施方式中的单侧曝光区域检测的OR处理 的说明图。
图24是表示本发明的实施方式中的单侧曝光区域检测的OR处理 的说明图。
图25是表示本发明的实施方式中的排他逻辑和处理或差分处理 的说明图。
图26是表示本发明的实施方式中的排他逻辑和处理或差分处理 的说明图。
图27是表示本发明的实施方式中的曝光数据的重叠的说明图。 图28是表示本发明的实施方式中的曝光数据的重叠的说明图。 图29是表示本发明的实施方式中的配置在面板基板上的重复要 素的图。
图30是表示本发明的实施方式中的配置在面板基板上的重复要 素的图。
图31是表示本发明的实施方式中的配置在面板基板上的重复要 素的逻辑积的说明图。
图32是表示本发明的实施方式中的配置在面板基板上的重复要 素的逻辑值表。
图33是表示本发明的实施方式中的双重曝光区域的例子的图。 图34是表示本发明的实施方式中的双重曝光区域的例子的图。 图35是表示本发明的实施方式中的双重曝光区域的例子的图。
图36是表示本发明的实施方式中的双重曝光区域的例子的图。 图37是本发明的实施方式中的双重曝光处理的说明图。
图38是本发明的实施方式中的双重曝光处理的说明图。 图39是本发明的实施方式中的双重曝光验证处理的说明图。 图40是本发明的实施方式中的双重曝光验证处理的说明图。 图41是本发明的实施方式中的非曝光区域验证处理的说明图。 图42是本发明的实施方式中的非曝光区域验证处理的说明图。 图43是本发明的实施方式中的验证结果的说明图。 图44是本发明的实施方式中的验证结果的说明图。 图45是表示在本发明的实施方式中检测出的错误图形的数据构 造的图。
具体实施例方式
以下说明本发明的实施方式涉及的光罩验证系统及光罩验证用程序。
并且，本发明的实施方式涉及的光罩验证系统由一台或多台计算 机、及通过上述计算机的执行而构建光罩验证系统的光罩验证用程序 构成，对此稍后详述。上述计算机通过执行光罩数据制作用程序，从 而作为用于制作光罩数据的光罩数据制作系统而起作用。并且，在各 图中，对同一部分标以同一标号。
图1是表示本实施方式中的平板显示器(FPD)用面板基板和光 罩的关系的图，图(a)是平面图，图(b)是侧面图。
在图1中，101是面板基板，102是保证了特性的曝光装置(未图 示)的曝光区域，103是曝光装置的可曝光区域，104是光源系统机构， 105是遮光系统机构，106是光罩，107是曝光面。其中，面板基板IOI 的材质可使用玻璃、塑料膜等。
近些年的平板显示器，像液晶显示器、等离子体显示器这样变得 大型化，曝光装置无法统一曝光面板基板101 (参照图1 (a)的平面 图)。因此，需要以某种形式来分割曝光区域，进行反复曝光。曝光
装置和面板基板101的位置关系从光源一侧来看，是光源系统机构104、 遮光系统机构105、光罩106、曝光面107、面板基板101，在图1中 虽然未记载，但还在其中添加有透镜系统机构(参照图1 (b)的侧面 图)。
此外，遮光系统机构105是指机械性屏蔽来自光源的光的长方形 的机械机构。
图2是表示本发明的实施方式中的面板基板上的面板布局数据和 光罩上的光罩布局数据的关系的图。
在图2中，液晶面板201是作为面板布局数据211在面板基板210 上存在一种大型面板布局数据Al的例子。在液晶面板201的情况下， 分割面板布局数据Al，将具有重复构造的数据群对应拍摄框213抽取， 并将其配置在光罩205上，作为光罩布局数据206。
通常这种情况下，进行伴随着面板布局数据Al的切断的曝光区域 的分割。在本实施方式中，将面板布局数据的各个被分割的要素(面 板布局要素)所对应的光罩布局数据的各要素称为曝光要素或重复要 素。光罩布局数据由多个曝光要素构成。并且，212是保证了特性的曝 光区域。
液晶面板202是作为面板布局数据存在中型面板布局数据A2和 A3的情况。这种情况下，也对面板布局数据A2和A3进行伴随着面板 布局数据的切断的曝光区域分割，通常将具有重复构造的数据群与拍 摄框213对应制作。
液晶面板203是作为面板布局数据，多个小型面板布局数据A4
和A5排列在面板基板上的情况。这种情况下，使多个面板布局数据 A4和多个面板布局数据A5与各拍摄框213对应生成，需要将该生成 的光罩布局数据206配置在光罩205上以减少曝光次数的操作。因此， 通常这种情况下，需要曝光区域的分割，但不进行面板布局数据的切 断。
液晶面板204是中型面板布局数据A2和小型面板布局数据A4、 A5三种面板布局数据存在于面板基板上的情况。这种情况下，中型面 板布局数据A2进行伴随着面板布局数据切断的曝光区域分割，与拍摄 框213对应生成，小型布局数据A4、 A5进行不伴随面板布局数据切断 的曝光区域分割，与拍摄框213对应生成，作为光罩布局数据206。
因此，制作光罩时，从面板基板210的面板布局数据211等中抽 取具有重复构造的数据群，将其作为多个拍摄框213配置在光罩205 上，制作光罩布局数据。此时，通用性较强，抽取出较大的拍摄框区 域。
在任意一种情况下，通过进行曝光装置模拟来确认没有错误数据 这一点是很重要的。这是因为，即使在不伴随面板布局数据的切断的 情况下，进行重复配置的曝光区域的分割也是必须的，指定该重复配 置时，易产生错误。此外，光罩数据中的拍摄框数据成为设定了百叶 框的图形要素，将其称为曝光要素或重复要素。
在说明本发明的实施方式涉及的光罩验证系统前，首先简要说明 光罩数据的制作顺序。
图3及图4是表示由面板布局数据制作光罩数据时的一般的处理 顺序的图，图3是表示光罩验证系统(制作光罩时，作为光罩制作系 统起作用)的显示部1的显示内容的图，图4是表示构成光罩制作系
统的CPU (未图示)的处理步骤的流程图。
图3 (a)表示面板基板210上的面板布局数据211，图(b)表示 对面板基板210上的拍摄框213的设定、及对光罩205上的拍摄框213 的配置，图(c)表示通过进行面板基板210上的面板布局数据211的 切断(例如沿着拍摄框213的切断)而产生的抽取、进行校正图案(未 图示)生成及百叶框(未图示)生成时的处理。
并且，图(d)表示从光罩设计系统输出的光罩的坐标信息。上述 坐标信息包括作为曝光要素数据的与各拍摄框对应的光罩布局数据 (在本实施方式中也称为曝光要素或重复要素)的宽和高的信息、重 复配置重复要素的位置的信息(重复配置信息)。
使用图3及图4概要说明光罩数据的制作处理，制作光罩数据时， 首先CPU读入面板布局数据211 (步骤S401)，在面板基板210上对 面板布局数据211设定多个拍摄框213，将拍摄框213配置在光罩205 上，制作光罩布局数据206 (步骤S402)。
接着，根据拍摄框213进行曝光区域的分割。此时，通常在指定 的拍摄框213的正下方存在布线数据，因此必须将其切断。其中包括 在数据切断部分产生比上述切断部分宽的图案(校正图案)的情况(步 骤S403、 S404)及不产生的情况(步骤S405)。
不产生校正图案时，使拍摄框213重叠并定义后，前进到处理步 骤S406 (步骤S405)。通过这一构成，在曝光时，通过使曝光数据本 身多重曝光，可防止微小偏差引起的数据的误切断。
生成校正图案时，在校正图案生成后，前进到处理步骤S406 (步 骤S403、 S404)。生成校正图案时，校正图案本身一般被多重曝光， 结果防止了微小偏差引起的误切断。
在处理步骤S402中，不伴随数据切断的曝光区域的分割中，直接
移动到包围曝光区域的规定宽的框(百叶框)的生成处理(步骤S406)。
在处理步骤S406的百叶框生成处理中，以指定的宽生成百叶框。 校正图案由比布线图案宽的图案构成，并且百叶框的内边缘与上述校 正图案的外边缘对应构成。
由此能够制作由曝光区域的数据和百叶框构成的曝光要素(重叠 要素)。并且，制作与上述曝光要素建立了对应的坐标信息。
最后，输出光罩布局数据及与上述布局数据对应的坐标信息，结 束处理(步骤S407)。上述布局数据是光罩布局数据、及追加了拍摄 框213的数据的面板布局数据。
其中，光罩布局数据是定义曝光要素的图形的信息，是作为图形 数据由长方形图形、 一笔成形图形、中心线上定义了宽的图形、及构 成这些图形数据的中间模块构成的数据文件。
坐标信息如上所述，是定义光罩布局数据中含有的曝光要素的曝 光位置的信息，是记载了曝光要素的名称、高、宽、重复配置信息(重 复次数和配置坐标的信息)的文本文件。
并且，光罩数据是指由上述光罩布局数据及坐标信息构成的信息。
图5是表示面板基板上形成的面板布局数据的构造的图。将最上 位的模块称为顶级模块511，存在一个。其他模块均隶属于该顶级模块 511。它们是布局数据下位模块512 515，也可使其分层。模块具有的 布局数据例如在液晶面板中的情况下包括薄膜晶体管、液晶驱动部的 各晶体管的配置数据516、布线数据517、通孔配置数据518。
这些晶体管、布线、通孔具有名称(配置数据为程序库名，布线 数据为布线类型名，通孔数据为通孔名)，其内容收容在程序库文件 (配置模块程序库、布线类型程序库、通孔程序库)519，通过与程序 库名称一致而得到确认。
并且，晶体管数据应用较多，因此也存在以程序库形式独立于面 板布局数据而被管理的情况。
图6是表示光罩数据构造的图。基本上是和面板布局数据相同的
构造。顶级模块521同样存在一个。顶级模块521下，多个重复要素 522、 523作为下位模块存在，成为光罩数据的基本单位。
作为构成作为曝光要素的重复要素的数据，首先，作为曝光对象 数据包括百叶框数据524、校正图案数据525、切断的数据及未成为切 断对象的数据526、拍摄框数据527。此外，包括重复要素的宽和高数 据528、重复要素配置数据529、切断后的拍摄框内布局的下位模块数 据530、配置数据535、通孔数据536。
模块具有的布局数据和面板布局数据一样，例如在液晶面板的情 况下，包括薄膜晶体管或液晶驱动部的各晶体管的配置数据531、布线 数据532、通孔数据533。这些晶体管等的配置数据531、布线数据532、 通孔数据533具有名称，其内容收容在程序库文件(配置模块程序库、 布线类型程序库、通孔程序库、对准标记程序库)534中，通过与程序 库名称一致而被确认。
在面板的情况下，同样是与所有程序库文件名称一致地确定的数 据构造。并且，曝光时不使用，但也保持拍摄框数据。
并且，晶体管数据应用较多，因此也存在以程序库形式独立于光
罩数据而被管理的情况。
图7是对光罩布局数据的物理层、各数据级及层代码的例子在金 属一层和二层的情况下表示的表格。
例如，金属一层(铝第1层)时，拍摄框数据为层代码101，百
叶框数据为层代码102，图案数据为层代码104，校正图案为层代码105， 对金属二层(铝第2层)也同样来规定，使各层代码独立，可独立地 处理。这些层代码在各重复要素中通用。即，只要物理层和数据级相 同，在各重复要素之间，层代码通用。
图6及图7所示的光罩的数据最终被文件输出，其内容由长方形 图形、 一笔成形图形、中心线上定义了宽的图形、及将集中了这些图 形数据的模块作为中间层模块或程序库模块持有的模块构成。作为中 间层模块或程序库模块使用的是晶体管模块。
晶体管模块的数量多，展开并持有时，数据量庞大，因此通常在 作为程序库模块定义了中间层的形式下输出。
其中，图形数据与在本实施方式相关的领域中作为事实标准使用 的GDS格式相比，长方形图形为矩形(RectA.ngle)， 一笔成形图形为 边界(Boundary)，中心线上定义了宽的图形为路径(path)，集中了
这些图形数据的模块称为单元。
图8是表示光罩制作系统执行坐标信息输出程序而进行的坐标信 息输出处理的图，表示对于面板基板及光罩的重复要素的数值表现和 配置规定(包括对准标记)。
在图8中，801是面板基板，802是面板布局数据，803是面板基 板的XY中心坐标(在本例中与四个拍摄框A的中心坐标一致)(0,0)，
804是对准标记(其坐标是以面板基板801的中心坐标(O，O)为基准 的坐标(X0， Y0))。
805、 808、 811是光罩，807是保证了特性的曝光区域。并且，806、 809、 810、 812、 813分别是和拍摄框A、 Bl、 Cl、 B2、 C2对应的重 复要素。
在图8的例子中， 一个重复要素806形成在光罩805上，二个重 复要素809、 810形成在光罩808上，二个重复要素812、 813形成在 光罩811上。
包含了百叶框的曝光数据作为重复要素806、 809、 810、 812、 813 制作在各光罩805、 808、 811上。目卩，重复要素是通过由百叶框、切 断的数据、校正图案及未成为切断对象的数据构成的曝光数据而构成 的。这是拍摄信息的基础。
在本实施方式中，即使没有重复也称为重复要素。没有重复时的 重复数为0。在图8的例子中，和拍摄框A对应的重复要素806的个 数为2X2(二4)(重复次数2X2—1)(由此形成作为重复要素A的 集合的重复集合814)，与拍摄框Bl、 Cl、 B2、 C2对应的重复要素 809、 810、 812、 813的重复次数是0。
各重复要素具有名称。各重复要素相对于各重复要素自身的坐标 中心具有宽(W)和高(H)。各重复要素以由其重复要素构成的重复 集合的中心坐标为基准而配置。在图示例子中，面板基板801的中心 坐标(0,0)相当于此，配置在以中心坐标(0,0)为基准的位置上。
另一方面，作为光罩的布局数据，各重复要素配置在其中心位置 以光罩的中心坐标位置为基准坐标上。
关于对准标记，对于面板基板801，配置在以面板基板801的中
心坐标(o，o)为基准的位置，对于光罩，配置在以光罩的中心坐标为
基准的位置。对准标记在程序库文件中存储并定义。
图9和上述同样，是表示光罩制作系统执行坐标信息输出程序从 而进行的坐标信息输出处理的图，表示坐标信息输出的例子。如图9 所示，表示由面板基板801上的面板布局数据802生成配置有重复要 素的三个光罩805、 808、 811时的输出结果。
其中表示以下例子作为曝光拍摄信息，作为面板基板上的拍摄 信息排列指定了重复要素的名称和重复次数及高与宽的配置位置、及 作为光罩上的拍摄信息排列指定了同一重复要素名称和宽及高的配置 位置，作为坐标信息提供给用户。
图10 图12是表示曝光区域的分割处理方法的图，表示二个分 割方式，图11是分割图10的面板布局数据1003并切断时生成校正图 案1004的例子，图12是分割图10的面板布局数据1003并切断时未 生成校正图案的例子。
艮口，生成校正图案1004时，在图10及图11中，在拍摄框1002 正下方切断数据(例如布线数据)1003，在切断部位连续生成以规定 长度A伸长的校正图案1004、 1004。此时，校正图案1004也可以构成 为从比上述切断部位靠近规定长度内侧的位置开始，比上述切断部位 宽规定长度。这样一来，在进行双重曝光的部位1007上形成校正图案 1004。
形成规定宽的百叶框1005，使得校正图案1004的外侧位置和百 叶框1005的内侧位置具有规定量的偏差，并以规定量重叠，这样一来， 制作具有校正图案的曝光要素数据。百叶框1005的内边缘1006是比 拍摄框1002以规定A伸长的部位。百叶框1005的内边缘成为曝光区
域的外边缘。
因此，生成校正图案1004并切断时，数据1003的切断在拍摄框
1002正下方进行，校正图案1004成为相邻的曝光要素两者曝光的双重
曝光区域，通过相邻的曝光要素形成的面板布局数据通过校正图案
1004确保了连接。
另一方面，不生成校正图案而切断时，使布局数据重叠。重叠时， 如图12所示，通过比拍摄框1002以规定长度A伸长的部分进行切断。 对于相邻的拍摄框1001，同样也通过以规定长度A伸长的部分进行切 断来形成光罩。这样一来，进行双重曝光的部位1007上形成重叠部 1008。
形成规定宽的百叶框1005，使得重叠部1008的外侧位置和百叶 框1005的内侧位置具有规定量的偏差，并以规定量重叠。这样一来， 制作具有重叠部1008的曝光要素数据。百叶框1005的内边缘1006成 为比拍摄框1002伸长A的部位。百叶框1005的内边缘成为曝光区域 的外边缘。
图13是表示在具有斜线部1301的拍摄框1002中切断的曝光要素 的图，是形成了校正图案1004的曝光要素的例子。
在图13中，可以设定具有斜线部1301的拍摄框1002时，有时容 易抽取重复构造，是有效的。
校正图案1004、 1004沿着切断的布线数据1003的长度方向，在 内侧方向和外侧方向上设定为规定的校正值。并且，对夹持布线数据 1003的宽度方向的两侧，分别设定规定的校正值。百叶框1005的宽可 在水平方向Wh和垂直方向Wv中指定。
和水平切断的端部对应的校正图案1004是矩形，和斜线部1301 对应的校正图案1004是平行四边形。
如图13所示，在具有内边缘1006含有斜线部1301的百叶框1005 时，数据切断部位需要校正图案1004、 1004的双重曝光。
以上，图1 图13说明了如何制作光罩布局数据和坐标信息。本 实施方式进行由这样制作的光罩布局数据和坐标信息所合成的面板布 局数据的验证，作为结果，进行光罩数据曝光验证。
图14是表示本实施方式涉及的光罩验证系统构造的框图，是由计 算机及上述计算机执行的程序构成的例子。本实施方式涉及的光罩验 证系统具有中央处理装置(CPU)、在上述CPU上运行的多个程序 群、存储程序群及数据的存储装置、由键盘及鼠标构成的输入装置、 以及显示装置。
如果说明本实施方式涉及的光罩验证系统的概要，则本实施方式 涉及的光罩验证系统作为曝光装置模拟器起作用，因此使光罩窗口上 显示的光罩布局数据根据坐标信息显示到面板基板窗口上。对其进行
图形计算处理并进行验证，且如果加入显示错误图形的功能，则构成 光罩验证系统。其中，显示错误图形的窗口例如是面板基板窗口。
作为程序构造分为以下三个阶段作为初始设定，光罩布局数据 和坐标信息的读入及内部表格的制作；图形和图形的网格格子之间的 计算处理及伴随它们的验证处理；验证结果图形的显示。这些程序功 能均可通过操作显示在菜单窗口上的命令来进行。
作为图形的显示窗口，至少需要作为验证结果图形的显示的面板 基板窗口，输入部分和计算部分不一定需要图形显示功能，但从操作 确认的角度而言，具有图形显示功能较为方便。
在图14中，光罩验证系统具有由液晶显示面板等构成的显示部 1;由键盘2或鼠标3构成的操作部16;中央处理装置(CPU) 7;由 磁盘装置、半导体存储器等构成的存储部8。
显示部1上至少可显示下述三个窗口 操作面板基板12上的面板
布局数据的面板基板窗口 9、操作光罩13上的光罩布局数据的光罩窗 口 10、指示操作部16的操作的菜单窗口 11。面板基板窗口 9上设定 的拍摄框在光罩窗口 IO上作为拍摄框设定的操作在窗口之间进行。
光罩数据的验证结果显示到显示部1，也可显示到面板基板窗口 9、光罩窗口 10、菜单窗口 11的任意一个上。并且，显示光罩数据的 验证结果时，也可去掉上述各窗口 9 11，在上述各窗口 9 11存在的 区域中仅显示验证结果。
光罩的制作作业、验证作业通过操作部16选择菜单窗口 11上显 示的命令，使操作部16具有该命令的功能，操作操作部16进行在面 板基板窗口 9上拍摄框的设定、面板基板9和光罩窗口 IO之间的移动、 和光罩窗口 IO上对应的拍摄框的设定等各种作业。
存储部8具有程序存储部4，存储CPU7执行的光罩数据生成用 程序、光罩验证用程序；数据文件存储部5，存储输入输出数据、处理 中的中间数据等数据文件；以及文件存储部6，存储规则文件、程序库 文件这样的参照文件。
作为上述程序的构成，作为光罩制作用的程序，由以下程序构成 拍摄框设定程序、重复构造验证程序、百叶框间最小间隔验证程序、 数据切断程序、校正图案生成程序、百叶框生成程序、坐标信息清单 输出程序、各种数据的输入输出程序。
这些拍摄框设定、重复构造验证、百叶框间最小间隔验证、数据 切断、校正图案生成、百叶框生成、坐标信息清单输出的功能均通过 操作部16选择菜单窗口上显示的命令来进行。
并且，作为光罩数据验证用的程序包括输入处理部用程序、图形 计算处理的验证处理部用程序、验证结果显示部用程序。
作为文件构成，作为光罩制作用的文件构成，由以下构成除了 作为输入文件的面板布局数据文件和作为输出文件的光罩布局数据文 件及坐标信息清单文件外，作为参照文件的程序库文件和规则文件。 并且，作为数据文件的面板布局数据文件、光罩布局数据文件及坐标 信息清单文件存储到数据文件存储部5。作为参照文件的程序库文件及 规则文件存储到参照文件存储部6。
并且，作为光罩验证用的文件构成，由以下构成除了作为输入 文件的光罩布局数据和坐标信息文件、作为输出文件的光罩数据文件 和坐标信息清单文件外，作为参照文件的程序库文件和规则文件。
这样一来，构成执行光罩布局的光罩设计系统或进行光罩数据的 验证的光罩数据验证系统。
其中，显示部1、操作部16、存储部8分别构成显示单元、操作 单元、存储单元。
上述显示单元、操作单元、存储单元作为光罩制作系统起作用时， 可起到如下作用。
例如，显示单元至少可显示显示面板基板的面板布局数据的面 板基板窗口、显示光罩布局数据的光罩窗口、及显示上述操作单元的 命令的菜单窗口。
操作单元选择菜单窗口上显示的命令并输入。这样一来，可对于 面板基板的面板布局数据上设定的拍摄框，进行指定重复排列等操作。
存储单元可作为主存储装置及外部存储装置起作用。存储单元中 可存储可切断面板布局数据的条件、含有校正图案的宽及百叶框间 的最小距离的生成条件。并且，存储单元中可存储通过操作单元设定 的生成条件。
并且，CPU17在光罩制作系统中，构成光罩数据生成单元、重复 验证单元、百叶框间隔验证单元。光罩数据生成单元通过上述操作单 元切取与上述面板基板窗口上设定的拍摄框对应的面板布局数据，作 为部分面板布局数据抽取，上述部分面板布局数据中含有切断数据时， 在该切断数据的端部形成校正图案，并且通过形成内边缘和上述校正 图案的外边缘对应的百叶框，可将与上述部分面板布局数据对应的曝 光要素数据生成在上述光罩窗口上。并且，光罩数据生成单元可生成 上述曝光要素数据，以满足上述生成条件。
上述光罩数据生成单元具有以下单元切取通过上述操作单元在 上述面板基板窗口上设定的拍摄框所对应的面板布局数据，作为部分 面板布局数据抽取的抽取单元；上述部分面板布局数据中含有切断数 据时，在该切断数据的端部形成校正图案的校正图案生成单元；及形 成内边缘和上述校正图案的外边缘对应的百叶框的百叶框生成单元。 可将与上述部分面板布局数据对应的曝光要素数据生成在上述光罩窗 口上。
并且，重复验证单元可比较对照拍摄框和指定了重复排列的区域 所对应的面板布局数据是否一致。
并且，百叶框间隔验证单元在存在多个上述百叶框时，可验证百
叶框之间是否隔开规定的最小间隔以上。
另一方面，上述显示单元、操作单元、存储单元作为光罩验证系 统其作用时，可起到如下作用。
例如，显示单元可显示验证单元验证的结果。并且，显示单元可 至少具有显示验证结果的窗口。并且，显示单元可将验证单元的验证 结果所获得的图形显示到上述窗口上。
并且，显示单元在显示验证结果的窗口上显示错误图形信息时， 可将指定单元指定的错误层的验证结果图形信息以层单位显示在窗口 上。并且，显示单元具有与显示验证结果的窗口不同的对话框，在上 述对话框上显示错误个数，并响应指定单元对错误层的指定，将该层 的验证结果图形信息显示到上述窗口上。
操作单元可作为指定单元起作用。指定单元可指定错误的验证结 果含有的错误层。并且，指定单元可以在与窗口不同的对话框上指定 错误层。
存储单元可存储平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图 形数据；由网格格子点的坐标表现、表示显示面板上的上述曝光要素 的曝光位置的坐标信息。
并且，CPU7可作为布局图形要素生成单元、验证单元、展开单元 起作用。
布局图形要素生成单元可根据存储单元中存储的曝光要素的图形 数据及坐标信息，生成与曝光要素对应的显示面板上的布局图形要素。
验证单元可根据布局图形要素生成单元生成的显示面板上的多个
布局图形要素的位置关系，验证曝光要素。并且，曝光要素的图形数 据至少由线信息中定义了宽的线数据、长方形数据、描述各顶点的多 角形数据这三种构成，验证单元可通过进行上述多个布局图形要素所 对应的网格格子之间的计算处理，验证上述多个曝光要素。
验证单元可具有差异抽取单元，其在进行二个布局图形要素的逻 辑OR处理后，进行上述任意一个布局图形要素与上述逻辑OR的结果 可获得的图形要素的逻辑XOR处理或差分处理，从而抽取上述二个布 局图形要素的差异。
验证单元可具有重叠量检测单元，通过进行二个布局图形要素的
逻辑AND处理，检测出上述二个布局图形要素的重叠量。
验证单元可具有偏差验证单元，验证重叠量检测单元检测出的重 叠量是否满足指示的偏差值。
验证单元可具有要素判断单元，在重叠量检测单元检测出没有二 个布局图形要素的重叠量后，进行逻辑OR处理，当确认了二个布局图 形要素形成关闭的一个图形的结果时，判断上述二个布局图形要素是 连续的图形要素。
并且，光罩的数据可将定义晶体管图形的中间层或定义了晶体管 图形的外部程序库作为中间层具有，这种情况下，展开单元可具有将 定义上述晶体管图形的中间层或外部程序库通过指针构造根据需要展 开的表格构造。
并且，各曝光要素中含有图形要素及包围上述图形要素的预定宽 的百叶框，验证单元可具有终点验证单元，其对和上述百叶框内边缘 对应的上述显示面板上的网格格子，验证在规定偏移值的范围内是否 存在上述图形要素的布局图形要素的终点。
并且，存储单元中存储的程序可使具有显示单元、操作单元、存 储单元及CPU的计算机作为具有上述功能的光罩验证系统起作用。
图15是表示本发明的实施方式涉及的光罩验证系统的处理的流 程图。
在图15中，输入的光罩布局数据是所谓GDS格式下的表现形式 的数据，是由作为坐标值已知的点的多个网格格子点表现的形式的数 据，是允许中间层构造的形式的数据。上述光罩数据文件中含有平板 显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据。
通常情况下，作为中间层采用晶体管层。根据情况不同，也存在 晶体管层作为外部程序库与光罩布局数据文件独立安装的情况。但是， 即使独立安装，实际上是和中间层同等的。
描述光罩布局数据文件中记载的重复要素的重复配置位置等的坐 标信息通常是文本文件。上述坐标信息中含有由网格格子点坐标表示、 表示显示面板上的曝光要素的曝光位置的信息。
处理由以下三个阶段构成输入处理阶段(步骤S151)，执行程 序存储部4中存储的输入处理程序；验证处理阶段(步骤S152、 S153)， 执行图形计算处理的验证处理程序，进行图形和图形的网格格子点之 间的计算处理；以及显示阶段(步骤S154)，执行验证结果显示程序， 显示验证结果。
在输入处理阶段(步骤S151)中，CPU7进行从数据文件存储部5 读入光罩布局数据文件及坐标信息文件的输入处理，由基于上述坐标 信息的重复要素的配置信息，制作面板基板上的曝光要素数据构造。
其中，在具有与一个重复要素空间上连接的其他重复要素可以轻 易地拾取的表格构造(下述图17的表格构造1)的方式下进行制作。 并且，光罩数据具有中间层时，由于数据量的减少，在具有维持中间 层的同时易于拾取到最下层的表格构造(下述表格构造2)的方式下进 行制作。
之后，CPU7进入到图形的计算处理的验证处理(步骤S152、 S153)。计算包括逻辑计算和差分计算。稍后详述，应验证的对象从
大的方面分为双重曝光区域的验证、连接曝光l的验证、连接曝光2
的验证、非曝光区域的验证。
进行这些验证所需的逻辑计算是AND、 OR及XOR。也可用差分 计算替代XOR。该逻辑处理或差分处理全部是网格格子点之间的计算 处理。这些计算处理结果作为图形数据存储。CPU7对所有层进行处理 步骤S153的处理(步骤S153)。
最后，CPU7进行将计算处理的结果的图形显示在显示部1的显示 处理(步骤S154)。应验证的对象是双重曝光区域的验证、连接曝光 l的验证、连接曝光2的验证、非曝光区域的验证，因此根据由操作部 16设定的判断基准(参数)，以图形数据形式表示与其中之一对应的 验证。该图形数据是表示错误的数据。
其中重要的是，逻辑处理或差分处理的计算处理以层单位进行， 制作的曝光错误数据也以层单位存储到数据文件存储部5中。这是因 为，曝光以层单位进行，因此必须以层单位进行验证。还因为，由于 显示部1显示时也变为层单位，因此以层单位存储错误数据时，存取 时间较快。
并且，CPU7将处理结果显示到显示部1时，也可以构成为，当设 定了是否是错误数据的判断基准时，仅显示错误数据，当未设定是否
是错误数据的判断基准时，仅显示处理结果。并且，CPU7将处理结果 显示到显示部l时，不一定显示图形，也可通过文字等显示错误内容， 或者在不进行是否是错误的判断时仅显示处理结果。
图16是说明光罩13上的光罩布局数据162、光罩布局数据162 中的重复要素163、坐标信息、面板基板12上的面板布局数据161的 关系的说明图。
并且，图17是表示在图16所示的重复要素163中可能是多重曝 光、连接曝光l、连接曝光2的重复要素163的表格构造1，存储在存 储部8的数据文件存储部5。
上述表格含有地址、实例名、重复要素名、双重曝光或连接曝光 1或连接曝光2的指针个数及指针信息。
其中，地址是表示配置的重复要素数据的顺序的地址，实例名是 配置的重复要素的固有名，重复要素名是光罩数据中记载的重复要素 的程序库名。并且，实例是由单一或多个图形要素(例如单元、设备 等)构成的一个集中的单位的图形要素。
配置在光罩13上的光罩布局数据162中含有的各重复要素163根 据坐标信息在面板基板12上的规定位置曝光，在面板基板上形成对应 的面板布局要素。如重复要素A1—l所示，在重复曝光的重复要素163 的情况下，在由坐标信息确定的位置上进行规定次数的曝光。这样一 来，面板基板12上形成由多个面板布局要素构成的面板布局数据。
面板基板12上配置的重复要素163之间的逻辑处理或差分处理是 主要处理，因此优选是如下构造从某个给予的重复要素163易于拾 取相邻的重复要素163。
其中，利用光罩布局数据162中的重复要素163具有的宽W和高
H的数据。宽W和高H表示超过它数据就不存在的最小区域，在表格 构造1中，各重复要素163的宽W和高H保持向相邻的重复要素163 的指针。上述指针是地址指针，赋予相关的重复要素163的地址作为 指针使用。
其中，相邻包括以下三种方式宽W方向区域及高H方向区域的 至少一个重叠；连接；隔1网格格子间隔相邻存在。由于外部轮廓形 状的宽W和高H相邻，它们相邻时实际的曝光数据是否相邻是另一个 问题，但只要宽W和高H不相邻，实际的曝光数据就不相邻。简单来 说，制作出易于对可疑处进行检索的表格构造，采用每次不以全部对 象物为验证对象的结构。从而縮短处理时间。
图18是表示由光罩布局数据和坐标信息制作的面板基板上的数 据构造的图，图19是表示与图18的数据构造对应的表格构造2的图， 表示维持了阶层化构造的表格构造。
在图18中，唯一位于阶层构造最上位的顶级模块的下层中，设有 配置的重复要素182、 188。配置的重复要素182、 188例如是晶体管层。
在配置的重复要素182的下层并列设置由图形数据183、晶体 管(TR1) 184及图形数据185构成的串联层构造，及由晶体管(TR2) 186及图形数据187构成的串联层构造。
在配置的重复要素188的下层并列设置由图形数据189、晶体 管(TR1) 190及图形数据191构成的串联层构造，及由晶体管(TR2) 192及图形数据193构成的串联层构造。
并且，在图19中，上述表格具有地址、实例名、重复要素名或程 序库名、到图形数据的指针、中间层模块实例名、中间层模块程序库
名、及到中间层模块程序库的指针。
重复要素存在具有中间层的情况，大多情况下是晶体管层。该晶 体管层展开时，数据量庞大，因此在本实施方式中，不预先展开中间 层，而在中间层的状态下，以指针构造将数据作为程序库保持，进行 根据需要而展开的动态处理。
采用即使在二个不同的中间层中出现相同的更下位的中间层时， 也不使其通用的方法。这是因为，即使重视的重复要素中出现的晶体 管出现在其他重复要素，也可仅在重视的要素中完全展开。在图19中 是以下示例晶体管TR1和TR2出现在不同的重复要素中，但独立地 注册表格。
图20、图21是说明图形的逻辑处理或差分处理和验证处理的图， 表示用于单侧曝光区域检测的图形逻辑处理或图形差分处理。其中，
单侧曝光是指，比较相邻的重复要素时，在相邻的部分中，具有仅单 侧的重复要素曝光的要素的情况。
例如在图20中，光罩的重复要素A和光罩的重复要素B配置在 面板基板上的指定的坐标上时，与重复要素A和重复要素B对应的面 板布局要素重叠，作为区域A'、 B'配置在面板基板上。
区域A'是与重复要素A对应的面板基板上的区域时，在该区域中， 与重复要素B对应的面板基板上的区域B'的一部分投影。S卩，区域A' 是在面板基板上的区域中，相当于重复要素A的区域和重叠部2001的 逻辑和区域，与重复要素B对应的面板布局要素B'的一部分的投影到 其中。
同样地，区域B，是在面板基板上的区域中，相当于重复要素B的 区域和重叠部2001的逻辑和区域，与重复要素A对应的面板布局要素
A'的一部分投影到其中。
因此，如图21所示，对与重复要素A对应的面板基板上的面板布
局要素A和区域A'的面板布局要素取XOR时，抽取出了存在于一侧 而不存在于另一侧的区域(单侧曝光区域)2101的数据。
这通常是重叠指定错误。该错误是光罩数据制作时的拍摄框指定 错误、或制作光罩数据时的百叶框指定错误、或配置坐标的指定错误 等。通常，重叠部位的曝光数据必须被两者完全重叠。
此外，在取XOR差分的表现也是同样的。该情况下，取差分(A 一A')，结果为正时，使存在于重复要素A而不存在于重复要素B的 数据重叠，结果为负时，相反使不存在于重复要素A而存在于重复要 素B的数据重叠。
在本例中为后者。如要根据XOR结果获得同一信息，则取XOR 结果和重复要素A、 XOR结果和重复要素B的各AND,前者的结果为 逻辑1时，使存在于重复要素A而不存在于重复要素B的数据重叠， 后者结果为逻辑1时，使不存在于重复要素A而存在于重复要素B的 数据重叠。
差分结果具有标记，和单一的逻辑处理相比信息量大，在XOR结 果中如果要获得与差分处理完全同等的信息，则需要追加的AND处理。 总之，如是逻辑处理，则用OR和XOR及AND,如是差分处理则是 OR和差分处理，从而作为信息获得完全等价的验证结果。
图22 图24是使用网格格子说明单侧曝光区域检测的OR处理的图。
逻辑处理及差分处理全部通过网格格子之间来进行。其中，OR的
定义表示，结果为逻辑1时，该网格格子曝光，逻辑0时，该网格不 曝光。
在图22中，进行与重复要素A对应的面板基板上的面板布局要素 A和与重复要素B对应的面板基板上的面板布局要素B的逻辑OR处 理，结果是，重复要素A、 B的面板布局要素A、 B通过重叠部2001 获得重叠状态的结果。在图22中，重叠部2001的中心线2201显示在 网格上。
图23将图22对应的显示用网格格子点来表示，为了易于理解附 图，记载了对应的重叠部的中心线2201。 S卩，表示取重复要素A的曝 光数据L、重复要素B的曝光要素R、及它们的逻辑OR的处理结果。
图24是表示对图23所示的各网格格子点的逻辑和(OR)的定义 的逻辑值表。O的逻辑值是0，是未曝光的网格格子点。參的逻辑值是 1，是曝光的网格格子点。參包围的区域成为曝光的区域。
图23所示的逻辑OR处理结果的图显示在显示部1中。显示部位 可以是面板基板窗口 9、光罩窗口 IO中任意一个。并且，也可去掉面 板基板窗口 9、光罩窗口 IO及菜单窗口 11，在显示部1的全部区域中 显示图23的处理结果。并且，也可由文字显示，这种情况下，可显示 在面板基板窗口 9、光罩窗口 IO及菜单窗口 11的任意一个中，或者去 掉这些窗口，在显示部1的整个区域中用文字显示处理结果。
图25、图26是使用网格格子点进行图21的排他逻辑和(XOR) 处理或差分处理时的说明图。
图25中，光罩上的重复要素A的曝光数据(面板布局要素)为L， 面板基板上的区域A'的曝光数据(面板布局要素)为R，表示这些逻 辑XOR或差分的处理结果。
图26是表示对图25所示的曝光数据L、 R的各网格点的排他逻 辑和(XOR)、使用了曝光数据L、 R的各网格格子点的(L一R)差 分处理的定义的逻辑值表。
O的逻辑值是O，表示曝光数据L、 R两者中存在曝光数据、或曝 光数据L、 R两者中不存在曝光数据的网格。并且，參的逻辑值是l， 表示曝光数据L、 R的任意一个单侧中存在曝光数据的网格。并且，正 參表示曝光数据L中存在曝光数据的情况，负攀表示曝光数据R中存在曝光数据的情况。
这样一来，检测出仅在单侧区域中存在的曝光的格子点。差分处 理时，通过正负标记附加曝光的格子点存在于哪一侧的信息。因此， 在XOR时，仅可判断出结果有差异，而在差分时，通过正负标记，可 附加哪个区域中单侧存在曝光数据的信息，较便利。
进行XOR或差分处理的结果是，在逻辑1的情况下，其网格表示 曝光数据仅存在于单侧的图形数据，逻辑0的情况下，表示曝光数据 存在或不存在于两侧的网格。
图27、图28是表示最一般的面板布局要素的重叠的说明图。
图27是将光罩的想要曝光数据2707用未曝光的网格格子点2704 和曝光的网格格子点2705表示的图。
并且，图28是表示将分割的光罩的重复要素根据坐标信息进行曝 光，从而根据获得的曝光数据A、 B重现数据2707的形态的图。
对于分割区域和位于其正下方的要切断的曝光数据2707，指定重 叠区域2703的重叠量，制作光罩布局数据，因此需要验证其是否正确
的进行了复原。
重叠量作为偏差值由操作部16指定时，存储到存储部8， CPU7
当其在该范围内时判断其不是错误。在图27、图28中为了便于理解， 记载了重叠部2703的中心线2706。在该例中，中心线2706是基于网 格的，但根据重叠方法不同，也存在不基于网格的情况。
图29是表示配置在面板基板上的重复要素(面板布局要素)A(L) 的图，图30是表示配置在面板基板上的重复要素B (R)的图，图31 是表示配置在面板基板上的重复要素A、 B的逻辑积(AND)的说明 图。并且，图32是配置在面板基板上的重复要素A、 B的AND的逻 辑值表，表示对于各网格格子点的AND的定义。
在图29 图32中，配置的重复要素A、 B通过以O表示的未曝光 的网格格子点2901和以參表示的曝光的网格格子点2902来表示非曝 光区域和曝光区域。
并且，在图31中，配置的重复要素A、 B通过重叠部2703重叠。 这是生成重叠产生的双重曝光的最一般的例子。检测出的重叠部2703 不是指定的宽正负内的规定的偏差值时，则不是错误。
图33 图36是表示通过AND处理抽取的双重曝光区域的示例 图。并且，通过以O表示的未曝光的网格格子点、及以參表示的曝光 的网格格子点，表示非曝光区域和曝光区域。
图33与图29 图32所示的例相同，是配置在面板基板上的二个 重复要素A、 B以重叠部2703的重叠量配置的例子。通过配置的重复 要素A、 B的AND处理，重叠量(偏差值)为3网格格子，通常判断 为正常。
图34是配置在面板基板上的二个重复要素A、 B作为重叠部2703 仅共享一个网格格子，未进入指定的宽正负的规定的偏差值的范围， 通常判断为错误的例子。在本实施方式中，如图34所示，重叠区域为 1网格格子时称为连接曝光1。
图35的例子是配置在面板基板上的二个重复要素A、 B隔一个网 格格子的间隔而相邻的数据配置。在本实施方式中，将该例称为连接 曝光2，通常判断为错误。在本例中，AND处理结果的区域不被抽取， 但通过进行OR处理抽取了一个关闭的图形时，可判断是连接曝光2 的类型。
图36的例子是配置在面板基板上的二个重复要素A、 B隔开2个 网格格子以上的间隔的数据配置。在本例中，AND处理结果的区域不 被抽取，并且面板基板上配置的二个重复要素A、B在2网格格子之间， 存在一个以上的非曝光区域网格格子点3601。其通过下述非曝光区域 3601的抽取来检测。
图37及图38是对具有附加了校正图案的重复要素的光罩数据进 行双重曝光时的说明图。
在图37中，通过设定的拍摄框1002，剪切面板布局数据中的第l 层金属布线3702及第2层金属布线3703。
设置校正图案时，如图38所示，在第1层金属布线3702及第2 层金属布线3703的各端部分别以比第1层金属布线3702、第2层金属 布线3703的宽大规定长度的大小，在其长度方向上连续一体形成具有 规定长度的校正图案1004。
形成规定宽的百叶框1005，使其内边缘1006与校正图案1004的 外边缘侧重叠预定长度(例如l个网格格子)。
形成规定宽的百叶框1005，使百叶框1005的内边缘1006和校正 图案1004的外边缘重叠预定长度(例如1网格格子)。
并且，也可使百叶框1005和校正图案1004不重叠、百叶框1005 内边缘和校正图案1004连接地形成。
其中，生成的校正图案1004变为区域1007，该区域是双重曝光 的对象。
因此，如图39、图40所示，还使用AND处理的结果来验证校正 图案1004是否正确地成为双重曝光区域。
艮口，在图39中，配置在面板基板上的重复要素A、 B配置成与拍 摄框1002中指定的拍摄框区域3903、 3904重叠。这样一来，重复要 素A的校正图案1004与重复要素B的校正图案1004重叠，并双重曝 光，在面板基板上，重复要素A的金属布线3901和重复要素B的金属 布线3902连续形成。
图40是用网格格子点表示其形态的说明图。在图40中，重叠重 复要素A的拍摄框区域3903和重复要素B的拍摄框区域3卯4，在重 复要素A、 B的网格格子点之间进行AND逻辑处理的结果，形成了连 续的区域A'、 B'。此外，參是逻辑1，表示曝光的网格格子点，〇是 逻辑0，表示未曝光的网格格子点。
并且，图38也说明了百叶框内边缘1006和图形数据的双重曝光 验证。B卩，验证图形数据(图38的情况下为校正图案1004)以什么程 度进入到百叶框1005内部，此时通常是作为连接曝光l (参照图34) 的"1"，即以l个网格格子重叠连接。即，通常情况下，作为重叠量 的偏差值以1个网格格子的情况作为正常。
但此时，适用了 AND处理，双重曝光区域比上述指定的偏差值大 或小时，为错误。
并且，图38的百叶框内边缘1006和图形数据的双重曝光验证在
此次的验证中多少不同。即，仅有光罩布局数据时，可进行验证，因
此无需坐标信息。但如图15所示，进行一系列的处理时，当然可对根
据坐标信息展开配置的结果一并进行验证处理。
图41及图42是说明非曝光区域的有无的验证处理、即面板基板 所有区域是否被光罩布局数据162覆盖的验证处理的说明图。
如图41所示，使光罩13上设置的光罩布局数据162内的重复要 素163根据坐标信息模拟地在面板基板12上进行曝光处理，在面板基 板12上模拟地形成配置面板布局数据161。
使光罩布局数据162内的重复要素163根据坐标信息配置在面板 基板12上时，如图42所示，取在重复要素163的百叶框的内边缘中 包含的曝光对象区域、及与该曝光对象区域对应的面板基板12的区域 的逻辑OR。其对所有重复要素163进行，如果面板基板12上存在变 为逻辑0的网格格子，则其区域是未成为曝光对象的区域，是错误。
图41表示以下例子缺少重复要素R1，因此在面板基板12上， 产生未被光罩数据覆盖(未形成面板布局数据)的区域4101，此时CPU7 识别为错误。
对以上说明的光罩数据的逻辑处理和验证项目的关系进行如下整理。
单侧曝光验证时，逻辑处理或差分处理对图形A和图形B取A和
B的逻辑和(A OR B)，取含有其结果的图形A的区域A'和图形 A的排他逻辑和(A'XORA)。或者取含有上述逻辑和的结果的图形 A的区域A'和图形A的差分。作为检测项目，检测出仅存在于含有图 形A的区域、存在于图形B的区域的数据(参照图20 图26)。
在双重曝光验证(含有连接曝光1)时，逻辑处理或差分处理对 图形A和图形B取A和B的逻辑积(AANDB)。作为检测项目，进 行双重曝光区域检测，根据设定的参数判断是否是错误，当判断为错 误时，将该判断结果作为错误报告输出(参照图27 图36、图39、图 40)。
连接曝光2的情况下，逻辑处理或差分处理对图形A和图形B取 A和B的逻辑积(AANDB)。其结果为逻辑0 (无图形)、且A和B 的逻辑和(A ORB)的结果形成一个图形时，作为检测项目，进行连 接曝光2区域的检测，根据设定的参数判断是否错误，当判断是错误 时，将该判断结果作为错误报告输出(参照图39、图40)。
非曝光验证时，逻辑处理或差分处理将全部光罩布局数据配置展 开在面板基板上，进行逻辑和(OR)处理。作为检测项目，将OR的 位不成立(OR处理的结果为逻辑0)的网格格子点作为非曝光区域检 测(参照图41、图42)。
图43及图44是说明验证结果的图表表示的说明图，图43是表示 显示部1中显示的对话框431的图，图44是表示显示部1的面板基板 窗口 12中显示的图表数据形式的错误显示的图。
验证条件等的设定通过操作部16操作对话框431内的操作按钮来 设定。例如，验证全部以层单位来进行，因此操作部16进行在对话框 431中要显示的层的指定，接着指定要显示的错误类型，来指示检索。
其中，要显示的错误类型包括单侧曝光、双重曝光、连接曝光l、 连接曝光2、非曝光五种。各错误类型可指定显示的颜色。在图44中， 參表示具有上述五种错误中的任意一个错误的网格格子点(错误网格
格子点)，O表示不具有上述错误的网格格子点。
CPU7根据设定的条件向用户显示错误有几处。
接着，用户通过操作部16操作显示操作区域432内的各操作按钮， 对错误地点指示下一个、前、最初、最后，则此时对于面板基板窗口 12上显示的错误区域显示所指示的内容。
通常错误地点显示多个，例如，如指定下一个，则在所显示的分 辨度下，以上方左侧为起点，向右侧移动，如右侧无区域，则跳到下 方左侧进行显示。并且当指示放大、縮小时，则对此时显示的中心坐 标显示放大或縮小的图表数据。
图45是表示检测出的错误图形的数据构造的图。错误数据在顶级 模块451中，自动生成错误模块452、 454、 456、 458的模块名，并进 行链接。错误的图形数据453、 455、 457、 459链接在各错误模块452、 454、 456、 458的正下方。错误模块452、 454、 456、 458的实例名、 程序库名均相同，因此即使是同样形状的错误数据也不会共享。这是 因为，错误在面板基板上基本独立产生。
如上所述，在本发明的实施方式涉及的光罩验证系统中，CPU7 参照存储部8的数据文件存储部5中存储的曝光要素的图形数据及坐 标信息，生成与上述曝光要素对应的显示面板上的面板布局要素(布 局图形要素)，将基于多个上述面板布局要素的位置关系的验证结果 显示到显示部l。并且，当设定了是否是错误的判断基准时，通过判断 多个上述面板布局要素的位置关系，验证上述曝光要素是否错误，将 验证结果显示在显示部1。在显示部1中，面板基板窗口 9或光罩窗口
10内，或与这些窗口无关的显示区域中，显示上述验证结果。
因此，本实施方式涉及的光罩验证系统输入光罩布局数据和曝光 要素(重复要素)的配置信息，模拟曝光装置的动作，且进行图形计 算处理，从而模拟进行曝光处理，进行是否通过光罩在面板基板上形 成了适当的面板布局数据的验证，换言之，进行光罩是否适当的验证。
艮P，制作的光罩数据是否正确，通过模拟曝光装置及进行图形计 算处理，可验证光罩数据。尤其在制造平板显示器时，对使用的光罩 数据的验证可发挥威力，根据本实施方式，可对由光罩布局数据和坐 标信息制作的面板基板数据是否是应正确曝光的数据进行验证。
并且，可加入基于曝光装置的动作模拟和图形计算处理的验证功 能，因此在进入制造工序前就可验证。
其结果是，在平板显示器的制造中，在包括作业时间的费用方面 具有很大的效果。即，通过在制造前实施本发明的实施方式涉及的光 罩验证系统，确认光罩是否是正确的数据，则可对多余的费用负担的 产生防患于未然。
其原因是，这是光罩制作费用、面板基板制作费用、包括错误制 造时的劳务费在内的制造时间和解析时间的费用等，不用多出这些多 余的费用即可。该效果在仅需要区域分割的单纯的重复配置指定的情 况下也完全一样。这是因为，重复指定中人为指示错误的情况较多。
并且，根据本实施方式，可提供一种通过由具有显示部1、操作 部16、CPU7及存储部8的计算机执行来构建上述光罩验证系统的光罩 验证用程序。并且提供一种起到上述效果的光罩验证方法。
此外，在上述实施方式中，使用一台计算机构建光罩验证系统，
也可使用多台计算机来构建。此时，上述各程序可根据系统构成来适 当地分割。
本发明可应用于进行液晶显示器等各种显示器制造用光罩的验证 的光罩验证系统。并且，也可应用于作为进行各种显示器制造用光罩 的验证的光罩验证系统而起作用的程序。
权利要求
1. 一种光罩验证系统，其特征在于，具有存储单元，存储平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据；以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐标信息；布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图形要素；验证单元，根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素；以及显示单元，显示上述验证单元验证的结果。
2. 根据权利要求l所述的光罩验证系统，其特征在于， 上述显示单元至少具有显示验证结果的窗口 ，上述验证单元通过进行与上述多个布局图形要素对应的网格格子 之间的计算处理，验证上述多个曝光要素，上述显示单元将上述验证单元的验证结果所获得的图形显示到上 述窗口上。
3. 根据权利要求1或2所述的光罩验证系统，其特征在于，上述光罩的数据将定义晶体管图形的中间层、或定义了晶体管图形的外部程序库作为中间层持有，并且具有使定义上述晶体管图形的中间层或外部程序库通过指针构造根据需要而展开的、具有表格构造的展开单元。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的光罩验证系统，其特征在 于，上述验证单元具有差异抽取单元，其在进行了二个布局图形要素 的逻辑OR处理后，进行上述任意一个布局图形要素和上述逻辑OR结 果所获得的图形要素中的该布局图形要素所对应的区域的逻辑XOR处 理或差分处理，从而抽取上述二个布局图形要素的差异。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的光罩验证系统，其特征在 于，上述验证单元具有重叠量检测单元，通过进行二个布局图形要素的逻辑AND处理，检测出上述二个布局图形要素的重叠量。
6. 根据权利要求5所述的光罩验证系统，其特征在于，上述验证 单元具有偏移验证单元，验证上述重叠量检测单元检测出的重叠量是否满足所指示的偏移值。
7. 根据权利要求5或6所述的光罩验证系统，其特征在于，上述 验证单元具有要素判断单元，在上述重叠量检测单元检测出没有上述 二个布局图形要素的重叠量后，进行逻辑OR处理，当确认了二个布局 图形要素形成关闭的一个图形的结果时，判断上述二个布局图形要素 是连续的图形要素。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的光罩验证系统，其特征在于，上述各曝光要素中含有图形要素及包围上述图形要素的预定宽的 百叶框，上述验证单元具有终点验证单元，对于与上述百叶框内边缘对应 的上述显示面板上的网格格子，验证在规定偏移值的范围内是否存在 上述图形要素的布局图形要素的终点。
9. 根据权利要求1至8中任一项所述的光罩验证系统，其特征在于，具有指定单元，指定含有错误的验证结果的错误层， 当上述显示单元在表示上述验证结果的窗口上显示错误图形信息 时，以层单位在上述窗口上显示上述指定单元指定的错误层的错误图形信息。
10. 根据权利要求9所述的光罩验证系统，其特征在于， 上述显示单元具有与显示上述验证结果的窗口不同的对话框， 上述指定单元在上述对话框上指定上述错误层，上述显示单元在上述对话框上显示错误个数，并且响应上述指定 单元对错误层的指定，将该层的错误图形信息显示到上述窗口上。
11. 一种程序，使计算机起到权利要求1至10中任一项所述的光 罩验证系统的作用。
全文摘要
本发明提供一种光罩验证系统及程序，可预先验证光罩上设置的曝光要素的曝光结果，其中，CPU(7)参照存储部(8)的数据文件存储部(5)中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的显示面板上的面板布局要素，通过判断上述显示面板上的多个面板布局要素的位置关系，验证上述曝光要素是否错误，显示部(1)在面板基板窗口(9)或光罩窗口(10)内显示上述验证结果。
文档编号G03F1/68GK101382736SQ20081014456
公开日2009年3月11日 申请日期2008年8月22日 优先权日2007年9月4日
发明者千田英树 申请人:株式会社绩达特