收纳柜体结构的制作方法

专利名称：收纳柜体结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种收纳拒体结构，特别是涉及一种可避免光掩膜盒 因负压而无法开启，并可防止光掩膜盒内的光掩膜因瞬间强力气流而受污 损的收纳拒体结构。
背景技术：
近年来随着半导体工艺技术的日益不断进步，晶圓的尺寸已经由早期
的3吋、4吋、6吋、8吋进展到12吋，至于晶片上的集成电路的线径则不 断的微细化，其线径则已发展至90 - 45奈米，因此在同一晶圓(Wafer)上 的晶片(Die)数量也大幅增加，晶片的效能与价值也被提升，换言之，当工 程中有不良品产生时，对于厂商的损失也大幅的扩大，因此如何进一步的 提高制程优良率，是各半导体厂商不断思考的方向。
而影响其制程优良率的关键，除了无尘室中的微粒与操作上的失误之 夕卜，如光掩膜(Reticle,光掩膜即光罩，本文均称为光掩膜))表面附着有微 粒、雾化等污损问题，则在大量重复曝光的黄光制程中，会不断的把这些错 误复数于晶圓上，造成极大量的不良品。而目前光掩膜在制作、清洗、操 作与储存、运输的过程中，不论是置于光掩膜盒或无尘室的环境中，均存在 有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会 附着于光掩膜的表面，且在经长时间储存或曝光工艺的加热后，会在光掩 膜表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，这些现象均会造成晶圆优 良率的降低，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对上也会提 高营运的成本。
为了提高整体操作环境的洁净度，业界开发有如美国专利第US 4,532，970号与美国专利第US 4， 534, 389号等用于晶圆、光置的密闭移转 系统，以确保周圓环境的微粒或有害物质不致进入紧邻光掩膜与晶圓的环 境中。而由于光掩膜污损的原因除了微粒之外，更进一步包含环境中的水 气、有毒气体、塑胶制光掩膜盒等所释出的硫化物和制作过程中的有害物 质，其会造成雾化与结晶的现象，故为了解决这些问题，业界则开发有在光 掩膜盒上加装充、填气的结构，可将干净的惰性气体注入该光掩膜盒内以 挤出有害气体，同时进一步提升该光掩膜盒的气密性，以防止外部微粒进 入、且防止干净的惰性气体流失，例如中国台湾专利^^告第223680号及第 1262164号等，其均是在通过该光掩膜盒结构的改变，来提高光掩膜盒的气密性，但是在结构上进行气密性的改良是一项重大的工程，不仅需要增加 开发、制模与组装的成本，而且受到材质、盖合力与接触面积等因素的影 响，其并无法达到完全气密的效果，因此本发明人先前曾开发出一种循环气 流的光掩膜盒，通过同步注气与排气的循环气流，来保持光掩膜盒内部的洁 净度。
但是在实际操作上，本发明人发现该光掩膜盒在同步进、排气时，可能 因光掩膜盒内部的流道迂回曲折、且组件与光掩膜阻挡等因素影响，造成 其进气量小于排气量的现象，如此将使光掩膜盒的内部空间与外部环境形 成负压，如此当光掩膜盒在开启时，可能因负压的影响，无法有效、且顺
利的开启光掩膜盒；再者，当光掩膜盒内部空间形成负压时，其在开启的 瞬间，外部气流会产生一股瞬间向内流动的强力气流，该强力气流不仅会 造成微粒与有害物质的扬起，且可能刮伤或附着于光掩膜表面的图形，影响 到后续制程中的优良率。
由此可见，上述现有的光掩膜盒在结构与使用上，显然仍存在有不便 与缺陷，而亟待加以进一步改进。为解决上述存在的问题，相关厂商莫不 费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而 一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决 的问题。因此如何能创设一种新型的收纳拒体结构，实属当前重要研发课题 之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
有鉴于上述现有的光掩膜盒存在的缺陷，本发明人则针对前述光掩膜 盒在使用上所面临的问题深入探讨，并基于从事此类产品设计制造多年丰 富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期 创设一种新型的收纳柜体结构，能够改进一般现有的光掩膜盒，藉以克服 现有的光掩膜盒在充排气后容易因负压而形成的不便与困扰，使其更具有 实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设 出确具实用价值的本实用新型。
发明内容
本实用新型的目的在于，克服上述现有的光掩膜盒存在的缺陷，而提 供一种新型的收纳拒体结构，所要解决的技术问题是使其可以让光掩膜盒 在收纳拒体内充排气的过程中，可以避免光掩膜盒的内部产生负压，非常 适于实用。
本实用新型的另一目的在于，提供一种新型的收纳拒体结构，所要解 决的技术问题是使其可以防止光掩膜盒在开启时产生瞬间强力气流，以保 护光掩膜的表面，从而更加适于实用。
本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种收纳拒体结构，其内部可供摆置一个或多 数供储存光掩膜的光掩膜盒，且该光掩膜盒具有多个供进、排气的气阀，该
收纳拒体包含有 一框架，框架具有至少一进气回路与至少一排气回路；至 少一承置单元，其是设置于框架内，该承置单元上设有至少一连接前述进 气回路的进气阀件与至少一连接前述排气回路的稳压阀件，其中该稳压阀 件具有一个或多数流道孔，该稳压阀件的流道孔是跨设于光掩膜盒气阀的 内、外，使得稳压阀件可同步吸排光掩膜盒容置空间与外部环境的气体。
本实用新型的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的4支术措施来 进一步实现。
前述的收纳拒体结构，其中所述的承置单元具有供支撑光掩膜盒的承 座，承座上形成有复数透孔，以避免微粒堆积。
前述的收纳拒体结构，其中所述的承置单元上设有一个或多数供光掩 膜盒卡掣限位的定位元件。
前述的收纳拒体结构，其中所述的承置单元上设有一个或多数感应开 关，供检知或记录光掩膜盒。
前述的收纳拒体结构，其中所述的进气阀件具有一中空的阀体，且阀 体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔 滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿出隔片 的颈部，且颈部上束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆 的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圈可相对远离或紧贴 隔片，达到让进气阀件可受气阀作用选择性导通或密封。
前述的收纳拒体结构，其中所述的稳压阀件具有一中空的阀体，且阀体 顶面形成有一道较大径的凸环片，且阀体内部形成有一隔片，而同步跨接 光掩膜盒气阀内、外部的流道孔是:&置于隔片上。
前述的收纳拒体结构，其中所述的稳压阀件的隔片顶面并具有向上凸 出的推杆，供选择性启闭光掩膜盒的气阀。
前述的收纳拒体结构，其中所述的光掩膜盒的气阀具有一个中空的阀 体，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔 片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿 出隔片的颈部，且颈部上束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮 动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圈可相对远离或 紧贴隔片，达到让气阀可受进气阀件与稳压阀件作用选择性导通或密封的 目的。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技 术方案，本实用新型收纳拒体结构至少具有下列优点及有益效果本实用 新型收纳拒体通过稳压阀件的气流通道跨设于对应气阀气流通道孔内、外的设计，令稳压阀件可同步吸排光掩膜盒内部空间与外部环境的气体，而让 该收纳拒体可通过稳压阀件的作用，可以避免光掩膜盒的内部空间产生负 压，不致影响光掩膜盒的开启，且能够避免因瞬间向内流动的强力气流，而 伤及内部光掩膜的表面。
综上所述，本实用、新型是，关于一种容置光掩膜盒的收纳拒体结构，特
是由一框体所构成，该框体上设有至少一进气回路与一排气回路，且框体 内设有一个或多数的承置单元，各承置单元具有至少一连接进气回路的进 气阀件及至少 一连接排气回路的稳压阀件，而光掩膜盒则具有对应前述承 置单元进气阀件与稳压阀件的气阀，其中稳压阀件的气流通道可跨设于对 应气阀气流通道孔的内、外，使得稳压阀件可同步吸排光掩膜盒内部空间 与外部环境的气体，让收纳拒体可通过稳压阀件的作用，避免光掩膜盒内 部空间因排气量大于进气量而产生负压，如此可便于光掩膜盒的开启，且不 致产生强力的瞬间气流，以避免气流伤及光掩膜盒内部光掩膜的表面。本 实用新型具有上述诸多优点及实用价值，其不论在产品结构或功能上皆有 较大的改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的效果，且较 现有的光掩膜盒具有增进的突出功效，从而更加适于实用，诚为 一新颖、进 步、实用的新设计。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实 用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用 新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施 例，并配合附图，详细说明如下。


图l是本实用新型收纳拒体的外观立体示意图。
图2是本实用新型收纳拒体的内部参考示意图，其说明本实用新型的构 成及其相对关系。
图3是本实用新型收纳拒体的局部分解及剖面示意图，进一步说明其进 气阀件与稳压阀件的构成。
图4是应用于本实用新型收纳拒体的光掩膜盒分解示意图。
图5是应用于本实用新型收纳拒体的光掩膜盒气阀的分解及剖面示意图。
图6是本实用新型收纳拒体在实际使用时保持光掩膜盒内部空间稳压 的剖一见图。
图7A、图7B是本实用新型收纳柜体在实际使用中进气阀件及稳压阀件 与光掩膜盒气阀对接前的局部剖面示意图。图8A、图8B是本实用新型收纳柜体在实际使用中进气阀件及稳压阀件 与光掩膜盒气阀对接后的局部剖面示意图。
10框架11进气回路
12排气回路15门板
20过滤模组30承置单元
31 :承座32透孔
33 :定位元件34感应开关
35 :锁孔36螺孔
40 :进气阀件41阀体
42 :隔片43浮动杆
44 :颈部45 :弹簧
46 :密封垫圈47 '抵顶部
470:透孔471推杆
50 :稳压阀件51阀体
52 :凸环片53隔片
54 :流道孑L55 :推杆
56 :螺紋段60 :光掩膜盒
61 :底座62 :承抵块
63 :贴抵块65 :壳罩
70 :气阀71 :阀体
72 :隔片73 :浮动杆
74 :抵顶部75 :颈部
76 :弹簧77 :密封垫圈
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及 功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的收纳柜体结构 其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
本实用新型是一种可让光掩膜盒内部与外部保持稳压状态的收纳拒
体，请参阅图l、图2所示，该收纳拒体是由一框架IO所组成，框架10可 选自光掩膜管理系统储存拒或光掩膜容置拒等，该框架10内部可摆置一或 多数供储存光掩膜的光掩膜盒60;
本实用新型较佳实施例的详细构成，请参阅图1、图2及图3所示，该 收纳拒体的框架10具有连接厂务端的进气回路11与排气回路12，且框架 10更具有可选择性启闭的门板15，以进一步保护置于框架10内的光掩膜 盒60,又框架10上设有一个或多数进气型的过滤模组20，以保持框架IO内部形成正压，提升框架10内部的洁净度，又框架10内具有一或多数供 承置光掩膜盒60的承置单元30，各承置单元30分别具有供支撑光掩膜盒 60的承座31，且该承座31上具有多个矩阵排列的透孔32，以避免微粒堆 积；再者，该承座31上设有一个或多数供光掩膜盒60卡掣限位的定位元件 33，另承座31上设有一或多数供检知与记录光掩膜盒60的感应开关34，又 承置单元30的承座31上具有一或多数的锁孔35、 36,不同的锁孔35、 36 可供分别锁设有一进气阀件40或一稳压阀件50,其中进气阀件40可连接 框架10的进气回路11,而稳压阀件50则可连接框架10的排气回路12;
上述的进气阀件40，具有一中空的阀体41，该阀体41的下段外缘形 成有对应锁孔35的螺紋段，供进气阀件40可选择性锁设于承置单元30的 承座31上，且阀体41内部中段形成有一具较小通孔的隔片42，又阀体41 内设有一可相对隔片42通孔滑动的浮动杆43,该浮动杆43两端分别具有 一可穿出隔片42的颈部44与一较大径的抵顶部47，其中颈部44上束设有 一可选择性封闭隔片42通孔的密封垫圈46，而浮动杆43的抵顶部47与隔 片42间顶撑有一弹簧45，让浮动杆43的密封垫圈46可一利用弹簧45的 压缩相对远离或紧贴隔片42，达到让气流选择性流通的目的；再者前述的 抵顶部47上具有至少一透孔470,而该抵顶部47顶面具有向上凸出的推杆 471，供选择性启闭光掩膜盒60的对应气流通道(如图7A、图7B、图8所 示)；
上述的稳压阀件50，具有一中空的阀体51,该阀体51的顶面形成有 一道较大径的凸环片52,且阀体51的内部形成有一隔片53，阀体51的隔 片53邻近凸环片52内缘处形成设有一个或多数流道孔54，且前述流道孔 54并可同时跨越光掩膜盒60对应气流通道的内部与外部(如图6、图8A、 图8B所示)，前述隔片53顶面并具有向上凸出的推杆55,供选择性启闭光 掩膜盒60的对应气流通道(如图7A、图7B、图8A、图8B所示)，再者阀体 51下段外缘并形成有对应锁孔35的螺紋段56,该稳压阀件50阀体51可 选择性锁设于承置单元30的承座31;
藉由上述结构相组合，构成一可有效保持光掩膜盒内、外部环境气压平 衡的收纳拒体结构。
通过前述的设计，本实用新型收纳拒体在实际使用时，是配合容置光 掩膜盒60，有关该光掩膜盒60的构成，则是如图4、图5所示，该光掩膜 盒60具有一承置光掩膜的底座61，且底座61顶面并设有组设呈n形支撑体 的两承抵块62与一贴抵块63，供支撑与抵顶光掩膜，又底座61上覆设有 一壳罩65，供光掩膜盒60形成可选择性启闭的容置空间，又光掩膜盒60在 底座61底面设有一或多数连通前述容置空间的气阀70,且不同气阀70并 分别对应前述收纳拒体的^^置单元30的进气阀件40与稳压阀件50;上述的气阀70，具有一中空的阀体71,且该阀体71的内部中段形成有 一具较小通孔的隔片72;又阀体71内设有一可相对隔片72通孔滑动的浮 动杆73，该浮动杆73两端分别具有一较大径的抵顶部74与一可穿出隔片 72的颈部75，其中该颈部75上束设有一可选择性封闭隔片72通孔的密封 垫圏77，而浮动杆73的抵顶部74与隔片72间顶撑有一弹簧76，让浮动杆 73的密封垫圈77可利用弹簧76的压缩相对远离或紧贴隔片72，而浮动杆 73的抵顶部74并对应前述进气阀件40与稳压阀件50的推杆471、 55，达 到让气阀70可以受进气阀件40与稳压阀件50作用选择性导通的目的(如 图6、图7A、图7B所示)。
在实际操作上，则是如图6、图7A、图7B及图8A、图8B所示，当该 光掩膜盒60未置于框架10的承置单元30上时，光掩膜盒60底座61的气 阀70由于未受任何外力的推抵，因此气阀70中的浮动杆73受弹簧76回复 预力顶撑而向下定位，使浮动杆73上的密封垫圏77贴抵于隔片72，让光掩 膜盒60容置光掩膜的内部空间呈气密状(如图7A、图7B所示)。该承置单 元30的进气阀件40由于亦未受到任何外力的推抵，因此进气阀件40中的 浮动杆43受弹簧45回复预力顶撑而向下定位，使浮动杆43上的密封垫圈 46贴抵于隔片42，让框架10的进气回路11 (如图1所示)无法由进气阀件 40输出干净的气体；
反之，如图6、图8A、图8B所示，当光掩膜盒60置于承置单元30的 承座31上时，该光掩膜盒60底座61的不同气阀70适可与承座31上的进 气阀件40与稳压阀件50相对接合，其中气阀70的浮动杆73受到进气阀 件40的推杆471的推抵，使进气阀件40与气阀70的浮动杆43、 73同步 压缩弹簧45、 76，使进气阀件40与气阀70的浮动杆43、 73上的密封垫圏 46、 77远离隔片42、 72，让进气回路11内的洁净空气可由进气阀件40与 气阀70注入光掩膜盒(60 )的内部空间。且光掩膜盒60对应稳压阀件50 的气阀70浮动杆73受稳压阀件50的推杆55的推抵，使该气阀70的浮动 杆73压缩弹簧76，而令气阀70的浮动杆73上的密封垫圈77远离隔片72， 让光掩膜盒60内的空气可经气阀70与稳压阀件50由框架10的排气回路 12 (如图1所示)排出，且由于该稳压阀件50的阀体51流道孔54同时跨 越于气阀70的外部，使稳压阀件50可以同步吸入光掩膜盒60外部的气体 (如图8A、图8B所示)，如此即可避免因排气量大于进气量而让光掩膜盒 60内部空间形成负压现象，使光掩膜盒60在未开启前，其内、外环境的气压 保持平衡，不致影响光掩膜盒60的开启，且进一步不致发生外部气流瞬间 向内强力流动的现象，防止其刮伤光掩膜盒60内部光掩膜表面或使微粒与 有害物质因气流而扬起，进而附着于光掩膜表面，而可以提升整体制程的 效率与优良率。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作 任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非 用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技 术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同 变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实 用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均 仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1、一种收纳柜体结构，其内部可供摆置一或多数供储存光掩膜的光掩膜盒，且光掩膜盒具有多个供进、排气的气阀，其特征在于该收纳柜体包含有一框架，框架具有至少一进气回路与至少一排气回路；至少一承置单元，其设置于框架内，该承置单元上设有至少一连接前述进气回路的进气阀件与至少一连接前述排气回路的稳压阀件，其中稳压阀件具有一或多数流道孔，该稳压阀件的流道孔是跨设于光掩膜盒气阀的内、外，使得稳压阀件可同步吸排光掩膜盒容置空间与外部环境的气体。
2 、根据权利要求1所述的收纳拒体结构，其特征在于其中所述承置单 元具有供支撑光掩膜盒的承座，承座上形成有复数透孔，以避免微粒堆积。
3 、根据权利要求1所述的收纳拒体结构，其特征在于其中所述的承置 单元上设有 一或多数供光掩膜盒卡掣限位的定位元件。
4 、根据权利要求1 、 2或3所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所 述的承置单元上设有一或多数感应开关，供检知或记录光掩膜盒。
5 、根据权利要求1所述的收納拒体结构，其特征在于其中所述的进气 阀件具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀 体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大 径的抵顶部与一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设有一可选择性封闭隔片 通孔的密封垫圏，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的 密封垫圈可相对远离或紧贴隔片，达到让进气阀件可受气阀作用选择性导 通或密封。
6 、根据权利要求1所述的收纳拒体结构，其特征在于其中所述的稳压 阀件具有一中空的阀体，且阀体顶面形成有一道较大径的凸环片，且阀体 内部形成有一隔片，而同步跨接光掩膜盒气阀内、外部的流道孔是设置于 隔片上。
7 、根据权利要求6所述的收纳拒体结构，其特征在于其中所述的稳压 阀件的隔片顶面并具有向上凸出的推杆，供选择性启闭光掩膜盒的气阀。
8 、根据权利要求1 、 6或7所述的收纳拒体结构，其特征在于其中所 述的光掩膜盒的气阀具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具较小 通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端 分别具有一较大径的抵顶部与 一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设有 一可 选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹 簧，让浮动杆的密封垫圏可相对远离或紧贴隔片，达到让气阀可受进气阀件 与稳压阀件作用选择性导通或密封的功效。
专利摘要本实用新型是有关一种容置光掩膜盒的收纳柜体结构，特别有关一种防止光掩膜盒内部在排气过程中形成负压的收纳柜体，其由一框体构成，该框体上设有至少一进气回路与一排气回路，且框体内设有一个或多数承置单元，各承置单元具有至少一连接进气回路的进气阀件及至少一连接排气回路的稳压阀件，光掩膜盒具有对应前述承置单元进气阀件与稳压阀件的气阀，其中稳压阀件的气流通道可跨设于对应气阀气流通道孔的内、外，使稳压阀件可同步吸排光掩膜盒内部空间与外部环境的气体，让收纳柜体可通过稳压阀件作用，避免光掩膜盒内部空间因排气量大于进气量而产生负压，如此可便于光掩膜盒的开启，且不致产生强力瞬间气流，可以避免气流伤及光掩膜盒内部光掩膜表面。
文档编号G03F1/66GK201242659SQ20082012701
公开日2009年5月20日 申请日期2008年6月19日 优先权日2008年6月19日
发明者卢诗文, 陈俐殷, 黄柏凯 申请人:亿尚精密工业股份有限公司