薄膜的制作方法

专利名称：薄膜的制作方法
技术领域：
本发明涉及在制造半导体器件、印刷基板或液晶显示器等时作为除尘用的薄膜。
背景技术：
在LSI、超LSI等的半导体的制造或液晶显示器等的制造中，对半导体晶片或液晶 用底片照射光而制作图形，若在此时使用的光掩模或中间掩模(以下，简称为“光掩模”)上 附着有灰尘，则由于该灰尘吸收光或使光弯曲，因此存在除了已复制的图形变形或者边缘 变得粗糙之外，基底污染变黑等，尺寸、质量、外观等受损的问题。因此，这些操作通常在无尘室中进行，尽管如此，也难以保持光掩模总是清洁。于 是，在光掩模表面上作为除尘用而粘贴薄膜之后进行曝光。该场合，异物不直接附着在光掩 模的表面，而是附着在薄膜上，因此只要在进行光刻时使焦点与光掩模的图形上一致，则薄 膜上的异物与复制无关。薄膜是将透明的薄膜用膜粘贴在薄膜框架的上端面上的部件。作为薄膜用膜的 原材料，使用良好地使光透射的硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等，作为薄膜框架的原材 料，使用铝、不锈钢、聚乙烯等。而且，一般在薄膜框架的下端设有用于安装在光掩模上的由 聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯酯树脂、丙稀树脂等构成的粘接层、以及以保护粘接层为目的的脱 模层(隔离物)。另外，有时在将薄膜粘贴在光掩模上的状态下，以消除被包围在薄膜内部的空间 与外部的气压差为目的，在薄膜框架的一部分开设气压调整用的通气孔，并且为了防止经 由通气孔移动的空气所带来的异物的进入而设置过滤部件(参照专利文献1)。该过滤部件通常会考虑捕集口径及面积以得到所需的异物捕集性能及通气性能， 而在气压调整用的通气孔为一处而得不到所需的通气量的场合设置多个通气孔，并分别设 置过滤部件。尤其是，在一边超过500mm之类的大型的液晶制造用薄膜中，为确保通气量， 通常在8 数十处设置通气孔，并分别设置过滤部件。但是，为确保通气量而设置多个通气 孔由于导致薄膜框架的刚性的降低，所以并不理想。若刚性降低，则除了在制造时容易发生 变形，而且还存在展开薄膜时的框架的挠曲变大、薄膜内侧的有效曝光区域减少、薄膜粘贴 精度恶化之类的问题。在此所使用的过滤部件一般多使用将对聚四氟乙烯(PTFE)等进行了延伸加工的 多孔质薄膜用作过滤膜的片状的过滤部件，因为这种过滤部件从成本、形状方面考虑适合 在薄膜中使用。其结构如图4所示，在过滤膜41的一面以环状配置用于粘接在薄膜框架上 的粘接层43，在其相反侧的面上粘接用于保护过滤膜41的由聚丙烯(PP)等构成的粗的网 状的保护网42而成为三层结构，整体厚度为0. 15 0. 3mm左右。有时为防止产生灰尘，还 进行在过滤膜上涂敷或浸润粘接性物质的加工(参照专利文献2)。该场合，由于过滤膜被粘接性物质覆盖，因此在制造过滤部件时所附着的异物固 定在过滤膜上，在进行通气时不会在薄膜内移动，所以大幅度降低从过滤部件产生的灰尘。 该粘接性物质的涂敷量通过考虑过滤膜的通气性而决定，而防尘效果与通气性之间存在相反的关系。即，涂敷量越多防尘效果越提高，而通气性恶化。因此，在具有高的防尘效果的 同时，确保高的通气性极其困难。因此，尤其在大型的薄膜中，为了确保通气性，需要增加气压调整用的通气孔的数 量，随之要增加过滤部件的安装数量。但是，若过滤部件的安装数量增加，则产生安装操作 的负担等各种问题。通常，如图5所示，过滤部件以覆盖通气孔的方式粘贴在薄膜框架的外侧表面上。 若成为多个过滤部件向薄膜框架外侧突出的状态，则明显提高在装卸夹具、薄膜粘贴装置 或曝光装置中过滤部件接触而损伤，或者将薄膜框架向内侧按压相当于过滤部件的厚度的 量而在薄膜用膜上产生褶皱的危险性。而且，还存在制造上的问题。过滤部件需要良好地对齐位置并用镊子等进行粘贴， 以防堵住通气孔。但是，过滤部件通常厚度为0. 15 0. 3mm左右而较薄，而且需要注意细 心粘贴，以防膜面污染或损伤，从而其操作非常困难。因此，若安装张数变多，则该过滤部件 粘贴操作对操作员带来特别大的负担。专利文献1 日本实公昭63-39703号公报专利文献2 日本特开平9-68792号公报

发明内容
本发明鉴于如上所述的问题而做出，本发明的目的在于提供一种产生灰尘少且通 气性优良，而且薄膜处理时也不必担心过滤部件的接触、破损，并且制造时的操作性也优良 的薄膜。本发明涉及在薄膜框架上设有用于将薄膜内部的气压调整为与薄膜外部的气压 相同的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有具备防止异物的进入的过滤器的过滤部件的薄 膜，该薄膜的特征在于，上述贯通孔包括(1)向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的 外侧阶梯部；(2)向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及(3) —端向上 述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔(方案1)。本发明所说的过 滤部件是具备防止异物进入贯通孔的过滤器的部件，包含用于将该部件粘贴在外侧阶梯部 上的接合层或粘接层。由于内侧阶梯部的存在而能够增大过滤器面下的空隙，提高通气性。 而且，通过在外侧阶梯部容纳过滤部件，过滤部件不会从薄膜框架外面突出，或者突出的程 度降低，在进行薄膜处理时，过滤部件接触、破损的危险极其降低。另外，该外侧阶梯部在粘 贴过滤部件时还成为粘贴位置的目标，因此没有特别技术也能够粘贴在准确的位置。在此，上述外侧阶梯部的深度优选在过滤部件的厚度的50 150%的范围(方案 2)。过滤部件的厚度包括用于将过滤部件粘贴在外侧阶梯部的底部的接合层或粘接层的厚 度。若外侧阶梯部的深度至少是过滤部件的厚度的50%，则能够得到一些过滤部件破损的 危险性降低的效果，而且能够得到粘贴时的对位效果。但是，若深度相对于过滤部件的厚度 过深则粘贴操作性大幅度降低，因此其上限是150%为宜。另外，优选内侧阶梯部在外侧阶梯部侧的开口部的面积在过滤部件的过滤器的通 气面积的80 150%的范围，内侧阶梯部的深度为0. 2mm以上且Imm以下(方案3)。该范 围作为过滤器面下的空隙为宜。在此，所谓过滤器的通气面积是指参与过滤器的通气的面 积，例如，若是在过滤器上以环状配置有用于接合于薄膜框架上的粘接层的过滤部件，则被环状的粘接层包围的面积是通气面积。而且，除了上述以外，若在过滤部件的过滤器上涂敷或浸润粘接性物质(方案4)， 则在能够确保通气性的同时，显著降低从过滤部件产生灰尘的情况。由于内侧阶梯部的存 在而能够增大过滤器面下的空隙，所以在从过滤器的外侧涂敷或浸润了粘接性物质时，防 止了向过滤器内侧渗出的粘接性物质停滞在过滤器的通气面，或通气面粘贴在贯通孔的内 表面的情况，从而能够得到所需的通气性能。本发明的效果如下。根据本发明，由于通过设置内侧阶梯部而最大限度地确保过滤器的通气面积，因 此能够减少通气孔的数量，又能减小通气孔的直径。其结果，能够将设置贯通孔而引起的薄 膜框架的刚性的降低抑制到最低限度。而且，即使在过滤器上涂敷或浸润用于减少灰尘的 产生的粘接性物质的情况下，由于内侧阶梯部的存在而也能确保通气性，并能得到兼备高 通气性的薄膜。另外，由于将过滤部件安装在外侧阶梯部内，因此过滤部件不会从薄膜框架 表面突出或突出较少，降低粘贴薄膜时和使用中的过滤部件的接触及破损，从而成为可靠 性高的薄膜。而且，在制造时，能够容易进行过滤部件的对位，因此操作性大幅度提高，即使 在安装多个过滤部件时也能以短时间且高可靠性地进行操作。


图1是本发明的薄膜的第一实施方式的主要部分图，(A)是主视图，(B)是沿着I-I 线的剖视图。图2是本发明的薄膜的第二实施方式的主要部分图，(A)是主视图，(B)是沿着I-I 线的剖视图。图3是本发明的薄膜的第三实施方式的主要部分图，(A)是主视图，(B)是沿着I-I 线的剖视图。图4是过滤部件的一例的结构图，㈧是俯视图，⑶是主视图，(C)是仰视图。图5是现有的薄膜的局部图，㈧是主视图，⑶是沿着I-I线的剖视图。图6是说明涂敷或浸润了粘接性物质的情况的图。图7是薄膜框架，(A)是俯视图，(B)是沿着I-I线的剖视图。图8是通气性评价装置。图9是产生灰尘评价装置。图中11-薄膜框架，12-通气孔，13-膜接合层，14-薄膜用膜，15-掩模，16-外侧阶梯 部，17-内侧阶梯部，18-过滤部件，a、b、c_外侧阶梯部的尺寸，c、d、f-内侧阶梯部的尺寸， g-通气孔的直径，h-外侧阶梯部的角部曲率半径，k-内侧阶梯部的角部曲率半径，21-薄 膜框架，22-通气孔，23-膜接合层，24-薄膜用膜，25-掩模粘接层，26-外侧阶梯部，27-内 侧阶梯部，28-过滤部件，31-薄膜框架，32-通气孔，33-膜接合层，34-薄膜用膜，35-掩模 粘接层，36-外侧阶梯部，37-内侧阶梯部，38-过滤部件，38a-过滤器，38b-外筒，38c-粘 接层，41-过滤膜，42-保护网，43-粘接层，51-薄膜框架，52-通气孔，53-膜接合层，54-薄 膜用膜，55-掩模粘接层，56-过滤部件，61-薄膜框架，62-通气孔，63-过滤膜，64-保护网， 65-粘接层，66-涂敷的粘接性物质，67-外侧阶梯部，68-内侧阶梯部，71-薄膜框架，81-底座板，82-通气管及空气导入阀，83-支撑架，84-超声波式距离传感器，85-显示计，86-薄 膜，91-石英玻璃基板，92-薄膜，93-过滤器，94-气枪。
具体实施例方式以下，对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不局限于此。而且，本发明在贯 通孔的数量多的液晶制造用途中所使用的一边的长度超过500mm之类的大型的薄膜(《'J ” ^ )中效果特别大，但是应用于在半导体用途中使用的贯通孔的数量为1 2个左右的 小型的薄膜中也能得到所需的效果，所以其用途没有特别限定。在薄膜框架上设有贯通孔。贯通孔包括外侧阶梯部、比外侧阶梯部小一圈的内侧 阶梯部以及通气孔，外侧阶梯部比过滤部件大一圈，过滤部件安装成容纳在外侧阶梯部。由于过滤部件不会向薄膜框架表面突出或突出较少，因此在处理薄膜时过滤部件 接触而剥离、脱落的危险大幅度降低。而且，过滤器的安装通常使用镊子等进行，但由于外 侧阶梯部成为粘贴的目标，因此对位极其容易且操作性大幅度提高。在没有外侧阶梯部的 场合，需要调整位置以使从过滤器外侧看不见的过滤器通气面的中央大致位于通气孔的正 上方，而这是非常难操作的事情。安装过滤部件的外侧阶梯部的深度优选在过滤部件的厚度的50 150%的范围， 更好是100 120%。由于若在100%以下则过滤部件突出来，因此不能完全避免过滤部件 破损的危险，但是具有制造时对位容易的效果。外侧阶梯部的深度是过滤部件的150%以上 就过剩，洗净性恶化，而且在过滤部件的粘贴操作中操作性也恶化，因此不妥。由于利用内侧阶梯部能充分确保过滤器的通气面下的空隙，因此过滤部件的通气 性提高。尤其是，在过滤膜上涂敷或浸润了粘接性物质的场合发挥很大的效果。图6表示在过滤器上涂敷或浸润了粘接性物质的场合的粘接性物质的状态。向过 滤膜63的内侧渗出的粘接性物质66通过表面张力凝聚在粘接层65及内侧阶梯部68的侧 壁的一方。其结果，能够防止粘接性物质停滞在过滤膜63的通气面上，或通气面粘贴在薄 膜框架61上的情况，所以几乎不产生过滤膜63的通气面积的降低。从而，能够将由粘接性 物质引起的通气性的降低抑制到最低限度。图6表示了使用了过滤膜的情况，但膜以外的 形状的过滤器的情况下也成为相同的状态。通气孔与过滤器相比较给通气性带来的影响极小，所以其形状主要考虑对薄膜框 架刚性的影响及加工性而决定。在本发明中，通气孔的形状没有特别限定，但从加工性考虑 则圆孔最佳。其直径越大越容易加工，但随着直径的增大，薄膜框架的刚性降低，因此在确 保了通气性的基础上，尽量小为宜。从通气性方面考虑其直径为0. 5mm左右就足够，但在薄 膜框架的宽度超过IOmm那样的特别大型的薄膜的场合，若是细径的刃具则被弯曲，而且加 工速度极慢，所以考虑到生产效率高的钻孔加工，直径1. 5mm左右为最佳。即使代替内侧阶梯部，例如，将通气孔做成极其粗的直径，或者做成与过滤器的通 气面相同的截面形状，也能得到与本发明相同的效果。但是，在这些方法中，如上所述，由于 薄膜框架截面积的减少而薄膜框架刚性显著降低，不耐用。在本发明的方法中，能够将薄膜 框架截面积的减少抑制在最低限度，几乎不存在对薄膜框架刚性的坏影响。内侧阶梯部在外侧阶梯部侧的开口部的面积做成过滤部件的过滤器的通气面积 的80 150%的范围为宜，内侧阶梯部的深度设为0. 2mm以上且Imm以下为宜。若是80%以下则不能充分确保过滤器的通气面，若是150%以上则粘接层的接合部减少，从而安装的 可靠性降低。而且，若深度为0. 2mm以下则与过滤器面的接触不能完全消除，若是Imm以上 则洗净性恶化，而且阶梯部内的异物检查难以进行，因此不妥。另外，该内侧阶梯部的形状最好在考虑上述范围的基础上，考虑加工性、洗净性等 而进行适当设计。除了后述的图1 图3所示的形状之外，还能采用在内侧阶梯部的壁面 设置一级以上的阶梯的形状。图1表示本发明的薄膜的第一实施方式。图1所示的是过滤部件安装部周围的局 部图，该过滤部件是如图4所示的结构，在由多孔质PTFE等构成的过滤膜41的一面上接合 粘接层43，在其相反面上接合网目粗的PP等的网作为保护网42。粘接层43的中央部的区 域被挖通，该部分露出过滤膜41，所以用该区域进行通气。内侧阶梯部17其底的角部以直 角被切入。内侧阶梯部的外侧阶梯部侧的开口部的平面方向的形状与过滤部件的露出形状 一致。图2表示本发明的薄膜的第二实施方式。就图2㈧中的虚线而言，外侧的虚线表 示过滤膜的粘接层的内周面，内侧的虚线表示内侧阶梯部27的开口部的形状。该实施方式 将内侧阶梯部27的底的角部做成R形状，将内侧阶梯部的外侧阶梯部侧的开口部的平面方 向的形状做成容易加工的圆角的形状。图3表示本发明的薄膜的第三实施方式。到此为止，对使用了具备如图4所示的 单层的过滤膜的过滤部件的情况进行了说明，但也可以使用如图3所示的圆筒型的过滤部 件38。该圆筒型的过滤部件38将由烧结金属多孔质体、多孔质陶瓷、不锈钢线、多孔质树脂 等构成的过滤器38a在由不锈钢、聚丙烯等构成的外筒38b内进行铆接加工或者通过接合 而安装，而且设有用于固定在薄膜框架31上的粘接层38c，该过滤部件38用圆筒的两端面 之间进行通气。图3表示了没有保护网的结构，但也可以设置保护网。代替粘接层38c设 置接合剂层也可以。在该场合，若在容纳过滤部件的外侧阶梯部36的凹处的更内侧设置另 一级的凹处的内侧阶梯部37，则能够得到与上述单层膜的过滤部件的情况相同的效果。外 筒38b与外侧阶梯部36的间隙部分用环氧、硅酮树脂等的接合性物质进行填充为宜。实施例以下说明本发明的实施例，而本发明并不局限于这些说明。实施例1由A5052铝合金的轧制板通过机械加工制作了如图7所示的形状的外尺寸 1526X 1748mm、内尺寸1493X 1711mm、高度6. 2mm的薄膜框架。在该薄膜框架上设置16处 的贯通孔，各贯通孔做成如图I(B)所示的截面形状。在此，就图中的尺寸而言，外侧阶梯 部(a、b、e) = 10. X4. 0X0. 3讓，内侧阶梯部(c、d、f) = 7. 5X1. 6X0. 5mm，通气孔径 g = 1. 5mm，外侧阶梯部的外缘角部的曲率半径h = 1. Omm,内侧阶梯部的外缘角部的曲率半径k =0. 5mm。而且，在机械加工结束后，对该薄膜框架表面进行喷砂处理，然后进行了黑色氧化 铝膜处理。将该薄膜框架搬入等级100的无尘室内，用界面活性剂及纯水洗净，并使其完全 干燥。然后，在该薄膜框架的上端面上，作为薄膜用膜接合剂13将硅酮粘接剂(信越化 学工业(株)制造；商品名KR3700)用甲苯稀释之后涂敷成干燥膜厚为大约100 μ m。而且，在下端面上作为构成掩模粘接层15的掩模粘接剂将硅酮粘接剂(信越化学工业(株)制 造；商品名KR3700)用甲苯稀释之后涂敷成6mm宽度。此时，进行了精加工以使干燥后的粘 接剂的高度为约2mm。然后，在各通气孔中使用镊子粘贴通过冲裁加工制作的如图4所示的由保护网 42、过滤膜41和粘接层43构成的捕集直径0. 1 μ m的过滤部件之后，将硅酮粘接剂(信越 化学工业(株)制造；商品名KR3700)用甲苯稀释成适当的粘度之后用手动分配器涂敷成 从过滤部件表面为4μ 1，使粘接剂浸润到过滤膜中。对使用镊子粘贴过滤器的操作所需的 时间进行了测量，结果每一张需要大约15sec。之后，将该薄膜框架加热成130°C而使粘接剂、接合剂中的溶剂干燥的同时，使硅 酮粘接剂完全交联，接着将作为粘接剂的保护而另外制作的隔离物贴合在掩模粘接层15 上。该隔离物是将在一面涂敷了脱模剂的聚对苯二甲酸乙酯(PET)薄膜(厚度125μπκ半 透明)切断成薄膜框架的形状制作而成的。接着，对薄膜用膜的制作进行说明。在等级100的无尘室内，将表面研磨成平滑的 1620Χ 1780mm的石英基板洗净、干燥之后，在其一面使用金属型涂敷法作为膜材料将氟树 脂(旭硝子(株)制造；商品名寸 < 卜？ )的溶液涂敷成干燥后的膜厚成为6 μ m。该成 膜方法在此使用了金属型涂敷法，但除此之外也可以使用旋转涂敷法、狭缝式和旋转法等 各种方法。然后，对每个成膜基板用烤炉加热成200°C，使溶剂干燥。而且，在冷却后，对于 该膜接合框状的膜剥离夹具，缓慢地从基板剥下而得到薄膜用膜。然后，最后将与膜剥离夹具接合的状态的薄膜用膜贴合在上述薄膜框架的膜接合 层上，将外侧的剩余膜利用刀具切除从而完成薄膜。对已完成的薄膜的过滤部的外观进行观察，则所有过滤器容纳在阶梯差内，成为 没有弯曲和偏移的最佳的结构。然后，对该薄膜评价了通气性。图8表示评价所使用的装置。被测量薄膜86粘贴 在铝制底座板81上，并且设有用于向薄膜内部导入空气的阀82。从底座板81上分离规定 的距离而在支撑架83下安装有超声波距离传感器84，能够测定到薄膜用膜的距离并显示 在显示器85上。利用该装置，在上述薄膜中导入5000cc的空气，测量了薄膜用膜返回到原来的高 度为止的时间，则时间为17h30min。而且，对该薄膜评价了从过滤部件的产生灰尘量。首先，准备1620X1780X厚度 IOmm的表面进行了研磨的石英玻璃基板，在无尘室内进行洗净、干燥之后，在暗室内使用聚 光灯进行了基板上的异物检查。对于所附着的异物通过鼓风而将其去除，而对于不能去除 的异物将其位置准确地记录在地图中。然后，如图9所示，在该石英玻璃基板91上粘贴所制作的薄膜92，制作了被薄膜 92和玻璃基板91包围的封闭空间。然后，从薄膜92的过滤部93之中随机选择5处，并从 外侧用气枪94进行了鼓风。鼓风的条件设为喷嘴直径2mm，距离20mm，压力4kgf/cm2，鼓风 时间IOsec。然后，在对过滤部件进行鼓风之后，在暗室内利用聚光灯对石英玻璃基板91上的 异物进行了肉眼检查，并与鼓风前的检查地图进行了比较。其结果，基板上的异物完全没有 增加，确认到从过滤部件没有产生灰尘。
实施例2用与上述实施例1相同的方法、步骤制作了薄膜。但是，所使用的过滤部件未进行 硅酮粘接剂的涂敷。对于该薄膜，与上述实施例1同样地进行了外观检查及通气性的评价。对已完成的薄膜的过滤部件的外观进行了观察，则所有过滤部件容纳在阶梯差 内，成为没有弯曲和偏移的最佳的结构。作为通气性评价，利用图8的装置向薄膜内导入5000cc的空气，测量了薄膜用膜 返回到原来的高度为止的时间，则时间为14h40min。比较例1由A5052铝合金的轧制板通过机械加工制作了如图7所示的形状的外尺寸 1526X 1748mm、内尺寸1493X 1711mm、高度6. 2mm的薄膜框架。在该薄膜框架上设置了 16 处的如图5所示的相同直径截面形状的直径1. 5mm的通气孔52，在机械加工结束后，对该薄 膜框架表面进行喷砂处理，然后进行了黑色氧化铝膜处理。然后，与上述实施例1同样，将该薄膜框架在等级100的无尘室内进行了洗净、干 燥之后，与上述实施例1同样，涂敷了膜接合剂53、掩模粘接剂55。然后，在各通气孔中使 用镊子粘贴通过冲裁加工制作的如图4所示的结构的过滤部件之后，将硅酮粘接剂(信越 化学工业(株)制造；商品名KR3700)用甲苯稀释成与上述实施例1相同的粘度之后用手 动分配器涂敷成从过滤部件56表面为4μ 1，使粘接剂浸润到过滤膜中。此时，对使用镊子 粘贴过滤器的操作所需的时间进行了测量，结果平均每一张需要约36sec。之后，将该薄膜框架加热成130°C而使溶剂干燥的同时，使硅酮粘接剂完全交联， 并且将作为粘接剂的保护而另外制作的隔离物贴合在掩模粘接层上。最后，将与上述实施例1同样地制作的薄膜用膜贴合在该薄膜框架的膜接合层 上，将薄膜框架外侧的剩余膜利用刀具切除从而完成薄膜。对于所完成的薄膜，与上述实施例1同样地利用图8所示的装置进行了通气性评 价。在薄膜的封闭空间从空气导入阀82注入5000CC的空气，然后测量了膜返回到水平为 止的时间，其结果时间为约41h。对于所完成的薄膜，对过滤部件的外观进行了观察。在各个过滤部件上看到偏移 和弯曲，尤其各过滤部件的间隔的偏移明显。对各个过滤部件的间隔进行了测量，其结果对 于设计上80mm间隔，以最小78mm、最大83mm进行了安装。若过滤部件从原来的位置偏移而 粘贴，则涂敷在过滤部件上的硅酮粘接剂直接流入通气孔中而有时导致通气孔因粘接层变 窄或堵住，而在该薄膜中存在该危险。而且，从外观上也不美观。另外，由于16张的过滤部 件从薄膜框架突出，因此当薄膜框架因某种原因而接触时破损、剥离的危险非常高。而且，作为从过滤部件产生的灰尘量的评价，在与上述实施例1完全相同的条件 下对5处的过滤部件进行了鼓风，但基板上的异物完全没有增加，没有确认到从过滤部件 产生灰尘。对比较例1总结了上述结果，则由于涂敷在过滤膜上的粘接剂的效果，从过滤部 件没有产生灰尘，在这一点非常好，但是过滤部件粘贴状态的外观差，而且通气性非常差。 作为性能与实施例1相比很差。比较例2用与上述比较例1相同的方法、步骤制作了薄膜。但是，所使用的过滤部件未进行硅酮粘接剂的涂敷。对该薄膜进行了与上述实施例1完全相同的评价。所完成的薄膜的过滤部的外观与上述比较例1同样看出很多弯曲、偏移，表面看 起来并不美观。作为通气性评价，利用图8的装置向薄膜内导入5000cc的空气，测量了薄膜用膜 返回到原来的高度为止的时间，则时间为15h30min。而且，作为从过滤部件产生的灰尘量的评价，在与上述实施例1完全相同的条件 下对5处的过滤部件进行了鼓风。其结果，发现5处之中4处的通气孔附近的玻璃基板上 附着数个直径5 30 μ m的异物。总结以上内容，比较例2的薄膜比上述实施例2通气性差。而且，从过滤器产生的 灰尘多，可靠性非常低。
权利要求
一种薄膜，在薄膜框架上设有用于将薄膜内部的气压调整为与薄膜外部的气压相同的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有具备防止异物的进入的过滤器的过滤部件，其特征在于，上述贯通孔包括(1)向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的外侧阶梯部；(2)向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及(3)一端向上述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔。
2.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于，外侧阶梯部的深度在过滤部件的厚度的50 150%的范围。
3.根据权利要求1或2所述的薄膜，其特征在于，内侧阶梯部在外侧阶梯部侧的开口部的面积在过滤部件的过滤器的通气面积的80 150%的范围，内侧阶梯部的深度为0. 2mm以上且Imm以下。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的薄膜，其特征在于， 在过滤部件的过滤器上涂敷或浸润粘接性物质而成。
全文摘要
本发明涉及薄膜，课题是在薄膜框架上设有气压调整用的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有过滤部件的薄膜中，提高其通气性，使过滤部件的安装变得容易，抑制从过滤部件产生灰尘，而且在薄膜处理时防止过滤部件的接触、破损。贯通孔包括(1)向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的外侧阶梯部；(2)向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及(3)一端向上述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔。
文档编号G03F1/64GK101930163SQ201010171048
公开日2010年12月29日 申请日期2010年4月28日 优先权日2009年6月26日
发明者关原一敏 申请人:信越化学工业株式会社