光刻胶显影装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流量计、过滤器、气动阀及喷嘴，显影罐、缓存槽、流量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，缓存槽的出口处设置过滤器，其中喷嘴为锯齿形喷嘴。与现有技术相比，显影工艺是将显影液通过喷嘴喷淋在晶圆表面上，由于喷嘴为锯齿形，有效地清除了在喷淋之前形成的细小气泡，也清除了残留在晶圆图案间的气泡，消除了图案的变形，为后续地蚀刻工艺提供清晰的图案，提高了产品的质量和产量。
【专利说明】留在晶圆1的图案2之间。如果不清除这刻工艺，不能蚀刻出正确图案等问题，严重
丨新型提供一种光刻胶显影装置，有效地减
卜光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流.量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，缓嘴。
力连接在锯齿形喷嘴上，其与气体管路一体3个。
?5臟。
1.5臟。
晶圆表面上，由于喷嘴为据齿形，有效地减[0016]如图1和图3所示，本实用新型的一种光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流量计、过滤器、气动阀及喷嘴，显影罐是储存显影液的罐子，缓存槽为减少气泡的产生而设置的，流量计是调节显影液压力的装置，气动阀是调节显影液流量的装置，喷嘴是喷洒显影液的结构，该显影罐、缓存槽、流量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，缓存槽的出口处设置过滤器，该过滤器可以进一步地减少异物质及气泡，其中喷嘴为锯齿形喷嘴5。
[0017]PSS制作工序中光刻工艺是指在蓝宝石晶片上刻制图案的工艺。光刻胶涂抹后，借助高速旋转动力完成涂布，继而进行软烘烤；然后进行曝光、焙烘；最后显影、烘烤。因此，光刻工艺分为涂布、曝光、显影三个步骤。
[0018]显影工艺中，通过喷嘴向整片晶圆I上喷淋显影液，完成显影步骤。锯齿形喷嘴5破坏了气泡4表面的张力，有效地减少了在喷淋之间形成的气泡4，进一步地减少了残留在晶圆I的图案2间的气泡4，消除了图案2的变形，为后续地蚀刻工艺提供清晰的图案，提高了产品的质量和产量。
[0019]进一步，本实用新型的光刻胶显影装置在锯齿形喷嘴5上设置气吹喷头，该气吹喷头活动连接在锯齿形喷嘴5上，其与气体管路一体成形。在操作工艺过程中，锯齿形喷嘴5向晶圆I上喷淋显影液后，打开气体管路，则气吹喷头喷出气体对涂覆在晶圆I表面上产生的气泡4进行吹拂，一方面使显影液均匀分散在晶圆I表面，另一方面可以进一步地清除少量残留在晶圆I的图案2间的气泡4。
[0020]优选地，锯齿形喷嘴5中锯齿个数至少为3个；锯齿形喷嘴5中锯齿的高度为4?5mm ;锯齿形喷嘴5中锯齿间距为I?1.5mm ;该结构的锯齿形喷嘴5有效地消除了在喷淋之间形成的气泡4，清除了残留在晶圆I的图案2间的气泡4。
【权利要求】
1.一种光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流量计、过滤器、气动阀及喷嘴，所述显影罐、缓存槽、流量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，所述缓存槽的出口处设置过滤器，其特征在于，所述喷嘴为锯齿形喷嘴(5)。
2.根据权利要求1所述的光刻胶显影装置，其特征在于，还包括气吹喷头，所述气吹喷头活动连接在锯齿形喷嘴(5)上，其与气体管路一体成形。
3.根据权利要求1或2所述的光刻胶显影装置，其特征在于，所述锯齿形喷嘴(5)中锯齿个数至少为3个。
4.根据权利要求1或2所述的光刻胶显影装置，其特征在于，所述锯齿形喷嘴(5)中锯齿的高度为4?5mm。
5.根据权利要求1或2所述的光刻胶显影装置，其特征在于，所述锯齿形喷嘴(5)中锯齿间距为I?1.5_。
【文档编号】G03F7/32GK203630511SQ201320850730
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年12月20日 优先权日:2013年12月20日
【发明者】金海猷 申请人:徐州同鑫光电科技有限公司