撬针、撬棒及撬起系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种撬针，在针头处具有隐藏装置，使得所述撬针在插入相应孔洞之前，针头不会先触碰被撬起物，从而避免了金属撬针针头首先接触被翘物而造成被撬物被刮伤的情况。本实用新型提供的使用所述撬针的撬棒能够在撬起更好地保护被撬物，而相应的撬起系统更具有一吸附装置，在撬起被撬物时将其吸附，防止了人工操作可能带来的被撬物脱落的情况。
【专利说明】撬针、撬棒及撬起系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种撬针、撬棒及撬起系统。
【背景技术】
[0002]光刻是通过对准、曝光等一系列步骤将光罩上的目标图案转移到晶圆上的工艺过程。光罩在其相对中部的位置会设置图形，而此图形部分通常被位于光罩表层的光罩保护膜所覆盖，以起到保护作用。
[0003]如图3所示，光罩保护膜包含膜体1100和边框1200，膜体1100覆盖于光罩上起保护作用，而边框1200用于将膜体1100固定于光罩上。在光罩的制作过程中，时常需要将附在光罩上的光罩保护膜拆除。通常情况下，在边框1200的一侧存在孔洞1210，以方便将光罩保护膜撬起以和光罩分离。
[0004]目前，通常是通过一带有撬针的撬棒来将光罩保护膜撬起，其中在撬起时撬针插入边框1200上的相应的孔洞1210内。然而，在撬针对准孔洞1210的过程中，会出现金属撬针接触到光罩表面，而造成光罩被刮伤而报废的情况。例外，在光罩保护膜被摘除后需要同时将其移走，在此过程中可能因为操作者的失误使得保护膜脱离撬棒而落到光罩上，造成光罩刮伤甚至报废。
实用新型内容
[0005]针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种撬针，采用该撬针的撬棒以及采用该撬棒的撬起系统。
[0006]其中，所述撬针包括针头和连接于所述针头的杆部，还包括设置于所述针头上的
隐藏装置。
[0007]进一步的，所述隐藏装置包括相连接的弹性件和隐藏件，环绕所述针头外侧设置，其中当所述弹性件发生形变时，所述针头的尖端露出，当所述弹性件恢复原状时，所述针头的尖端位于所述隐藏件中。
[0008]进一步的，所述隐藏件远离所述弹性件的一端具有一平面。
[0009]进一步的，所述隐藏件的一侧面具有一平行于所述针头方向的开口。
[0010]本实用新型还提供一种撬棒，包含手柄，垂直连接于所述手柄的横杆，还包含所述的撬针，设置于所述横杆上。
[0011 ] 本实用新型还提供一种撬起系统，用以撬起一目标物，所述撬起系统包含底座以及所述的撬棒，还包含位于所述底座上方的吸附装置。
[0012]进一步的，所述底座上方还包含感应器。
[0013]进一步的，所述底座上设置竖杆，所述感应器位于所述竖杆上；所述吸附装置活动地设置所述竖杆上。
[0014]进一步的，所述吸附装置包含吸附器，对应于所述目标物的侧边设置。进一步的，所述目标物为光罩保护膜。[0015]相比于现有技术，本实用新型提供的撬针在针头处具有隐藏装置，使得所述撬针在插入相应孔洞之前，针头不会先触碰保护膜，从而避免了金属撬针接触到光罩表面，而造成光罩被刮伤而报废的情况。本实用新型提供的撬棒在使用所述撬针后能够在撬起时使光罩保护膜得到更好的保护，而相应的撬起系统更具有一吸附装置，在光罩保护膜被撬起时被吸附，防止了人工操作可能带来的保护膜脱落至光罩而刮伤光罩的情况。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型一实施例所述撬针在针头的尖端隐藏时的示意图。
[0017]图2为本实用新型一实施例所述撬针在针头的尖端露出时的示意图。
[0018]图3为本实用新型一实施例所述的撬起系统适用的光罩及光罩保护膜的示意图。
[0019]图4为本实用新型一实施例所述撬棒的示意图。
[0020]图5为本实用新型一实施例所述撬起系统的示意图。
【具体实施方式】
[0021]本实用新型提供一撬针，如图1所示，所述撬针包含针头10和连接针头10的杆部20，所述针头10的根部固定于杆部20上以使得针头10的尖端露出。针头10包含隐藏装置，目的在于当不使用所述撬针时，针头10能隐藏以得到保护，也能使得在撬针接触被撬起物之前，被撬起物不至于被针头10破坏。
[0022]所述隐藏装置包含相连接的弹性件11和隐藏件12，环绕所述针头10外侧设置。在本实施例中弹性件11为一弹簧，其一端连接杆部20，另一端连接隐藏件12。当弹性件11不发生形变时为自然撑开状态，如图1所示，此时隐藏件12将针头10的尖端部分包住以隐藏。如图2所示，当所述弹性件11受到压力发生形变时，所述针头10的尖端露出；而当所述弹性件11恢复原状时，所述针头10的尖端又回到所述隐藏件12中，即图1所示的状态。
[0023]所述隐藏件12的远离所述弹性件11的一端具有一平面，在所述撬针对准被撬起物的孔洞前，所述平面首先接触孔洞周围，使得用力的方向不至于发生偏转，以便针头10顺利进入孔洞中。优选的，隐藏件12的形状为方形。由于光罩表面不能被刮伤，因此可能接触光罩的隐藏件12的材料为软性材质，优选地，为特氟龙(Teflon)材质。
[0024]在隐藏件12的一侧面具有一平行于所述针头10方向的开口。通常此开口的方向朝上，以便在操作着撬起被撬物时视线不被隐藏件12遮挡住，而可以通过该开口看到针头10插入孔洞的过程，以免出现失误。与此同时，在撬针撬起被撬物时，该开口可提供空间时针头10偏离其本身的轨道向上运动，更方便撬起被撬物体。
[0025]本实用新型还提供一撬棒。如图4所示，撬棒包含手柄1，垂直连接于所述手柄的横杆2，以及本实用新型提供的撬针3。所述撬针3垂直设置于横杆2，即平行于手柄I的方向。使用时操作者手持手柄1，从隐藏件12的开口处看到针头10，并用针头10对准被撬物的孔洞中，向下按动撬棒的手柄10即可。由于横杆2的支点作用，撬针3会向上运动并撬起被撬物。
[0026]在本实施例中，被撬物体为光罩保护膜。通常情况下，光罩保护膜的侧边上有两个孔洞，因此所述撬棒上的撬针3的数量为两个，其间距等于光罩保护膜的侧边上孔洞的间距。[0027]在撬起本实施例中光罩保护膜时，操作者使用两个所述撬棒，分别从两侧依上述方式将针头10对准光罩保护膜两个侧边的孔洞向下按动撬棒，即可将所述光罩保护膜撬起。
[0028]本实用新型还提供一种撬起系统。如图5所示，所述撬起系统包含底座200以及上述撬棒100，还包含位于所述底座上方的吸附装置300以及感应器400。其中，光罩保护膜1000置于底座200上，操作者使用撬棒100即可撬起光罩保护膜1000。
[0029]所述底座200上设置竖杆，所述感应器400设置于所述竖杆上；所述吸附装置300可活动地设置所述竖杆上。如图5所示，所述竖杆垂直固定于底座200上，吸附装置300为一平面，垂直连接与所述竖杆上，即平行于底座200的上表面。吸附装置300连接竖杆并可相对于竖杆上下升降移动，以靠近或远离底座200，具体地，吸附装置300可连接竖杆上的一移动模块以被其带动，但本实用新型不以此为限。
[0030]感应器400设置于所述竖杆上，用于控制吸附装置300的升降。当撬棒100撬起光罩保护膜1000时，感应器400感知到光罩保护膜1000的位移而被触发，从而控制吸附装置300下降，将光罩保护膜1000吸住，防止其掉落而造成光罩表面损伤。优选地，感应器400为红外线传感器。
[0031]所述吸附装置300包含吸附器310，对应于所述目标物的侧边设置。在本实施例中由于被撬物是光罩保护膜1000，因此吸附器的数量为2，呈长条形，分别对应光罩保护膜1000的两条长边设置。当吸附装置300下降后两个吸附器310正对光罩保护膜1000的两条长边。
[0032]由于光罩保护膜1000的侧边通常包含铁，因此本实施例中吸附器310的材料为磁铁。
[0033]综上所述，本实用新型提供的撬针在针头10处具有隐藏装置，使得所述撬针在插入相应孔洞之前，针头10会隐藏于隐藏件12中，不会先触碰保护膜，而在隐藏件12首先接触保护膜后针头才会顺势进入相应孔洞，如此一来就避免了金属撬针接触到光罩表面，而造成光罩被刮伤而报废的情况。本实用新型提供的撬棒在使用所述撬针后能够在撬起时使光罩保护膜得到更好的保护，而相应的撬起系统更具有一吸附装置300，在光罩保护膜被撬起时被吸附，防止了人工操作可能带来的保护膜脱落至光罩而刮伤光罩的情况。
[0034]显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种撬针，包括针头和连接于所述针头的杆部，其特征在于:还包括设置于所述针头上的隐藏装置。
2.如权利要求1所述的撬针，其特征在于:所述隐藏装置包括相连接的弹性件和隐藏件，环绕所述针头外侧设置，其中当所述弹性件发生形变时，所述针头的尖端露出，当所述弹性件恢复原状时，所述针头的尖端位于所述隐藏件中。
3.如权利要求2所述的撬针，其特征在于:所述隐藏件远离所述弹性件的一端具有一平面。
4.如权利要求2所述的撬针，其特征在于:所述隐藏件的一侧面具有一平行于所述针头方向的开口。
5.一种撬棒，包含手柄，垂直连接于所述手柄的横杆，其特征在于:还包含如权利要求1-4任意一项所述的撬针，设置于所述横杆上。
6.一种撬起系统，用以撬起一目标物，所述撬起系统包含底座以及如权利要求5所述的撬棒，其特征在于:还包含位于所述底座上方的吸附装置。
7.如权利要求6所述的撬起系统，其特征在于:所述底座上方还包含感应器。
8.如权利要求7所述的撬起系统，其特征在于:所述底座上设置竖杆，所述感应器位于所述竖杆上；所述吸附装置活动地设置所述竖杆上。
9.如权利要求6所述的撬起系统，其特征在于:所述吸附装置包含吸附器，对应于所述目标物的侧边设置。
10.如权利要求6-9任意一项所述的撬起系统，其特征在于:所述目标物为光罩保护膜。
【文档编号】G03F1/68GK203799173SQ201420158116
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年3月28日 优先权日:2014年3月28日
【发明者】马俊, 杨雁飞 申请人:中芯国际集成电路制造（天津）有限公司, 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司