平行光单面曝光装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种平行光单面曝光装置，该装置包括机台、玻璃曝光台面、直线传动机构、气路组件和橡皮框；直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱，灯箱内置有曝光灯，且该灯箱上设有冷却组件；橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上，且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体；气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头。本实用新型增设气路组件和橡皮框，橡皮框与玻璃曝光台面的接触能确保四周不漏气，且气路组件可确保原稿与被曝光物贴合，解决现有的曝光装置对大小不一样的被曝光物的曝光时间相同而消耗同样多的电能，避免了能耗的损失。
【专利说明】平行光单面曝光装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及曝光【技术领域】，尤其涉及一种平行光单面曝光装置。
【背景技术】
[0002]目前的单面曝光装置是属于精密光刻成像装置中，都是采用紫外光照射，使可接受某特定波长的感光材料在受到光照射的区域形成与菲林上图案完全一致的装置。现有的曝光装置不论是普通漫反射光源型式的还是菲涅尔透镜平行光光源型式的，其曝光灯与被曝光物之间的距离都是固定的，灯源工作时是对曝光装置的整个曝光台面同时作用的，所以被曝光物面积大小不一样时也需要用相同的曝光时间来曝光，无法针对大小不一样的被曝光物来选取曝光时间；曝光灯灯源中心的光能量总是比周边的光能量强，所以被曝光物的物体所接收到的光能量总是不均匀的；曝光灯工作时大部分电能转化成了热能，所以整个曝光室和曝光台面在曝光灯工作时温度会大幅升高，这时就需要一个强力的冷却装置对整个曝光室和曝光台面进行冷却，因为曝光室和曝光台面空间较大，难于做到对曝光台面每个区域进行均匀降温，造成曝光台上的原稿因受热过热或受热不均匀而出现胀缩，造成菲林片上的图像发生变形，这样被曝光物上形成的图像就会和原稿的不一样，不能保证曝光过程的良品率。
实用新型内容
[0003]针对上述技术中存在的不足之处，本实用新型提供一种能源损耗小、曝光能量分布均匀及曝光效率高的平行光单面曝光装置。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供一种平行光单面曝光装置，包括机台、置于机台上且用于放置被曝光物的玻璃曝光台面、置于玻璃曝光台面下方的直线传动机构、用于保证工作时被曝光物与玻璃曝光台面贴合的气路组件和粘接有橡皮布的橡皮框；所述直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱，所述灯箱内置有曝光灯，且该灯箱上设有冷却组件；所述橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上，且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体；所述气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头，该电磁阀常态时，上述腔体依次经抽气嘴、气管接头、真空气管与电磁阀形成的气路与大气连通；该电磁阀通电时，真空泵经电磁阀、真空气管、气管接头、抽气嘴与上述腔体连通。
[0005]其中，所述直线传动机构包括设置在机台内的支承台、安设在支承台两侧上的直线轴承和安装在灯箱底部的滚珠丝杆运动幅，所述滚珠丝杆运动幅通过轴承座固定在支承台上，直线轴承之间设置有直线导轨，所述滚珠丝杆运动幅与驱动组件驱动连接，驱动组件通过滚珠丝杆运动幅驱动直线导轨后，所述灯箱沿着该直线导轨做直线匀速运动。
[0006]其中，所述驱动组件包括同步轮、同步带和电机，所述滚珠丝杆运动幅置于该同步轮内，且该同步轮通过同步带和与电机驱动连接。
[0007]其中，所述冷却组件包括分别设置在灯箱两侧上的冷风出口、多个导风板和风道；所述冷风机通过两个冷风管分别依次与对应的风道、多个导风板和两个冷风出口相通，且所述冷风机产生的冷风经由对应的冷风管、风道和多个导风板后从灯箱两侧的冷风出口吹向受热的玻璃曝光台面。
[0008]其中，所述冷却组件还包括与灯箱相通的灯管冷却风机，所述灯管冷却风机工作时对曝光灯表面降温，且热风从排风管排出机台外。
[0009]其中，所述橡皮框与玻璃曝光台面接触的一面上粘接有密封条，所述粘接橡皮布后的橡皮框通过密封条与玻璃曝光台面接触后，上述腔体四周密封不漏气。
[0010]其中，所述灯箱的两侧边设置有与其一体成型的导向板，所述多个导风板呈一字型横向设置在导向板上；且每个导风板上均设有与导向板所在面呈斜向设置的斜面，在斜向上的导风板作用下，沿着导向板长方向横向吹来的风改变风向向上部的冷风出口吹出。[0011 ] 其中，该曝光装置还包括反光罩，所述反光罩置于灯箱内且形状为抛物线，所述曝光灯置于反光罩的焦点位置上且出光面朝向玻璃曝光台面。
[0012]本实用新型的有益效果是:与现有技术相比，本实用新型提供的平行光单面曝光装置，通过直线传动机构匀速移动对玻璃曝光台面上被曝光物进行曝光，该曝光方式可以依被曝光物大小的不一样而自行调整移动距离也就是曝光时间可依曝光物体大小的不一样而自行调整，同时能保证被曝光物接收到的曝光能量是均匀的；增设气路组件和橡皮框，橡皮框与玻璃曝光台面的接触能确保四周不漏气，且气路组件可确保菲林与被曝光物贴合，解决现有的曝光装置对大小不一样的被曝光物的曝光时间相同而消耗同样多的电能，避免了能耗的损失。本实用新型具有能源损耗小、曝光能量分布均匀及曝光效率高等特点。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的平行光单面曝光装置的主视图；
[0014]图2为图1的侧视图；
[0015]图3为本实用新型中灯箱及冷却组件的立体图。
[0016]主要元件符号说明如下:
[0017]1、机台2、玻璃曝光台面
[0018]3、直线传动机构4、橡皮框
[0019]5、气路组件6、灯箱
[0020]7、曝光灯8、冷却组件
[0021]9、密封条10、橡皮布
[0022]11、反光罩31、支承台
[0023]32、直线轴承33、滚珠丝杆运动幅
[0024]34、直线导轨35、同步轮
[0025]36、同步带37、电机
[0026]51、真空泵52、电磁阀
[0027]53、抽气嘴54、气管接头
[0028]55、真空气管81、冷风出口
[0029]82、导风板83、风道
[0030]84、排风管85、灯管冷却风机
[0031]86、导向板87、冷风机
[0032]88、冷风管821、斜面。
【具体实施方式】
[0033]为了更清楚地表述本实用新型，下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。
[0034]请参阅图1-3，本实用新型提供的平行光单面曝光装置，包括机台1、置于机台I上且用于放置被曝光物的玻璃曝光台面2、置于玻璃曝光台面2下方的直线传动机构3、用于保证工作时被曝光物与玻璃曝光台面2贴合的气路组件5和粘接有橡皮布10的橡皮框4 ；直线传动机构3上活动安设有沿该直线传动机构3做直线匀速运动的灯箱6，灯箱6内置有曝光灯7，且该灯箱6上设有冷却组件8 ;橡皮框4的一端铰接在玻璃曝光台面2的末端上，且该橡皮框4与玻璃曝光台面2接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体；气路组件5包括置于机台I内的真空泵51及与真空泵51电连接的电磁阀52和置于橡皮框4上的抽气嘴53和气管接头54，该电磁阀52常态时，上述腔体依次经抽气嘴53、气管接头54、真空气管55与电磁阀52形成的气路与大气连通；该电磁阀52通电时，真空泵51经电磁阀52、真空气管55、气管接头54、抽气嘴53与上述腔体连通。被曝光物为丝印网框、电子线路板、需要曝光的菲林或其他物体。该曝光机还包括反光罩11，反光罩11置于灯箱6内且形状为抛物线，曝光灯7置于反光罩11的焦点位置上且出光面朝向玻璃曝光台面2，该反光罩11的抛物线结构分布起到了一定的聚光作用，有效防止曝光灯7的光线从四周分散，提高了聚光效果。
[0035]相较于现有技术的情况，本实用新型提供的平行光单面曝光装置，通过直线传动机构3匀速移动对玻璃曝光台面2上被曝光物进行曝光，该曝光方式可以依被曝光物大小的不一样而自行调整移动距离也就是曝光时间可依曝光物体大小的不一样而自行调整，同时能保证被曝光物接收到的曝光能量是均匀的；增设气路组件5和橡皮框4，橡皮框4与玻璃曝光台面2的接触能确保四周不漏气，且气路组件5可确保原稿与被曝光物贴合，解决现有的曝光装置对大小不一样的被曝光物的曝光时间相同而消耗同样多的电能，避免了能耗的损失。本实用新型具有能源损耗小、曝光能量分布均匀及曝光效率高等特点。
[0036]在本实施例中，直线传动机构3包括设置在机台I内的支承台31、安设在支承台31两侧上的直线轴承32和安装在灯箱6底部的滚珠丝杆运动幅33，滚珠丝杆运动幅33通过轴承座固定在支承台31上，直线轴承32之间设置有直线导轨34，滚珠丝杆运动幅33与驱动组件驱动连接，驱动组件通过滚珠丝杆运动幅33驱动直线导轨34后，灯箱6沿着该直线导轨34做直线匀速运动。驱动组件包括同步轮35、同步带36和电机37，滚珠丝杆运动幅33置于该同步轮35内，且该同步轮35通过同步带36和与电机37驱动连接。
[0037]在本实施例中，冷却组件8包括分别设置在灯箱6两侧上的冷风出口 81、多个导风板82和风道83 ;冷风机87通过两个冷风管88分别依次与对应的风道83、多个导风板82和两个冷风出口 81相通，且冷风机87产生的冷风经由对应的冷风管88、风道83和多个导风板82后从灯箱6两侧的冷风出口 81吹向受热的玻璃曝光台面2。冷却组件8还包括与灯箱6相通的灯管冷却风机85，灯管冷却风机85工作时对曝光灯7表面降温，且热风从排风管84排出机台外。灯箱6的两侧边设置有与其一体成型的导向板86，多个导风板82呈一字型横向设置在导向板86上；且每个导风板82上均设有与导向板86所在面呈斜向设置的斜面821，在斜向上的导风板82作用下，沿着导向板86长方向横向吹来的风改变风向向上部的冷风出口 81吹出。
[0038]在本实施例中，橡皮框4与玻璃曝光台面2接触的一面上粘接有密封条9，粘接橡皮布10后的橡皮框4通过密封9与玻璃曝光台面2接触后，上述腔体四周密封不漏气。
[0039]本实用新型的具体方案为:当有被曝光物如电子线路板和原稿片被放到玻璃曝光台面2上时，由人工合上橡皮框4使之压在玻璃曝光台面2上，经橡皮框4底下的软性密封条9与玻璃曝光台面2贴合形成密封的腔体。电磁阀52为两位三通型式的电磁阀，常态时即不通电状态，橡皮框4与玻璃曝光台面2形成的腔体经抽气嘴53、气管接头54、真空气管55与电磁阀52形成的气路与大气连通；当电磁阀52通电时，电磁阀52动作使真空泵51经电磁阀52、真空气管55、气管接头54、抽气嘴53与橡皮框4和玻璃曝光台面2形成的腔体连通，真空泵51把腔体内的空气抽掉使腔体处于真空状态，保证原稿片与被曝光物(电子线路板)或其它被曝光物贴合。当真空值达到预设值时曝光灯7瞬间点亮，光强达到设定值后，灯箱6沿着直线导轨34按预定的速度对被曝光物以类似扫描的方式进行曝光；同时灯管冷却风机85工作对曝光灯7表面进行降温，热风从排风管84排出机台I外部；并且冷风经冷风机87、冷风管88、风道83和导风板82从灯箱6两侧的冷风出口 81吹到玻璃曝光台面2下对其进行冷却降温。灯箱6移动到网框边缘后，曝光灯7熄灭，灯箱6返回原点位置等待下一次曝光动作，与此同时，灯管冷却风机85继续对曝光灯7表面进行冷却直到其表面温度回到室温状态，冷风则继续对玻璃曝光台面2进行冷却降温；真空泵51和电磁阀52停止工作，橡皮框4与玻璃曝光台面2形成的腔体与大气连通回到正常大气压状态。
[0040]本新型提供的曝光装置，在上述技术方案的基础上具体可以是灯箱6以类似扫描的方式在直线导轨34上匀速移动对玻璃曝光台面2上被曝光物进行曝光的方式。这种曝光方式的作用是可以依被曝光物大小的不一样而自行调整移动距离也就是曝光时间可依曝光物体大小的不一样而自行调整，同时能保证被曝光物接收到的曝光能量是均匀的，在类似逐行扫描的过程中，只要灯管沿着其轴向发出的光能量是均匀的，那么扫描过后被曝光物接受的曝光能量就是均匀的，并且可以针对性的对局部受热的玻璃曝光台面进行冷却，从而提高冷却效果保证原稿不发生胀缩，而且可以尽可能的让灯管接近被曝光物，提高光能量的利用率。当需要曝光时，曝光灯7点亮，电机37按预定的速度经同步轮35和同步带36驱动滚珠丝杆传动幅33，带动灯箱6沿着直线导轨34匀速移动以实现对被曝光物的曝光动作，当灯箱6移动至被曝光物边缘时，曝光灯7熄灭，电机37反转把灯箱6移回原点位置；在曝光过程中，冷风机87的冷风经由冷风管88、风道83、导风板82从灯箱6顶部两侧的冷风出口 81吹出，针对性的对被曝光物灯局部加热的玻璃曝光台面2进行冷却，使玻璃曝光台面2温升很小，从而保证玻璃曝光台面2上的原稿不发生胀缩，提高曝光过程的良品率。该结构简单，维护保养方便，降低了整机的成本。
[0041]以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例，但是本实用新型并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种平行光单面曝光装置，其特征在于，包括机台、置于机台上且用于放置被曝光物的玻璃曝光台面、置于玻璃曝光台面下方的直线传动机构、用于保证工作时被曝光物与玻璃曝光台面贴合的气路组件和粘接有橡皮布的橡皮框；所述直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱，所述灯箱内置有曝光灯，且该灯箱上设有冷却组件；所述橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上，且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体；所述气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头，该电磁阀常态时，上述腔体依次经抽气嘴、气管接头、真空气管与电磁阀形成的气路与大气连通；该电磁阀通电时，真空泵经电磁阀、真空气管、气管接头、抽气嘴与上述腔体连通。
2.根据权利要求1所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，所述直线传动机构包括设置在机台内的支承台、安设在支承台两侧上的直线轴承和安装在灯箱底部的滚珠丝杆运动幅，所述滚珠丝杆运动幅通过轴承座固定在支承台上，直线轴承之间设置有直线导轨，所述滚珠丝杆运动幅与驱动组件驱动连接，驱动组件通过滚珠丝杆运动幅驱动直线导轨后，所述灯箱沿着该直线导轨做直线匀速运动。
3.根据权利要求2所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，所述驱动组件包括同步轮、同步带和电机，所述滚珠丝杆运动幅置于该同步轮内，且该同步轮通过同步带和与电机驱动连接。
4.根据权利要求1所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，所述冷却组件包括分别设置在灯箱两侧上的冷风出口、多个导风板和风道；所述冷风机通过两个冷风管分别依次与对应的风道、多个导风板和两个冷风出口相通，且所述冷风机产生的冷风经由对应的冷风管、风道和多个导风板后从灯箱两侧的冷风出口吹向受热的玻璃曝光台面。
5.根据权利要求4所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，所述冷却组件还包括与灯箱相通的灯管冷却风机，所述灯管冷却风机工作时对曝光灯表面降温，且热风从排风管排出机台外。
6.根据权利要求1所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，所述橡皮框与玻璃曝光台面接触的一面上粘接有密封条，所述粘接橡皮布后的橡皮框通过密封条与玻璃曝光台面接触后，上述腔体四周密封不漏气。
7.根据权利要求4所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，所述灯箱的两侧边设置有与其一体成型的导向板，所述多个导风板呈一字型横向设置在导向板上；且每个导风板上均设有与导向板所在面呈斜向设置的斜面，在斜向上的导风板作用下，沿着导向板长方向横向吹来的风改变风向向上部的冷风出口吹出。
8.根据权利要求1-7任一项所述的平行光单面曝光装置，其特征在于，该曝光装置还包括反光罩，所述反光罩置于灯箱内且形状为抛物线，所述曝光灯置于反光罩的焦点位置上且出光面朝向玻璃曝光台面。
【文档编号】G03F7/20GK204203629SQ201420717992
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年11月26日 优先权日:2014年11月26日
【发明者】范金刚, 蓝学军 申请人:深圳市博宇佳瑞光电科技有限公司