一种基于Micro-LED无掩模投影扫描式紫外曝光机的制作方法

本发明涉及一种紫外曝光机，尤其涉及一种基于micro-led无掩模投影扫描式紫外曝光机。

背景技术：

在微电子、光学、线路板等微加工领域，紫外曝光机具有非常重要的应用。传统掩模式曝光机使用的是大尺寸平行紫外光源加掩模的曝光形式。而目前现有无掩模曝光机采用的是光源、光源准直系统、dmd芯片以及投影镜头的复杂结构，导致光源能量到工作表面能量损失过高，同时由于光源功率和dmd芯片最大承受功率受限，无法达到足够的曝光强度。

技术实现要素：

本发明要解决的问题是：

现有传统掩模式曝光机和无掩模紫外曝光机，系统效率低，曝光强度不足等问题。

而本发明采用一种基于micro-led无掩模投影扫描式紫外曝光机，micro-led是在芯片集成高密度微小尺寸led阵列，并保证每一个led像素可定址，并单独驱动点亮。底层用cmos集成电路工艺制成驱动电路。cmos集成电路工艺主要包括硅基cmos电路工艺和玻璃基cmos电路工艺。micro-led发出的光通过放大或缩小镜头作用到待曝光工件表面，没有经过复杂光学系统的损耗，因此本发明所述曝光机可以实现更高的能量利用效率、更高的曝光强度、更快的加工速度。

本发明提供一种基于micro-led无掩模投影扫描式紫外曝光机，该系统包括micro-led、计算机及控制软件、放大或缩小镜头、待曝光工件表面和工作台。

所述micro-led是在芯片集成高密度微小尺寸led阵列，并保证每一个led像素可定址，并单独驱动点亮的一种微型显示芯片及其各种封装产品。

所述micro-led用作光源及图形投影，光波长为190～420nm，每个led像素尺寸为：长≥2μm，宽≥2μm。led阵列的行数m≥2，列数n≥2。

所述计算机及控制软件包括运动控制和图形控制，运动控制是指在x、y轴上的运动控制，图形控制是指图形分切，瞬时图形数据向micro-led传输。

所述用计算机及控制软件控制micro-led每个或若干个刷新周期刷新下一位置的图形，使各图形连续拼接成所需曝光图形。

所述放大或缩小镜头是为使micro-led像素尺寸符合实际曝光需求，用于放大或缩小曝光像素尺寸的镜头。

所述待曝光工件表面是micro-led通过放大或缩小镜头成像所投射到待曝光工件表面所形成的工作面。

所述工作台用于放置待曝光工件表面，并固定micro-led的机械运动部件。

本发明所提供一种基于micro-led无掩模投影扫描式紫外曝光机的主要优点和积极效果如下：由于无复杂的光机损耗，可以实现更高的能量利用效率、更高的曝光强度、更快的加工速度。并且结构小巧，易于和机器人相结合接入自动化流水线。

附图说明

为进一步说明本发明的技术内容，以下结合实施例及附图详细说明如后，其中：

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

请参阅图1所示，本发明提供一种基于micro-led无掩模投影扫描式紫外曝光机，包括：

-micro-led是在芯片集成高密度微小尺寸led阵列，并保证每一个led像素可定址，并单独驱动点亮的一种微型显示芯片及其各种封装产品；

-micro-led用作光源及图形投影，光波长为190～420nm，每个led像素尺寸为：长≥2μm，宽≥2μm。led阵列的行数m≥2，列数n≥2；

-计算机及控制软件包括运动控制和图形控制，运动控制是指在x、y轴上的运动控制，图形控制是指图形分切，瞬时图形数据向micro-led传输；

-用计算机及控制软件控制micro-led每个或若干个刷新周期刷新下一位置的图形，使各图形连续拼接成所需曝光图形；

-所述放大或缩小镜头是为使micro-led像素尺寸符合实际曝光需求，用于放大或缩小曝光像素尺寸的镜头；

-待曝光工件表面是micro-led通过放大或缩小镜头成像所投射到待曝光工件表面所形成的工作面；

-工作台用于放置待曝光工件表面，并固定micro-led的机械运动部件；

以上所述的具体实施例，对于本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不局限于本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种基于Micro‑LED无掩模投影扫描式紫外曝光机，包括Micro‑LED、计算机及控制软件、放大或缩小镜头、待曝光工件表面和工作台。为使Micro‑LED像素尺寸符合实际曝光需求，本发明使用放大或缩小镜头用于放大或缩小曝光像素的尺寸。再用计算机及控制软件控制Micro‑LED每个或若干个刷新周期刷新下一位置的图形，使各图形连续拼接成所需要的曝光图形。本发明一种基于Micro‑LED无掩模投影扫描式紫外曝光机，无复杂的光机损耗，可以实现更高的能量利用效率、更高的曝光强度、更快的加工速度。并且结构小巧，易于和机器人相结合接入自动化流水线。

技术研发人员：孙雷
受保护的技术使用者：北京德瑞工贸有限公司
技术研发日：2017.09.18
技术公布日：2019.03.26