一种光刻机硅片台双工位交换装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机硅片台双工位交换装置。


背景技术：

2.在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)；传统的硅片台，光刻机中只有一个硅片运动定位单元，即一个硅片台。调平调焦等准备工作都要在上面完成，这些工作所需的时间很长，特别是对准，由于要求进行精度极高的低速扫描，因此所需时间很长，导致工作效率不高。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机硅片台双工位交换装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.一种光刻机硅片台双工位交换装置，包括底座，所述底座底部两端设有两个立架，两个立架之间设有水平设置的滑杠，滑杠上滑动设有两个滑座，两个滑座由驱动装置驱动沿水平方向同步移动，往复切换位置，滑座上方设有可上下调节的工位台。
6.优选地，所述驱动装置包括电机，电机通过电机架分别与两个滑座链接，电机的输出端连接有齿轮，所述底座上安装有与齿轮相对应的齿条。
7.优选地，所述工位台底部连接有螺杆，螺杆与滑座螺纹连接。
8.优选地，所述滑杠上滑动套接有润滑套，润滑套位于两个滑座之间，润滑套内圈设有储油槽，润滑套的顶壁设有与储油槽连通的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有储油瓶，润滑套通过连接杆与滑座连接。
9.优选地，所述储油槽呈环状。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11.1、电机架将电机和滑座连接为一个整体，当齿条与齿轮啮合，进行齿轮传动时，两个滑座可同步移动，一个滑座移动至工作位，另一个滑座远离工作位，实现工作位切换，此时，远离工作位的滑座可准备对准等辅助工作，提高工作效率；
12.2、需要对工位台的高度位置进行调节，此时，工位台底部连接有螺杆，螺杆与滑座螺纹连接，通过转动螺杆，可实现螺杆上下移动，进而实现对滑座高度调节，提高其适用性；
13.3、储油瓶内润滑油在重力作用下会充满储油槽，当润滑套移动时，储油槽内的润滑油会均匀涂在滑杠上，实现无间断润滑。
附图说明
14.图1为本实用新型提出的结构示意图；
15.图2为润滑套与滑杠连接处的截面视图。
16.图中：底座1、立架2、滑杠3、滑座4、工位台5、螺杆6、电机架7、齿轮8、储油瓶9、润滑套10、储油槽11、齿条12。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
18.参照图1-2，一种光刻机硅片台双工位交换装置，包括底座1，底座1底部两端设有两个立架2，两个立架2之间设有水平设置的滑杠3，滑杠3上滑动设有两个滑座4，两个滑座4由驱动装置驱动沿水平方向同步移动，往复切换位置，滑座4上方设有可上下调节的工位台5，根据实际加工需要，对高度进行调节，提高其适用性。
19.为了实现滑座4往复水平移动，设置了驱动装置，驱动装置包括电机，电机通过电机架7分别与两个滑座4链接，电机的输出端连接有齿轮8，底座1上安装有与齿轮8相对应的齿条12，电机架7将电机和滑座4连接为一个整体，当齿条12与齿轮8啮合，进行齿轮传动时，两个滑座4可同步移动，一个滑座 4移动至工作位，另一个滑座4远离工作位，实现工作位切换，此时，远离工作位的滑座4可准备对准等辅助工作，提高工作效率。
20.在加工时，需要对工位台5的高度位置进行调节，此时，工位台5底部连接有螺杆6，螺杆6与滑座4螺纹连接，通过转动螺杆6，可实现螺杆6上下移动，进而实现对滑座4高度调节，提高其适用性。
21.由于滑座4需要长期频繁在滑杠3上滑动，因此在滑杠3上滑动套接有润滑套10，润滑套10位于两个滑座4之间，润滑套10内圈设有储油槽11，润滑套10的顶壁设有与储油槽11连通的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有储油瓶9，润滑套10通过连接杆与滑座4连接，由于储油瓶9内润滑油在重力作用下会充满储油槽11，当润滑套10移动时，储油槽11内的润滑油会均匀涂在滑杠3上，实现无间断润滑。
22.为了增大储油槽11与滑杠3的接触面积，将储油槽11设计为环状，提高润滑效率。
23.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种光刻机硅片台双工位交换装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)底部两端设有两个立架(2)，两个立架(2)之间设有水平设置的滑杠(3)，滑杠(3)上滑动设有两个滑座(4)，两个滑座(4)由驱动装置驱动沿水平方向同步移动，往复切换位置，滑座(4)上方设有可上下调节的工位台(5)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片台双工位交换装置，其特征在于，所述驱动装置包括电机，电机通过电机架(7)分别与两个滑座(4)链接，电机的输出端连接有齿轮(8)，所述底座(1)上安装有与齿轮(8)相对应的齿条(12)。3.根据权利要求2所述的一种光刻机硅片台双工位交换装置，其特征在于，所述工位台(5)底部连接有螺杆(6)，螺杆(6)与滑座(4)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种光刻机硅片台双工位交换装置，其特征在于，所述滑杠(3)上滑动套接有润滑套(10)，润滑套(10)位于两个滑座(4)之间，润滑套(10)内圈设有储油槽(11)，润滑套(10)的顶壁设有与储油槽(11)连通的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有储油瓶(9)，润滑套(10)通过连接杆与滑座(4)连接。5.根据权利要求4所述的一种光刻机硅片台双工位交换装置，其特征在于，所述储油槽(11)呈环状。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻机硅片台双工位交换装置，包括底座，所述底座底部两端设有两个立架，两个立架之间设有水平设置的滑杠。电机架将电机和滑座连接为一个整体，进行齿轮传动时，两个滑座可同步移动，一个滑座移动至工作位，另一个滑座远离工作位，实现工作位切换，此时，远离工作位的滑座可准备对准等辅助工作，提高工作效率；需要对工位台的高度位置进行调节，此时，工位台底部连接有螺杆，螺杆与滑座螺纹连接，通过转动螺杆，可实现螺杆上下移动，进而实现对滑座高度调节，提高其适用性；储油瓶内润滑油在重力作用下会充满储油槽，当润滑套移动时，储油槽内的润滑油会均匀涂在滑杠上，实现无间断润滑。实现无间断润滑。实现无间断润滑。


技术研发人员：周杰 张琪 李俊毅 符友银
受保护的技术使用者：安徽睿芯半导体科技有限公司
技术研发日：2020.12.30
技术公布日：2022/4/8