1.本发明属于光刻胶技术领域，尤其是涉及一种电子束光刻胶的制备方法。
背景技术：
2.光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。
3.光刻胶的生产过程非常复杂，现有的光刻胶生产设备工艺生产的光刻胶质量不够高
技术实现要素：
4.有鉴于此，本发明旨在提出一种电子束光刻胶的制备方法。
5.为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：
6.一种电子束光刻胶的制备方法，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。
7.进一步的，所述树脂原料为三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。
8.进一步的，所述引发剂为甲基、苯基、丙酮。
9.所述的电子束光刻胶的制备方法，其制备方法为：
10.选用千级无尘黄光房，混合搅拌设备，氮气保护设备；
11.千级无尘黄光房恒温恒湿，氮气保护设备为混合设备填充氮气，保持混合搅拌环境氮气充足；
12.将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，进行充分的搅拌混合，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；
13.搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护；
14.静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；
15.一次过滤后进行取样检测，检测是否达到质量要求，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到之来弄要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护。
16.相对于现有技术，本发明所述的修补剂具有以下优势：
17.1、本发明中将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，进行充分的搅拌混合，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静
置前在釜中填充氮气进行保护，能够充分反映，保证光刻胶的质量；
18.2、本发明中静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；一次过滤后进行取样检测，检测是否达到质量要求，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到之来弄要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护，能够全程保护光刻胶的生产，同时保证光刻胶的质量。
具体实施方式
19.下面来结合实例详细说明本发明。
20.实施例1
21.一种电子束光刻胶的制备方法，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。
22.所述的电子束光刻胶的制备方法，其制备方法为：
23.(1)选用千级无尘黄光房，混合搅拌设备，氮气保护设备；
24.(2)千级无尘黄光房恒温恒湿，氮气保护设备为混合设备填充氮气，保持混合搅拌环境氮气充足；
25.(3)将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，进行充分的搅拌混合，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；
26.(4)搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护；
27.(5)静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；
28.(6)一次过滤后进行取样检测，检测是否达到质量要求，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到之来弄要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护。
29.实施例2
30.一种电子束光刻胶的制备方法，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。
31.所述的电子束光刻胶的制备方法，其制备方法为：
32.(1)选用千级无尘黄光房，混合搅拌设备，氮气保护设备；
33.(2)千级无尘黄光房恒温恒湿，氮气保护设备为混合设备填充氮气，保持混合搅拌环境氮气充足；
34.(3)将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，进行充分的搅拌混合，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；
35.(4)搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护；
36.(5)静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；
37.(6)一次过滤后进行取样检测，检测是否达到质量要求，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到之来弄要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护。
38.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精
神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：
1.一种电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。2.根据权利要求1所述的电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，所述树脂原料为三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。3.根据权利要求1所述的电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，所述引发剂为甲基、苯基、丙酮类引发剂。4.权利要求1-3中任一项所述的电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，其制备方法为：(1)选用千级无尘黄光房，混合搅拌设备，氮气保护设备；(2)千级无尘黄光房恒温恒湿，氮气保护设备为混合设备填充氮气，保持混合搅拌环境氮气充足；(3)将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，进行充分的搅拌混合，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；(4)搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护；(5)静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；(6)一次过滤后进行取样检测，检测是否达到质量要求，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到之来弄要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护。
技术总结
本发明提供了一种电子束光刻胶的制备方法，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。本发明中将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护，能够充分反映，保证光刻胶的质量，静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；一次过滤后进行取样检测，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到质量要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护，能够全程保护光刻胶的生产。刻胶的生产。
技术研发人员：刘颂军 孙炜 冯亚楠 贾成林 吕国文 郭双环 孔星
受保护的技术使用者：沧州信联化工有限公司
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/3/22