光学滤波器、摄像装置、照相机模块及光学传感器的制作方法

本技术涉及一种光学滤波器、摄像装置、照相机模块及光学传感器。

背景技术：

1、在摄像机(video camera)、数字静态照相机(digital still camera)、带照相机功能的移动电话、智能手机(smartphone)、无人机(drone)、监视照相机、车载用传感照相机等固体摄像装置中，使用彩色图像的固体摄像元件即电荷耦合器件(charge coupleddevice，ccd)或互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor，cmos)影像传感器。这些固体摄像元件在其受光部使用对近红外线具有感度的传感器，因此需要进行视感度校正，大多使用光学滤波器(例如近红外线截止滤波器)。

2、作为此种光学滤波器，一直以来使用了通过各种方法所制造的滤波器。例如，已知有将电介质多层膜层叠于树脂的近红外线截止滤波器；利用磷酸铜盐、膦酸铜盐、磺酸铜盐等铜离子的吸收的近红外线截止滤波器等。

3、近年来，要求固体摄像装置更小型及薄型，进行视感度校正的光学滤波器也要求更薄型。

4、作为应对此种薄型的光学滤波器，例如已知有将加入了色素的树脂层作为基板的厚度0.1mm的近红外线截止滤波器(例如专利文献1)、在0.05mm的玻璃基板上形成加入了色素的树脂层及电介质多层膜的近红外线截止滤波器(例如专利文献2)、通过使混合比例最佳化而兼具薄膜与吸收特性的利用铜离子的吸收的近红外线截止滤波器(例如专利文献3、专利文献4)。

5、当在固体摄像装置中配备这些光学滤波器时，为了避免异物混入至传感器表面，传感器与光学滤波器间隔着框架以密闭状态配备。在以密闭状态配备了应对薄型的光学滤波器的固体摄像装置中，在进行固体摄像装置制造工艺所需要的加热时，由于加热所引起的气体膨胀，密闭空间的压力上升，在密闭空间内部与外部产生压力差。由于所述压力差，有时会发生光学滤波器的变形、或因与透镜接触而引起的光轴偏移、或与框架的密接不良等。另外，同样地，在为了去除异物而照射真空等离子体的工艺中，由于所述密闭状态的空间与外部真空空间的差压，也发生了光学滤波器的变形、或光学滤波器与框架的密接不良。

6、光学滤波器越薄膜化，此种制造工艺中因加热引起的变形越显著，在现有的光学滤波器中，在固体摄像装置制造工艺的温度变化或压力变化时发生了变形。

7、[现有技术文献]

8、[专利文献]

9、[专利文献1]日本专利特开2011-100084号公报

10、[专利文献2]日本专利特开2012-103340号公报

11、[专利文献3]日本专利特开2015-089855号公报

12、[专利文献4]国际公开第2019/058858号手册

技术实现思路

1、[实用新型所要解决的问题]

2、本实用新型的目的在于提供一种即使在以将光学滤波器的外周密闭的状态配备于固体摄像装置时，在固体摄像装置制造工艺的加热时变形也少的光学滤波器及使用所述光学滤波器的装置。

3、[解决问题的技术手段]

4、[1]一种光学滤波器，包含基材，且具有从其中一个面贯通到相反的一面的细孔。

5、[2]根据项[1]所述的光学滤波器，其中所述细孔的长径在从光学滤波器的正上方观察时未满36μm。

6、[3]根据项[1]或[2]所述的光学滤波器，其中在从与光学滤波器垂直的方向观察时，所述细孔的最小面积为5μm2以上，且最大面积为1000μm2以下。

7、[4]根据项[1]至[3]中任一项所述的光学滤波器，其中所述细孔位于距离光学滤波器外周缘1mm以上的内侧。

8、[5]根据项[1]至[4]中任一项所述的光学滤波器，其中所述细孔相对于光学滤波器的其中一个面的垂直方向以1°～60°的角度贯通。

9、[6]根据项[1]至[5]中任一项所述的光学滤波器，其中所述基材的厚度为0.21mm以下。

10、[7]根据项[1]至[6]中任一项所述的光学滤波器，其中光学滤波器的面积为60mm2以上。

11、[8]根据项[1]至[7]中任一项所述的光学滤波器，包含至少一层的树脂层。

12、[9]根据项[1]至[7]中任一项所述的光学滤波器，其中所述基材为树脂层。

13、[10]根据项[9]所述的光学滤波器，其中在所述基材的至少其中一个面还具有树脂层。

14、[11]根据项[1]至[10]中任一项所述的光学滤波器，还包含电介质多层膜。

15、[12]根据项[1]至[11]中任一项所述的光学滤波器，其是近红外线截止滤波器。

16、[13]根据项[1]至[11]中任一项所述的光学滤波器，其是透射可见光与一部分近红外线的双频带通滤波器(dual band pass filter)。

17、[14]一种摄像装置，包括根据项[1]至[13]中任一项所述的光学滤波器。

18、[15]一种照相机模块，包括根据项[1]至[13]中任一项所述的光学滤波器。

19、[16]一种光学传感器，包括根据项[1]至[13]中任一项所述的光学滤波器。

20、[实用新型的效果]

21、根据本实用新型，可提供一种即使在以将光学滤波器的外周密闭的状态配备于固体摄像装置时，在固体摄像装置制造工艺的加热时变形也少的光学滤波器及使用所述光学滤波器的装置。

技术特征：

1.一种光学滤波器，其特征在于，包含基材，且具有从其中一个面贯通到相反的一面的细孔，所述基材包含选自由玻璃、特殊玻璃及树脂所组成的群组中的至少一种，在从与光学滤波器垂直的方向观察时，所述细孔的最小面积为5μm2以上，且最大面积为1000μm2以下。

2.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，所述细孔的长径在从光学滤波器的正上方观察时未满36μm。

3.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，所述细孔位于距离光学滤波器外周缘1mm以上的内侧。

4.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，所述细孔相对于光学滤波器的其中一个面的垂直方向以1°～60°的角度贯通。

5.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，所述基材的厚度为0.21mm以下。

6.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，光学滤波器的面积为60mm2以上。

7.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，包含至少一层的树脂层。

8.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，所述基材为树脂层。

9.根据权利要求8所述的光学滤波器，其特征在于，在所述基材的至少其中一个面还具有树脂层。

10.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，还包含电介质多层膜。

11.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，其是近红外线截止滤波器。

12.根据权利要求1或2所述的光学滤波器，其特征在于，其是透射可见光与一部分近红外线的双频带通滤波器。

13.一种摄像装置，其特征在于，包括：如权利要求1至12中任一项所述的光学滤波器。

14.一种照相机模块，其特征在于，包括：如权利要求1至12中任一项所述的光学滤波器。

15.一种光学传感器，其特征在于，包括：如权利要求1至12中任一项所述的光学滤波器。

技术总结
本技术涉及一种光学滤波器、摄像装置、照相机模块及光学传感器。本技术提供一种即使在以将光学滤波器的外周密闭的状态配备于固体摄像装置时，在固体摄像装置制造工艺的加热时变形也少的光学滤波器及使用所述光学滤波器的装置。所述光学滤波器，包含基材，且具有从其中一个面贯通到相反的一面的细孔。所述细孔的长径优选为在从光学滤波器的正上方观察时未满36μm。

技术研发人员：岸田宽之,中瀬浩二
受保护的技术使用者：JSR株式会社
技术研发日：20210902
技术公布日：2024/3/12