干膜剥离液及其用途的制作方法

本发明是关于印刷电路板制造的，尤指应用于干膜剥离制程之中的一种干膜剥离液。

背景技术：

1、已知，印刷电路板为电子装置所不可或缺的电子构件。近年来，随着移动电子装置的普及化，用户对于移动电子装置小型化与轻量化的要求也越来越高。于是，半加成工法(semi-additive process)被开发出来，用以在有限面积的印刷电路板之上实现精细且高密度化(high density interconnect,hdi)的线路布局。

2、图1a和图1b显示利用半加成工法在一基板实现高密度化的线路布局的示意性制造流程图。如图1a之中的图(a)所示，制造流程是先于一基板1a上形成第一铜配线(copperwiring)2a。接着，如图1a之中的图(b)所示，是于该第一铜配线2a之上形成一绝缘层3a，并对该绝缘层3a执行一表面粗糙化处理。继续地，如图1a之中的图(c)所示，利用化学镀铜制程在该绝缘层3a之上形成一第一铜层4a。

3、更详细地说明，如图1b之中的图(a)所示，是利用层压制程(lamination process)于该第一铜层(即，化学镀铜层)4a之上设置一干膜(dry film)5a，其中该干膜5a是用以作为一光阻。接着，是利用光刻制程(photolithography)于该干膜5a中制作出多个沟槽6a。继续地，如图1b之中的图(b)所示，利用电镀(plating)或溅镀(sputtering)制程于各所述沟槽6a内填入一第二铜层7a。最终，如图1b之中的图(c)所示，利用干膜剥离液使剩余的干膜5a自该化学镀铜层4a剥除之后，即在该化学镀铜层4a之上形成一第二铜配线8a。

4、已知，日本专利公开号jp2002-062668a揭示了一种干膜剥离液，且日本专利公开号jp2002-289569揭示了另一种干膜剥离液。然而，实务经验指出，在使用前述两种干膜剥离液将剩余的干膜5a自该化学镀铜层4a剥除(如图1b之中的图(b)～(c)所示)之时，是出现剥离性不足的情况，导致无法完全地将所有剩余的干膜5a自该化学镀铜层4a之上清除。

5、综上所述，习知的干膜剥离液显然存在需要加以改善的空间。有鉴于此，本案的发明人是极力加以研究创作，而终于研发完成本发明的一种干膜剥离液及其用途。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种干膜剥离液，其具有优秀的干膜剥除能力，是以可被应用于完成印刷电路板制造方法之中的干膜剥离步骤。

2、为达成上述目的，本发明提出所述干膜剥离液的一第一实施例，其包括：

3、一第一化学溶液，包括：水以及溶于水中的氢氧化季铵盐，其中，所述氢氧化季铵盐的浓度介于20％至40％之间；以及

4、一第二化学溶液，包括：水以及溶于水中的一级胺、二级胺、含有一个羟基的芳香醇(aromatic alcohol)、和腐蚀抑制剂，其中，所述一级胺的浓度介于10％至30％之间，所述二级胺的浓度介于10％至30％之间，所述含有一个羟基的芳香醇的浓度介于10％至20％之间，且所述腐蚀抑制剂的浓度介于1％至10％之间；

5、其中，该第一化学溶液和该第二化学溶液具有一混合比例，且该混合比例介于1:0.8至1:4之间。

6、并且，本发明还提出所述干膜剥离液的一第二实施例，其包括：

7、水；

8、氢氧化季铵盐，以范围介于0.5％至10％之间的浓度溶于水中；

9、一级胺，以范围介于0.5％至10％之间的浓度溶于水中；

10、二级胺，以范围介于0.5％至10％之间的浓度溶于水中；

11、含有一个羟基的芳香醇(aromatic alcohol)，以范围介于0.01％至10％之间的浓度溶于水中；以及

12、腐蚀抑制剂，以范围介于0.01％至5％之间的浓度溶于水中。

13、并且，本发明同时提出一种干膜剥离液的用途，其是用于在一干膜剥离制程中将一干膜自一基板上剥除。

技术特征：

1.一种干膜剥离液，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的干膜剥离液，其特征在于，所述氢氧化季铵盐包含选自于由四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、甲基三丙基氢氧化铵、甲基三丁基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二甲基二乙基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、十六烷基三甲基氢氧化铵、和(2-羟基乙基)三甲基氢氧化铵所组成群组之中的至少一者。

3.如权利要求1所述的干膜剥离液，其特征在于，所述一级胺包含选自于由单乙醇胺、n-苄基乙醇胺、二乙醇胺、2-(2-胺基乙基胺基)乙醇、4,4'-二胺基二苯甲烷、2-(丁胺基)乙醇、2-苯胺基乙醇、三乙醇胺、乙二胺、二伸乙基三胺、三(2-胺基乙基)胺、和三[2-(二甲胺基)乙基]胺所组成群组之中的至少一者。

4.如权利要求1所述的干膜剥离液，其特征在于，所述二级胺包含选自于由二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯戊胺、n-甲基乙醇胺(mma)、和n-乙基乙醇胺(eea)所组成群组之中的至少一者。

5.如权利要求1所述的干膜剥离液，其特征在于，所述含有一个羟基的芳香醇包含选自于由苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、苯丁醇、苯氧乙醇、苯氧丙醇、苯氧丁醇、苯氧戊醇、和苯基环氧乙烷所组成群组之中的至少一者。

6.如权利要求1所述的干膜剥离液，其特征在于，所述腐蚀抑制剂包含选自于由多元醇、核糖、木糖、阿拉伯糖、山梨糖醇、木糖醇、和赤藓糖醇所组成群组之中的至少一者。

7.一种如权利要求1至权利要求6中任一项所述的干膜剥离液的用途，其特征在于，所述的干膜剥离液是用于在一干膜剥离制程中将一干膜自一基板上剥除。

8.一种干膜剥离液，其特征在于，包括：

9.如权利要求8所述的干膜剥离液，其特征在于，所述氢氧化季铵盐包含选自于由四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、甲基三丙基氢氧化铵、甲基三丁基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二甲基二乙基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、十六烷基三甲基氢氧化铵、和(2-羟基乙基)三甲基氢氧化铵所组成群组之中的至少一者。

10.如权利要求8所述的干膜剥离液，其特征在于，所述一级胺包含选自于由单乙醇胺、n-苄基乙醇胺、二乙醇胺、2-(2-胺基乙基胺基)乙醇、4,4'-二胺基二苯甲烷、2-(丁胺基)乙醇、2-苯胺基乙醇、三乙醇胺、乙二胺、二伸乙基三胺、三(2-胺基乙基)胺、和三[2-(二甲胺基)乙基]胺所组成群组之中的至少一者。

11.如权利要求8所述的干膜剥离液，其特征在于，所述二级胺包含选自于由二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯戊胺、n-甲基乙醇胺(mma)、和n-乙基乙醇胺(eea)所组成群组之中的至少一者。

12.如权利要求8所述的干膜剥离液，其特征在于，所述含有一个羟基的芳香醇包含选自于由苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、苯丁醇、苯氧乙醇、苯氧丙醇、苯氧丁醇、苯氧戊醇、和苯基环氧乙烷所组成群组之中的至少一者。

13.如权利要求8所述的干膜剥离液，其特征在于，所述腐蚀抑制剂包含选自于由多元醇、核糖、木糖、阿拉伯糖、山梨糖醇、木糖醇、和赤藓糖醇所组成群组之中的至少一者。

14.一种如权利要求8至权利要求13中任一项所述的干膜剥离液的用途，其特征在于，所述的干膜剥离液是用于在一干膜剥离制程中将一干膜自一基板上剥除。

技术总结
本发明主要揭示一种干膜剥离液及其用途，干膜剥离液组成包括：水、氢氧化季铵盐、一级胺、二级胺、含有一个羟基的芳香醇、以及腐蚀抑制剂。实务上，可将水和氢氧化季铵盐配制成一第一化学溶液，并将水和一级胺、二级胺、含有一个羟基的芳香醇及腐蚀抑制剂配制一第二化学溶液。实际应用时，则将该第一化学溶液和该第二化学溶液依据范围介于1:0.8至1:4之间的一混合比例进行混合，即可获得本发明所述的干膜剥离液。值得说明的是，于使用本发明的干膜剥离液处理表层具有一图案化干膜的一基板之后，在光学显微镜和扫描式电子显微镜之下皆可观察基板的表面没有任何干膜残留。因此，实验数据证实，本发明的干膜剥离液具有优秀的干膜剥除能力，故可应用于完成印刷电路板制造方法之中的干膜剥离步骤。

技术研发人员：魏郡萩,蔡政颖,王尊武
受保护的技术使用者：芝普企业股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15