一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构及激光扫描系统的制作方法

本发明涉及激光扫描，具体而言，涉及一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构及激光扫描系统。

背景技术：

1、激光扫描技术广泛应用于激光打印机、激光扫描仪，以及新兴的激光切割、激光焊接等领域。激光打印机应用更是广泛。

2、激光扫描系统包括电磁驱动共振的微型谐振镜。为了保证电磁驱动共振微型谐振镜激光扫描左右摆动幅度一致，不仅左右光路需要同时设置同步传感器，电磁驱动共振微型谐振镜的中心也必须和整个光学系统中心重合。

3、对于现有的激光扫描系统，往往需要外围的辅助机构来完成谐振镜的调整以使电磁驱动共振谐振镜的中心和整个光学系统中心重合，其有待改进。

技术实现思路

1、基于此，为了解决现有的激光扫描系统，往往需要外围的辅助机构来完成谐振镜的调整的问题，本发明提供了一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构及激光扫描系统，其具体技术方案如下：

2、一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，包括定位底座；谐振镜调整结构还包括第一支架、第二支架、调整螺丝、调整工具以及设置在调整工具靠近定位底座的一端的第一圆柱以及第二圆柱。

3、第一支架包括至少一个朝向定位底座的圆柱凸起以及两个长臂，长臂的末端设有朝向定位底座的平台凸起，圆柱凸起靠近定位底座的一端具有球状端头，圆柱凸起与定位底座相切，平台凸起与底座接触；

4、第二支架固定安装在第一支架上；调整螺丝穿过开设在长臂上的第一通孔且与开设在定位底座上的螺纹孔螺纹连接。

5、第一圆柱穿过开设在定位底座上的圆柱孔，第二圆柱穿过开设在长臂上的第二通孔。

6、其中，第一圆柱的长度大于第二圆柱的长度，谐振镜固定安装在第二支架上，第一支架由弹性形变材料制成。

7、所述电磁驱动共振微型谐振镜调整结构通过设置两个长臂、调整螺丝以及调整工具，并利用调整螺丝以及调整工具在多个方向轴完成谐振镜的调整，不仅可以满足谐振镜反射面中心的光学调整，由于谐振镜安装在第二支架上，其还不需要外围的辅助机构来完成谐振镜的调整。

8、进一步地，定位底座靠近第一支架的表面设有球形凹面，圆柱凸起与球形凹面相切。

9、进一步地，圆柱凸起以及球形凹面均包括三个，三个圆柱凸起以及三个球形凹面一一对应。

10、进一步地，谐振镜调整结构还包括三个定位柱，三个定位柱固定安装在第第二支架上并且三个定位柱呈直角三角形分布。

11、进一步地，第一通孔的直径大于调整螺丝的直径。

12、进一步地，第一支架与第二支架一体成型且由不锈钢材料制成。

13、一种激光扫描系统，其包括所述的谐振镜调整结构。

14、进一步地，激光扫描系统还包括激光发射单元、激光整形调制透镜以及成像透镜，激光整形调制透镜包含一个激光衍射非球面和一个柱面，电磁驱动共振微型谐振镜包括激光反射面，成像透镜包含两个自由曲面成像面，激光发射单元用于发射激光光束，激光光束以预设的入射角入射到反射面上，谐振镜用于以预设频率以及预设角度往复摆动反射面以使激光光束以不同角度射入成像透镜。

15、进一步地，两个自由曲面成像面均为笛卡尔坐标系下的泽尼克多项式，其方程式为：

16、其中，x、y、z表示坐标点，ai以及bj表示泽尼克多项式的泰勒系数，r0表示基圆半径，泽尼克多项式泰勒系数如下：a2＝-3.00537e-3,a4＝1.17340e-7,a6＝5.96590e-12,a8＝-3.12550e-16,a10＝-6.45450e-20，r0＝-11.8570，b2＝6.781400e-5，b4＝-3.718800e-9。

17、进一步地，谐振镜为电磁驱动共振微型式谐振镜。

技术特征：

1.一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，包括定位底座，其特征在于，电磁驱动共振微型谐振镜调整结构还包括：

2.如权利要求1所述的一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，其特征在于，定位底座靠近第一支架的表面设有球形凹面，圆柱凸起与球形凹面相切。

3.如权利要求2所述的一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，其特征在于，圆柱凸起以及球形凹面均包括三个，三个圆柱凸起以及三个球形凹面一一对应。

4.如权利要求1所述的一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，其特征在于，电磁驱动共振微型谐振镜调整结构还包括三个定位柱，三个定位柱固定安装在第第二支架上并且三个定位柱呈直角三角形分布。

5.如权利要求1所述的一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，其特征在于，第一通孔的直径大于调整螺丝的直径。

6.如权利要求1所述的一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构，其特征在于，第一支架与第二支架一体成型且由不锈钢材料制成。

7.一种激光扫描系统，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的电磁驱动共振微型谐振镜调整结构。

8.如权利要求7所述的一种激光扫描系统，其特征在于，激光扫描系统还包括激光发射单元、激光整形调制透镜以及成像透镜，激光整形调制透镜包含一个激光衍射非球面和一个柱面，电磁驱动共振微型谐振镜包括激光反射面，成像透镜包含两个自由曲面成像面，激光发射单元用于发射激光光束，激光光束以预设的入射角入射到反射面上，电磁驱动共振微型谐振镜用于以预设频率以及预设角度往复摆动反射面以使激光光束以不同角度射入成像透镜。

9.如权利要求8所述的一种激光扫描系统成像透镜，其特征在于，两个自由曲面成像面均为笛卡尔坐标系下的泽尼克多项式，其方程式为：

10.如权利要求9所述的一种激光扫描系统，其特征在于，谐振镜为电磁驱动共振式微型谐振镜。

技术总结
本发明提供了一种电磁驱动共振微型谐振镜调整结构及激光扫描系统，该调整结构包括：第一支架，包括圆柱凸起及长臂，长臂的末端设有平台凸起，圆柱凸起靠近定位底座的一端具有球状端头，圆柱凸起与定位底座相切，平台凸起与底座接触；第二支架，安装在第一支架上；调整螺丝，穿过开设在长臂上的第一通孔且与开设在定位底座上的螺纹孔螺纹连接；调整工具以及设置在调整工具一端的第一圆柱以及第二圆柱，第一圆柱穿过开设在定位底座上的圆柱孔，第二圆柱穿过开设在长臂上的第二通孔；其中，第一圆柱的长度大于第二圆柱的长度，第一支架由弹性形变材料制成。本发明可以满足谐振镜反射面中心的光学调整，不需要外围的辅助机构来完成谐振镜的调整。

技术研发人员：邓自然,黄宇传,陈伯鹫
受保护的技术使用者：佛山市顺德区蚬华多媒体制品有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13