批量制作光纤FAC的方法与流程

本发明涉及半导体激光器，具体地说，涉及批量制作光纤fac的方法。

背景技术：

1、半导体激光在通信、工业和医疗领域用途很广泛，其具有体积小，光电转换效率高等优点。同时，应用于半导体激光器芯片输出光束准直的透镜尺寸越来越小，对其进行加工和操作的难度也进一步提升。

2、对半导体激光器芯片快轴方向光束进行准直的透镜称为fac(fast axiscollimator)，例如一种棒形或针形的fac，其具体为一种由直径0.1mm的光纤棒经两侧光学镀膜后截断制成的直径约0.1mm、长度约1.0mm且两侧柱面通光的圆柱形透镜，这种光纤棒镜是固定在尺寸约长3.0mm、宽0.5mm、高0.5mm的支架上的，并与支架一同再与激光器芯片装配。由于光纤棒镜以及支架的尺寸很小，光纤棒镜以及支架在生产制造和相互固定时较为不便，因而成本高。

3、在中国专利cn217521382u一种埋入结构式棒镜中，申请人给出了将光纤棒埋入支架而制成光纤fac的结构设计、实现方式和有益效果；鉴于此，在本发明申请中，提出一种批量制作这种光纤fac的方法，应用本方法可以大批量、低成本地制作光纤fac，有效降低半导体激光器的总体成本。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的上述问题，本发明提供了批量制作光纤fac的方法。

2、为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：

3、批量制作光纤fac的方法，其包括以下步骤，

4、于一坯板上开设至少一个棒镜固定槽和与至少一个所述棒镜固定槽相交的至少一个通光槽孔；

5、于棒镜固定槽中固定至多一个棒镜母体；

6、划切所述坯板以形成第一支架或第二支架，于所述第一支架形成的状态下，所述棒镜母体分离形成棒镜小段，第一支架固定所述棒镜小段以形成目标光纤fac；于所述第二支架形成的状态下，第二支架固定棒镜母体以形成目标线阵fac。

7、作为优选，执行于所述第二支架形成的状态下，第二支架固定棒镜母体以形成目标线阵fac时，具体包括：

8、于坯板上相邻的两个棒镜母体之间划切分条槽，以制得多个所述目标线阵fac。

9、作为优选，执行于所述第一支架形成的状态下，所述棒镜母体分离形成棒镜小段，第一支架固定所述棒镜小段以形成目标光纤fac时，具体包括：

10、于坯板上相邻的两个棒镜母体之间或相邻的两个所述通光槽孔之间划切分条槽，制得多个所述目标线阵fac或多个光纤fac小组；

11、于目标线阵fac或所述光纤fac小组上相邻的两个通光槽孔之间或相邻的两个棒镜小段之间划切分粒槽，使得目标线阵fac或光纤fac小组分离为多个匹配有棒镜小段的第一支架以制得所述目标光纤fac；

12、其中，于相邻的两个通光槽孔之间划切所述分条槽的同时棒镜母体相应分离为棒镜小段。

13、作为优选，于分条槽或分粒槽的深度小于坯板的厚度的状态下做坯板的剪薄处理。

14、作为优选，于执行分条槽或分粒槽的深度小于坯板的厚度的状态下做坯板的剪薄处理时，具体包括：

15、提供固定盘和铣磨装置；

16、于所述固定盘固定坯板的状态下，通过所述铣磨装置对坯板的预定位置做铣磨处理以减少坯板的厚度。

17、作为优选，棒镜固定槽的深度大于棒镜母体的直径。

18、作为优选，在棒镜母体固定于棒镜固定槽前或固定于棒镜固定槽后，于棒镜母体上且与通光槽孔相对应的位置处设置消反射膜。

19、作为优选，通光槽孔的深度大于棒镜固定槽的深度；棒镜母体与棒镜固定槽之间粘接固定。

20、作为优选，棒镜固定槽开设于第一支架或第二支架的侧棱上或相应侧面的中部。

21、作为优选，于坯板上覆盖长条盖板且所述长条盖板的位置与固定有棒镜母体的棒镜固定槽相对应。

22、本发明至少具备以下有益效果：

23、1、通过本申请的制作目标光纤fac的方法，其一方面能够实现批量生产制作，另一方面通过在较大尺寸的坯板上划切以形成较小尺寸的第一支架或第二支架以及在较大尺寸的棒镜母体上划切形成较小尺寸的棒镜小段，能够进一步降低生产目标光纤fac或目标线阵fac的工艺难度，从而有效降低生产成本以及提高生产效率。

24、2、通过对大尺寸的棒镜母体进行操作，能够降低在棒镜固定槽中的固定难度，同时，在出现棒镜母体的放置位置存在偏差时，能够通过移动棒镜母体的两端，实现对多个棒镜固定槽中的棒镜母体的位置进行调节，且在生产目标光纤fac中相较于直接矫正棒镜小段的位置其操作难度更低，进而有效控制生产成本。

25、3、将棒镜母体固定于棒镜固定槽中后进行切分操作，较佳地实现经同一棒镜母体切分后形成的棒镜小段其在相应的棒镜固定槽中的固定姿态能够保持一致，从而能够提高生产的目标光纤fac的产品质量。

26、4、通过按照不同的工艺顺序，既可以制作出单独的目标光纤fac，也可以制作出线阵的目标线阵fac，从而满足不同的使用需求。

27、5、通过分条槽或分粒槽以及盖板的设置，能够较佳地实现在一坯板上同时制作出不同构造的目标光纤fac或目标线阵fac。

技术特征：

1.批量制作光纤fac的方法，其特征在于：包括以下步骤，

2.根据权利要求1所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：执行于所述第二支架形成的状态下，第二支架固定棒镜母体以形成目标线阵fac时，具体包括：

3.根据权利要求1所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：执行于所述第一支架形成的状态下，所述棒镜母体分离形成棒镜小段，第一支架固定所述棒镜小段以形成目标光纤fac时，具体包括：

4.根据权利要求2或3所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：于分条槽或分粒槽的深度小于坯板的厚度的状态下做坯板的剪薄处理。

5.根据权利要求4所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：于执行分条槽或分粒槽的深度小于坯板的厚度的状态下做坯板的剪薄处理时，具体包括：

6.根据权利要求1所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：棒镜固定槽的深度大于棒镜母体的直径。

7.根据权利要求4所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：在棒镜母体固定于棒镜固定槽前或固定于棒镜固定槽后，于棒镜母体上且与通光槽孔相对应的位置处设置消反射膜。

8.根据权利要求1所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：通光槽孔的深度大于棒镜固定槽的深度；棒镜母体与棒镜固定槽之间粘接固定。

9.根据权利要求2或3所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：棒镜固定槽开设于第一支架或第二支架的侧棱上或相应侧面的中部。

10.根据权利要求9所述的批量制作光纤fac的方法，其特征在于：于坯板上覆盖长条盖板且所述长条盖板的位置与固定有棒镜母体的棒镜固定槽相对应。

技术总结
本发明涉及半导体激光器技术领域，具体地说，涉及批量制作光纤FAC的方法，包括以下步骤：于一坯板上开设至少一个棒镜固定槽和与至少一个所述棒镜固定槽相交的至少一个通光槽孔；于棒镜固定槽中固定至多一个棒镜母体；划切所述坯板以形成第一支架或第二支架，于所述第一支架形成的状态下，所述棒镜母体分离形成棒镜小段，第一支架固定所述棒镜小段以形成目标光纤FAC；于所述第二支架形成的状态下，第二支架固定棒镜母体以形成目标线阵FAC；本申请的方法，一方面能够实现批量生产制作，另一方面能够进一步降低生产目标光纤FAC或目标线阵FAC的工艺难度，从而有效降低生产成本以及提高生产效率。

技术研发人员：王龙祥,杨树柏,周海青
受保护的技术使用者：上海毫米星光光学有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11