一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件的制作方法

本发明涉及散热，具体为一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件。

背景技术：

1、在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。国外早在多年前就已提出下一代光刻的概念，并对极紫外线光刻、电子束投影光刻、离子束投影光刻等技术进行了大量的研究，但由于工艺、生产效率、成本等诸多原因，这些技术目前仍然难以完全实用化。目前占市场主导地位的仍然是深紫外线投影光刻设备。

2、在使用光刻机的时候，由于光刻机发射出来的光需要经过膜片穿孔进行缩小，那么由于光源的温度较高，此时膜片表面的温度过高，当膜片表面的温度持续时间过长的时候，此时膜片容易损害，提高了使用光刻机使用的成本。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，解决了背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，包括支撑板，所述支撑板表面开设有第一滑槽，所述第一滑槽内部滑动设置有第一滑块，且第一滑块表面水平焊接设置有卡块，所述卡块内嵌设置有膜片；

3、所述支撑板背面固定设置有驱动电机，所述驱动电机末端连接设置有传动组件，且所述传动组件用于对驱动电机所提供的旋转运动进行传递转换；

4、所述支撑板表面固定设置有散热箱，且散热箱设置有散热组件，所述散热组件用于接收驱动电机运动并进行散热作业。

5、作为本发明的一种优选实施方式，所述传动组件包括凸轮转盘，且凸轮转盘中心轴与驱动电机输出轴焊接连接，且凸轮转盘的远端表面固定设置有凸起，所述凸起表面套接设置有环形连接圈，且环形连接圈与凸起表面尺寸适配，且环形连接圈长度大于凸轮转盘长度。

6、作为本发明的一种优选实施方式，所述环形连接圈侧壁固定设置有连接杆，所述连接杆有一对，且沿着环形连接圈中心呈对称分布，且位于下方的连接杆末端固定设置有支架，且支架末端焊接设置在第一滑块表面，且支架上表面处于水平状态。

7、作为本发明的一种优选实施方式，所述支架中心位置内嵌设置有第二滑块，且第二滑块末端活动设置在第二滑槽内部，且第二滑槽开设在支撑板侧壁。

8、作为本发明的一种优选实施方式，位于上方所述连接杆表面固定设置有一对第一齿条，且一对第一齿条竖直设置，且第一齿条表面啮合设置有第一传动齿轮，所述第一传动齿轮同轴固定设置有第二传动齿轮，且第一传动齿轮远远小于第二传动齿轮，所述第二传动齿轮表面啮合设置有第二齿条，且第二齿条活动插接设置在散热箱内部。

9、作为本发明的一种优选实施方式，所述第二齿条表面开设有导轨，且导轨与散热箱侧壁滑动连接，且第一传动齿轮和第二传动齿轮的齿轮轴活动设置在第二限位座内部，且第二限位座焊接设置在支撑板侧壁，且第二限位座插接位于上方的连接杆，且位于下方的连接杆插接设置在第一限位座，所述第一限位座焊接设置在支撑板侧壁。

10、作为本发明的一种优选实施方式，所述散热组件包括扇叶，所述扇叶中心固定设置有传动轴，且传动轴末端固定设置有驱动齿轮，所述驱动齿轮表面啮合设置有第三齿条，且第三齿条末端固定设置有第二齿条，且第三齿条和第二齿条齿向不同，所述第三齿条表面插接设置有限位杆，所述传动轴表面活动设置有横板，所述限位杆和横板固定设置在散热箱侧壁。

11、作为本发明的一种优选实施方式，所述散热箱下表面设置有一对出风口，且散热箱上方开设有通孔，且通孔对应设置在膜片上方，所述散热箱侧壁开设有一对散热孔，且散热孔内部设置有过滤网，且散热箱内部固定设置有隔板。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

13、本发明一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，通过设置有传动组件和散热组件的相互配合运动，其中传动组件可以带动膜片上下移动，且传动组件带动带动散热组件运动，进而通过散热组件用于对膜片进行散热，从而减少了膜片表面高温从而造成膜片损害的情况发生，影响光刻机的正常使用。

技术特征：

1.一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：包括支撑板（1），所述支撑板（1）表面开设有第一滑槽（2），所述第一滑槽（2）内部滑动设置有第一滑块（3），且第一滑块（3）表面水平焊接设置有卡块（4），所述卡块（4）内嵌设置有膜片（5）；

2.根据权利要求1所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：所述传动组件包括凸轮转盘（13），且凸轮转盘（13）中心轴与驱动电机（32）输出轴焊接连接，且凸轮转盘（13）的远端表面固定设置有凸起（14），所述凸起（14）表面套接设置有环形连接圈（15），且环形连接圈（15）与凸起（14）表面尺寸适配，且环形连接圈（15）长度大于凸轮转盘（13）长度。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：所述环形连接圈（15）侧壁固定设置有连接杆（16），所述连接杆（16）有一对，且沿着环形连接圈（15）中心呈对称分布，且位于下方的连接杆（16）末端固定设置有支架（7），且支架（7）末端焊接设置在第一滑块（3）表面，且支架（7）上表面处于水平状态。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：所述支架（7）中心位置内嵌设置有第二滑块（6），且第二滑块（6）末端活动设置在第二滑槽（8）内部，且第二滑槽（8）开设在支撑板（1）侧壁。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：位于上方所述连接杆（16）表面固定设置有一对第一齿条（18），且一对第一齿条（18）竖直设置，且第一齿条（18）表面啮合设置有第一传动齿轮（20），所述第一传动齿轮（20）同轴固定设置有第二传动齿轮（21），且第一传动齿轮（20）远远小于第二传动齿轮（21），所述第二传动齿轮（21）表面啮合设置有第二齿条（23），且第二齿条（23）活动插接设置在散热箱（9）内部。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：所述第二齿条（23）表面开设有导轨（24），且导轨（24）与散热箱（9）侧壁滑动连接，且第一传动齿轮（20）和第二传动齿轮（21）的齿轮轴（22）活动设置在第二限位座（19）内部，且第二限位座（19）焊接设置在支撑板（1）侧壁，且第二限位座（19）插接位于上方的连接杆（16），且位于下方的连接杆（16）插接设置在第一限位座（17），所述第一限位座（17）焊接设置在支撑板（1）侧壁。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：所述散热组件包括扇叶（31），所述扇叶（31）中心固定设置有传动轴（30），且传动轴（30）末端固定设置有驱动齿轮（28），所述驱动齿轮（28）表面啮合设置有第三齿条（25），且第三齿条（25）末端固定设置有第二齿条（23），且第三齿条（25）和第二齿条（23）齿向不同，所述第三齿条（25）表面插接设置有限位杆（26），所述传动轴（30）表面活动设置有横板（29），所述限位杆（26）和横板（29）固定设置在散热箱（9）侧壁。

8.根据权利要求7所述的一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，其特征在于：所述散热箱（9）下表面设置有一对出风口（12），且散热箱（9）上方开设有通孔（10），且通孔（10）对应设置在膜片（5）上方，所述散热箱（9）侧壁开设有一对散热孔（11），且散热孔（11）内部设置有过滤网（27），且散热箱（9）内部固定设置有隔板（33）。

技术总结
本发明涉及一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，包括支撑板，支撑板表面开设有第一滑槽，第一滑槽内部滑动设置有第一滑块，且第一滑块表面水平焊接设置有卡块，卡块内嵌设置有膜片，支撑板背面固定设置有驱动电机，驱动电机末端连接设置有传动组件，且传动组件用于对驱动电机所提供的旋转运动进行传递转换，支撑板表面固定设置有散热箱，且散热箱设置有散热组件，散热组件用于接收驱动电机运动并进行散热作业。本发明通过设置有传动组件和散热组件的相互配合运动，其中传动组件可以带动膜片上下移动，进而通过散热组件用于对膜片进行散热，从而减少了膜片表面高温从而造成膜片损害的情况发生，影响光刻机的正常使用，适合广泛推广。

技术研发人员：李四明,刘思成,刘鹏
受保护的技术使用者：南京云创大数据科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13