供应管路和刻蚀设备的制作方法

本技术属于显示，具体涉及一种供应管路和刻蚀设备。

背景技术：

1、oled面板由于其功耗低，对比度好，分辨率高，响应速度快和可弯曲的优良特性，在日常生活中得到广泛的应用。因此，在oled面板生产加工技术领域，提高面板发光的均一性和面板的分辨率具有重要的产业价值。阳极湿法刻蚀属于oled面板生产加工中的重要一环，其原理是利用合适的化学药液与阳极发生化学反应，将未被光刻胶保护的阳极区域溶解刻蚀，最终得到一定规律排列的阳极图案。

2、湿法刻蚀按照设备种类划分可以分为两类，一类是利用浸泡方式进行刻蚀的槽式刻蚀，另一类是通过喷嘴喷洒进行刻蚀的喷淋刻蚀。而在实际oled面板生产加工技术领域，阳极湿法刻蚀常采用喷淋的方式进行刻蚀，供液管路中的管路采用不同点位并连的方式向喷嘴提供药液，药液供应的均匀性影响刻蚀的均一性。在湿法刻蚀过程中，供液管路的喷嘴喷洒出的药液不均匀，导致刻蚀不均匀，影响刻蚀效果。

技术实现思路

1、本实用新型实施例的目的是提供一种供应管路和刻蚀设备，用以解决在湿法刻蚀过程中供液管路的药液供应不均匀，导致刻蚀不均匀的问题。

2、第一方面，本实用新型实施例提供了一种供应管路，包括：

3、主管路，所述主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向间隔分布；

4、多个支管，每个所述支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向间隔分布，多个所述第二出口沿所述支管的长度方向间隔分布；

5、多个第一连接管，所述支管上的每个所述第二进口分别通过一个所述第一连接管与对应的所述第一出口连通。

6、可选地，同一个所述支管上连接的第一连接管与同一个所述第一出口连通。

7、可选地，所述支管上位于相邻所述第二进口之间的区域设有所述第二出口。可选地，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布；和/或

8、多个所述第二出口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布。

9、可选地，所述第一连接管的数量为n，第i个第一连接管的长度为li，第i个第一连接管的内径为di，第j个第一连接管的长度为lj，第j个第一连接管的内径为dj，li与lj的比值等于di与dj的比值，其中，i,j＝1,2,3,...,n。

10、可选地，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

11、可选地，所述主管路上具有多个所述第一进口，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向间隔分布。

12、可选地，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

13、可选地，所述主管路上位于相邻所述第一进口之间的区域设有所述第一出口。

14、可选地，所述供应管路还包括：

15、多个第二连接管，每个所述第二连接管的一端分别和一个所述第一进口连通。

16、可选地，所述第二连接管的数量为m，第a个第二连接管的长度为la，第a个第二连接管的内径为da，第b个第二连接管的长度为lb，第b个第二连接管的内径为db，la与lb的比值等于da与db的比值，其中，a,b＝1,2,3,...,m。

17、可选地，所述供应管路还包括：

18、连接头，所述连接头上具有连接口，所述连接口与所述第二连接管的另一端连通。

19、可选地，所述供应管路还包括：

20、流出管，每个所述第二出口分别与对应的一个所述流出管连通。

21、可选地，多个所述支管的材质相同；和/或

22、多个所述第一连接管的材质相同。

23、第二方面，本实用新型实施例提供了一种刻蚀设备，包括：

24、上述实施例中所述的供应管路。

25、在本实用新型实施例的供应管路中，所述主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向间隔分布，每个所述支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向间隔分布，多个所述第二出口沿所述支管的长度方向间隔分布，所述支管上的每个所述第二进口分别通过一个所述第一连接管与对应的所述第一出口连通。在供应管路中，每个所述支管上具有多个第二进口，所述支管上的每个所述第二进口分别通过一个所述第一连接管与对应的所述第一出口连通，主管路中的液体通过多个第二进口进入支管中，支管中不同位置的压力相近，减少支管中不同部位的压力差别，支管上多个所述第二出口位置的液体压力相近，从多个所述第二出口流出的液体压力相近，可以使从支管的第二出口流出的液体流量更均匀。在湿法刻蚀过程中，通过本实用新型中的供液管路来供应刻蚀液可以使刻蚀液供应均匀，使刻蚀更均匀，提高刻蚀效果。

技术特征：

1.一种供应管路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，同一个所述支管上连接的第一连接管与同一个所述第一出口连通。

3.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布；和/或

5.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，所述第一连接管的数量为n，第i个第一连接管的长度为li，第i个第一连接管的内径为di，第j个第一连接管的长度为lj，第j个第一连接管的内径为dj，li与lj的比值等于di与dj的比值，其中，i,j＝1,2,3,...,n。

6.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

7.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，所述主管路上具有多个所述第一进口，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向间隔分布。

8.根据权利要求7所述的供应管路，其特征在于，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

9.根据权利要求7所述的供应管路，其特征在于，所述主管路上位于相邻所述第一进口之间的区域设有所述第一出口。

10.根据权利要求7所述的供应管路，其特征在于，还包括：

11.根据权利要求10所述的供应管路，其特征在于，所述第二连接管的数量为m，第a个第二连接管的长度为la，第a个第二连接管的内径为da，第b个第二连接管的长度为lb，第b个第二连接管的内径为db，la与lb的比值等于da与db的比值，其中，a,b＝1,2,3,...,m。

12.根据权利要求10所述的供应管路，其特征在于，还包括：

13.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，还包括：

14.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，多个所述支管的材质相同；和/或

15.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：

技术总结
本技术公开了一种供应管路和刻蚀设备，供应管路包括：主管路，主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个第一出口沿主管路的长度方向间隔分布；多个支管，每个支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个第二进口沿支管的长度方向间隔分布，多个第二出口沿支管的长度方向间隔分布；多个第一连接管，支管上的每个第二进口分别通过一个第一连接管与对应的第一出口连通。在供应管路中，主管路中的液体通过多个第二进口进入支管中，支管中不同位置的压力相近，从多个第二出口流出的液体压力相近，可以使从支管的第二出口流出的液体更均匀。在刻蚀过程中，通过该供液管路供应刻蚀液可以使刻蚀液供应均匀，使刻蚀更均匀，提高刻蚀效果。

技术研发人员：李淳东,刘杰,邹威,胡永红,陈税,石云天,张灿,程婉君
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：20221209
技术公布日：2024/1/13