一种掩模版上金属引导器的去除装置的制作方法

本技术涉及光刻，特别是一种掩模版上金属引导器的去除装置。

背景技术：

1、掩模版为一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板，一般情况下载板为透明玻璃。金属引导器通常为一对金属片，通过胶水贴附于掩模版镜面某一位置，在掩模版的使用中起到定位导向作用。

2、现有技术中，金属引导器和掩模版拆卸时通常人工操作涂抹解胶剂溶解固化胶或者是使用工具人力撬掉金属引导器，常规操作方式具有如下缺点：

3、1、效率较低，因胶水固化程度不同无法确定完成时间；

4、2、手工操作很大几率会对产品造成一定损伤甚至导致产品报废；

5、3、残留胶难去除；

6、4、效果不稳定，因不同厂商使用的胶水种类不尽相同解胶剂的效果有时并不好。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提出一种掩模版上金属引导器的去除装置。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种掩模版上金属引导器的去除装置，包括

4、设备主机，所述设备主机包括加载运动装置和加热柱组件；

5、固定组件，所述固定组件包括底座和盖板，所述固定组件通过底座连接加载运动装置，所述盖板可拆卸的安装在所述底座上，所述底座和所述盖板配合用于夹持掩模版，所述底座和所述盖板对应金属引导器位置均具有避位区；

6、所述加载运动装置能够驱动所述固定组件上下运动，所述加热柱组件设置在对应避位区处，所述加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体，所述加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。

7、优选地，所述底座为板体，所述底座的顶面四周具有凸起的边框，所述边框之间围合的区域为与掩模版外延形状以及大小匹配的放置区。

8、优选地，所述底座的顶面和/或所述盖板的底面均安装有支撑所述掩模版的顶脚。

9、优选地，所述顶脚与掩模版接触一侧表面为光滑的平面。

10、优选地，所述顶脚的顶面与边框顶面支架的高度差不小于掩模版的厚度。

11、优选地，所述边框的顶面开设有若干第一螺孔，所述盖板上开设有与第一螺孔位置对应的第二螺孔，且所述第二螺孔为通孔，所述底座和所述盖板通过螺钉穿过第一螺孔旋钮于第二螺孔的方式连接。

12、优选地，所述边框的顶壁与侧壁之间的连接处具有倒角结构。

13、优选地，所述加热柱组件还包括：

14、柱体，所述柱体顶面开设安装槽；

15、弹性复位件，所述弹性复位件安装在安装槽的槽底；

16、滑动块，所述滑动块滑动安装在安装槽的开口处且不能从安装槽内脱出；

17、其中，所述加热强磁体与滑动块固定连接。

18、使用本实用新型的有益效果是：

19、使用时，将掩模版加载在固定组件中，通过加载运动装置驱动固定组件下移，直至金属引导器接触加热强磁体，加热强磁体加热金属引导器，间接将热量传递到胶水，使得掩模版和金属引导器之间的胶水熔化，并失效，即可完成掩模版和金属引导器之间分离。

20、基于此前述可知，本实用新型具有以下效果：

21、(1)通过加热的方式，胶水熔化后，使得胶水易于去除；

22、(2)加热过程可控，可提高金属引导器的拆卸效率，且拆卸效果稳定；

23、(3)无须对金属引导器进行撬除，不会损伤掩模版。

技术特征：

1.一种掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述底座为板体，所述底座的顶面四周具有凸起的边框，所述边框之间围合的区域为与掩模版外延形状以及大小匹配的放置区。

3.根据权利要求2所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述底座的顶面和/或所述盖板的底面均安装有支撑所述掩模版的顶脚。

4.根据权利要求3所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述顶脚与掩模版接触一侧表面为光滑的平面。

5.根据权利要求3所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述顶脚的顶面与边框顶面支架的高度差不小于掩模版的厚度。

6.根据权利要求2所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述边框的顶面开设有若干第一螺孔，所述盖板上开设有与第一螺孔位置对应的第二螺孔，且所述第二螺孔为通孔，所述底座和所述盖板通过螺钉穿过第一螺孔旋钮于第二螺孔的方式连接。

7.根据权利要求2所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述边框的顶壁与侧壁之间的连接处具有倒角结构。

8.根据权利要求1-7任一项所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述加热柱组件还包括：

技术总结
一种掩模版上金属引导器的去除装置，包括设备主机和固定组件，设备主机包括加载运动装置和加热柱组件，固定组件包括底座和盖板，固定组件通过底座连接加载运动装置，盖板可拆卸的安装在底座上，底座和盖板配合用于夹持掩模版，底座和盖板对应金属引导器位置均具有避位区，加载运动装置能够驱动固定组件上下运动，加热柱组件设置在对应避位区处，加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体，加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。基于本技术，通过加热的方式，胶水熔化后，使得胶水易于去除，加热过程可控，可提高金属引导器的拆卸效率，且拆卸效果稳定，无须对金属引导器进行撬除，不会损伤掩模版。

技术研发人员：郭成恩,谢超
受保护的技术使用者：深圳市龙图光罩股份有限公司
技术研发日：20221219
技术公布日：2024/1/12