致动器的制作方法

本发明涉及一种用于使光学要素振动的致动器。

背景技术：

1、以往，已知有用于使透射投射光的玻璃板(光学玻璃)振动的像素偏移装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的像素偏移装置装设于投影仪。该像素偏移装置具备固定玻璃板的玻璃框架和可转动地保持玻璃框架的基座。玻璃框架和基座形成为四边形的框状。玻璃板配置在玻璃框架的内周侧。玻璃框架配置在基座的内周侧。

2、在专利文献1所记载的像素偏移装置中，在玻璃框架与基座之间配置有成为玻璃框架相对于基座转动的支点的轴承及芯轴。芯轴以在呈四边形框状的玻璃框架的一个对角线上向玻璃框架的外周侧突出的方式固定于玻璃框架。轴承在呈四边形框状的基座的一个对角线上的角部固定在基座上。轴承是形成为圆筒状的滑动轴承。芯轴插入到轴承的内周侧。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2019-215466号公报

技术实现思路

1、在专利文献1所记载的像素偏移装置中，玻璃框架与玻璃板一起以比较高的频率连续地振动。例如，在该像素偏移装置中，玻璃框架以60hz连续振动。因此，在该像素偏移装置中，优选提高成为玻璃框架相对于基座转动的支点的支点部的耐久性。

2、因此，本发明的课题在于提供一种用于使光学要素振动的致动器，即使在光学要素以比较高的频率连续振动的情况下，也能够提高作为保持光学要素的可动体的转动支点的支点部的耐久性。

3、为了解决上述课题，本发明的致动器的特征在于，具备：可动体，其保持光学要素；固定体，其形成为在内周侧配置有可动体的框状，并且将可动体保持为能够转动；磁驱动机构，其使可动体在可动体相对于固定体倾斜的方向上转动；以及支点部，其成为可动体相对于固定体转动的支点，支点部具备：陶瓷制的球体；球体保持部件，其安装于可动体和固定体中的任意一方，并且用于保持球体；以及球体支撑部件，其形成有以规定的接触压力与球体的一部分接触的凹曲面状的接触面，并且安装于可动体和固定体中的任意另一方，球体保持部件形成为有底的筒状，该有底的筒状具有形成为筒状的筒部和与筒部的一端连接的底部，球体配置于筒部的内周侧，在底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于使配置于筒部的内周侧的球体的一部分配置于球体保持部件的外部，接触面与配置于球体保持部件的外部的球体的一部分接触。

4、在本发明的致动器中，支点部具备陶瓷制的球体。因此，在本发明中，即使在光学要素以比较高的频率连续振动的情况下，也能够提高支点部的耐久性。另外，在本发明中，用于保持球体的球体保持部件形成为有底的筒状，该有底的筒状具有将球体配置在内周侧的筒部和与筒部的一端连接的底部，在底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于将配置在筒部的内周侧的球体的一部分配置在球体保持部件的外部。因此，在本发明中，即使球体由陶瓷形成，另外，即使球体的外径变小，也能够使用球体保持部件将一部分在球体保持部件的外部与球体支撑部件的接触面接触的球体容易地安装在可动体或固定体上。

5、在本发明中，例如，光学要素形成为平板状，支点部配置在与光学要素的厚度方向正交的第一正交方向上的可动体的两端侧。

6、在本发明中，例如，球体保持部件安装于可动体，球体支撑部件安装于固定体，在可动体上形成有朝向第一正交方向的两侧突出并且插入筒部的突起部，在突起部的前端面上形成有配置球体的一部分的凹部，接触面从第一正交方向的外侧与球体的一部分接触。在该情况下，由于在突起部的前端面形成有配置球体的一部分的凹部，因此能够使安装在可动体上的球体的状态稳定。

7、在本发明中，优选球体支撑部件是形成为u形状的板簧，从光学要素的厚度方向观察时的板簧的形状为u形状。若这样构成，则与从与光学要素的厚度方向和第一正交方向正交的方向观察时的板簧的形状为u形状的情况相比，能够在光学要素的厚度方向上使板簧小型化。因此，能够在光学要素的厚度方向上使致动器小型化。

8、在本发明中，也可以是，致动器具备板簧，该板簧具有分别配置在第一正交方向上的可动体的两端侧的球体支撑部件和连接两个球体支撑部件的平板状的连接部，连接部形成为框状，并且固定在可动体或固定体的光学要素的厚度方向上的一侧的面上。

9、在这种情况下，由于两个球体支撑部件通过连接部而一体化，因而与设置有分体形成的两个球体支撑部件的情况相比，能够削减致动器的部件数量。另外，在这种情况下，由于通过将连接部固定在可动体或固定体上而将两个球体支撑部件安装在可动体或固定体上，因此与将分体形成的两个球体支撑部件分别固定在可动体或固定体上的情况相比，能够削减致动器的组装工时。

10、而且，在这种情况下，通过将框状的连接部固定于可动体或固定体，两个球体支撑部件安装于可动体或固定体，因此，能够确保连接部相对于可动体或固定体的固定面积，能够提高球体支撑部件相对于可动体或固定体的安装强度。另外，在这种情况下，两个球体支撑部件通过连接部而一体化，两个球体支撑部件的相对位置的偏差由板簧的部件精度决定，因此，与分体形成的两个球体支撑部件分别固定在可动体或固定体上的情况相比，能够抑制两个球体支撑部件的相对位置的偏差。

11、在本发明中，优选在球体支撑部件上形成有加强用的肋。若这样构成，则即使球体支撑部件的厚度变薄，也能够确保球体支撑部件的强度。

12、如上所述，在本发明中，在用于使光学要素振动的致动器中，即使在光学要素以比较高的频率连续地振动的情况下，也能够提高作为保持光学要素的可动体的转动支点的支点部的耐久性。

技术特征：

1.一种致动器，其特征在于，具备：可动体，该可动体保持光学要素；固定体，该固定体形成为在内周侧配置有所述可动体的框状，并且将所述可动体保持为能够转动；磁驱动机构，该磁驱动机构使所述可动体在所述可动体相对于所述固定体倾斜的方向上转动；以及支点部，该支点部成为所述可动体相对于所述固定体的转动的支点，

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的致动器，其特征在于，

4.根据权利要求2或3所述的致动器，其特征在于，

5.根据权利要求2或3所述的致动器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的致动器，其特征在于，

技术总结
一种用于使光学要素振动的致动器，即使在光学要素以比较高的频率连续地振动的情况下，也能够提高作为保持光学要素的可动体的转动支点的支点部的耐久性。在致动器(1)中，作为可动体(3)相对于固定体(4)转动的支点的支点部(6)具备陶瓷制的球体(11)、安装在可动体上并用于保持球体的球体保持部件(12)、以及安装在固定体上的球体支撑部件(13)。球体配置在形成为有底筒状的球体保持部件的筒部的内周侧，在球体保持部件的底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于使配置在筒部的内周侧的球体的一部分配置在球体保持部件的外部。形成在球体支撑部件上的凹曲面状的接触面以规定的接触压力与配置在球体保持部件外部的球体的一部分接触。

技术研发人员：新井努,须江猛
受保护的技术使用者：日本电产三协株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14