一种压电MEMS反射镜的制作方法

本说明书一个或多个实施例涉及半导体设备领域，尤其涉及一种压电mems反射镜。

背景技术：

1、mems反射镜可以用于光学扫描仪、hud抬头显示、激光雷达等需要对光路进行控制的应用中。传统的静电驱动的mems反射镜采用梳齿状结构实现机电转换，一部分梳齿结构为固定梳齿，另一部分梳齿结构为可动梳齿，固定梳齿和可动梳齿之间有极小的间隙，通过在固定梳齿和可动梳齿之间施加电激励，使反射镜发生角度偏转。

2、目前，静电驱动的驱动力与固定梳齿和可动梳齿的重叠面积有关，当可动梳齿随反射镜发生偏转后，固定梳齿和可动梳齿的重叠面积会减小，导致驱动力减小。因此，受的驱动结构的限制，静电驱动的mems反射镜无法提供大角度的偏转。

3、综上所述，本申请现提出mems芯片封装结构解决上述出现的问题。

技术实现思路

1、本发明旨在解决背景技术中提出的问题，本说明书一个或多个实施例的目的在于提出压电mems反射镜，反射镜结构灵活，偏转角度大。

2、基于上述目的，本说明书一个或多个实施例提供了压电mems反射镜，包括：基底，所述基底具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；反射镜镜片，所述反射镜镜片位于所述腔体内部；与反射镜镜片连接的二级放大结构；与二级放大结构连接的一级放大结构。

3、根据本发明实施例提出的压电mems反射镜，采用一级放大结构与二级放大结构相配合的方式，对反射镜进行驱动，结构灵活，可以驱动反射镜进行大角度的偏转。

4、根据本发明所述的压电mems反射镜，所述一级放大结构包括：第一压电驱动结构和第二压电驱动结构，所述第一压电驱动结构和第二压电驱动结构设置在所述腔体同侧的内壁，且第一压电驱动结构和第二压电驱动结构位于反射镜镜片同侧位置，所述第一压电驱动结构和第二压电驱动结构通过第一连接杆连接。

5、根据本发明所述的压电mems反射镜，所述二级放大机构包括：柔性连接杆，所述柔性连接杆的一端与反射镜镜片连接，所述柔性连接杆的侧壁与第一连接杆连接。

6、根据本发明所述的压电mems反射镜，所述柔性连接杆与第一连接杆在x-y平面垂直设置。

7、根据本发明所述的压电mems反射镜，所述柔性连接杆的另一端与基底连接。

8、根据本发明所述的压电mems反射镜，所述柔性连接杆中位于基底与第一连接杆的一段设置柔性结构。

9、下面根据本发明的实施例及附图来详细描述本发明的有益效果。

技术特征：

1.一种压电mems反射镜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压电mems反射镜，其特征在于，所述一级放大结构包括：

3.根据权利要求2所述的压电mems反射镜，其特征在于，所述二级放大机构包括：

4.根据权利要求3所述的压电mems反射镜，其特征在于，所述柔性连接杆(5)与第一连接杆(4a)在x-y平面垂直设置。

5.根据权利要求3所述的压电mems反射镜，其特征在于，所述柔性连接杆(5)的另一端与基底(1)连接。

6.根据权利要求5所述的压电mems反射镜，其特征在于，所述柔性连接杆(5)中位于基底(1)与第一连接杆(4a)的一段设置柔性结构(6)。

技术总结
本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种压电MEMS反射镜，包括：基底，所述基底具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；反射镜镜片，所述反射镜镜片位于所述腔体内部；与反射镜镜片连接的二级放大结构；与二级放大结构连接的一级放大结构。根据本发明实施例提出的压电MEMS反射镜，采用一级放大结构与二级放大结构相配合的方式，对反射镜进行驱动，结构灵活，可以驱动反射镜进行大角度的偏转。

技术研发人员：刘东旭,徐涛
受保护的技术使用者：合肥领航微系统集成有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13