一种曝光平台及LDI曝光装置的制作方法

本发明属于半导体设备，具体涉及一种曝光平台及ldi曝光装置。

背景技术：

1、目前业内激光直接成像的ldi曝光设备，做pcb印制线路板内层板时，因内层板无对位靶点的特点，并且需要实现两面(a面图形、b面图形)的曝光图形互套对准精度，一般设计在其设备曝光台面或平台上有多组烧对位点的激光装置，在内层板上曝光制作a面图形的同时，在背面用烧对位点的激光装置在内层板b面的感光干膜或湿膜上烧制多组对位点，然后在a面图形制作好后，翻转内层板曝光制作b面图形时，通过先抓取烧制的多组对位点来计算图形的起始曝光位置、旋转角度、平移误差来曝光b面的图形，使得b面图形与a面图形能够精确的实现图形套准。

2、但现有ldi曝光设备中烧对位点的激光装置位置是固定的，不能调节，由于不同批次线路板的板边尺寸一般是不相同的，有些板边比较大，有些板边比较小，当板边较小时进行激光烧点就容易使烧的对位点刚好位于线路板的单元板内，导致单元板处的干膜被烧穿而影响后期曝光后的蚀刻，降低了良品率。

技术实现思路

1、本发明目的在于为克服现有的技术缺陷，提供一种曝光平台及ldi曝光装置，通过调节机构和顶边对位条的配合，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内。

2、第一方面，为了解决上述技术问题，本发明提供了一种曝光平台，包括用于放置线路板且为方形的台面板，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。

3、进一步的，在设有顶边对位条的至少两相邻边的板边上均设有若干所述第一激光器，以对放置在台面板上的线路板的两相邻边均进行烧点。

4、进一步的，两相邻边上设置的第一激光器数量不相同。

5、进一步的，两相邻边上设置的第一激光器数量相同，但两相邻边上设置的第一激光器的间隔距离不相同。

6、进一步的，所述顶边对位条通过至少一组导轨和滑块滑动设于所述台面板的板边表面处，所述导轨固定于所述台面板的表面，所述滑块嵌设于所述顶边对位条的底面，且所述滑块滑动设于所述导轨上。

7、进一步的，所述调节机构包括固定于所述台面板侧边的支撑座以及转动设于支撑座上的调节旋钮，所述调节旋钮的一端与所述顶边对位条螺纹连接。

8、第二方面，本发明还提供了一种ldi曝光装置，包括如第一方面任一项所述的曝光平台。

9、进一步的，所述的ldi曝光装置还包括底座、设于底座上的直线导轨以及与直线导轨配套的直线电机，所述曝光平台通过固定柱固定于所述直线电机上，以使所述曝光平台在直线电机的驱动下沿所述直线导轨移动。

10、进一步的，所述的ldi曝光装置还包括若干通过固定支架设于所述直线导轨上方的第二激光器和曝光镜头，所述第二激光器和曝光镜头的数量相同并一一对应，且相对应的所述第二激光器和曝光镜头之间设有用于将第二激光器发出的激光传导至曝光镜头中的光纤；所述曝光镜头朝下设置，且所述曝光镜头的高度高于所述曝光平台的高度，以使所述曝光平台沿直线导轨移动时穿过所述第二激光器的下方。

11、进一步的，所述固定支架包括沿直线导轨的延伸方向前后间隔设置的第一支架和第二支架，所述第一支架和第二支架均为倒置的u字状支架，且所述第一支架和第二支架的高度均高于所述曝光平台的高度，所述曝光镜头上下穿设于所述第一支架上，所述第二激光器设于所述第二支架上。

12、本发明具有以下有益效果：

13、本发明中，通过调节机构和顶边对位条的配合，可以调节顶边对位条和第一激光器之间的距离，从而可根据线路板的实际板边宽度对顶边对位条的位置进行移动调节，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，使顶边对位条与第一激光器发射点之间的垂直距离小于线路板的板边即可，在线路板与顶边对位条的内侧边接触放置时，可确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内，解决了现有中烧点激光在板边比较小时容易落入单元板范围内的问题，提高了良品率。

14、本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种曝光平台，包括用于放置线路板且为方形的台面板，其特征在于，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。

2.如权利要求1所述的曝光平台，其特征在于，在设有顶边对位条的至少两相邻边的板边上均设有若干所述第一激光器，以对放置在台面板上的线路板的两相邻边均进行烧点。

3.如权利要求2所述的曝光平台，其特征在于，两相邻边上设置的第一激光器数量不相同。

4.如权利要求2所述的曝光平台，其特征在于，两相邻边上设置的第一激光器数量相同，但两相邻边上设置的第一激光器的间隔距离不相同。

5.如权利要求1所述的曝光平台置，其特征在于，所述顶边对位条通过至少一组导轨和滑块滑动设于所述台面板的板边表面处，所述导轨固定于所述台面板的表面，所述滑块嵌设于所述顶边对位条的底面，且所述滑块滑动设于所述导轨上。

6.如权利要求1-5任一项所述的曝光平台，其特征在于，所述调节机构包括固定于所述台面板侧边的支撑座以及转动设于支撑座上的调节旋钮，所述调节旋钮的一端与所述顶边对位条螺纹连接。

7.一种ldi曝光装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的曝光平台。

8.如权利要求7所述的ldi曝光装置，其特征在于，还包括底座、设于底座上的直线导轨以及与直线导轨配套的直线电机，所述曝光平台通过固定柱固定于所述直线电机上，以使所述曝光平台在直线电机的驱动下沿所述直线导轨移动。

9.如权利要求8所述的ldi曝光装置，其特征在于，还包括若干通过固定支架设于所述直线导轨上方的第二激光器和曝光镜头，所述第二激光器和曝光镜头的数量相同并一一对应，且相对应的所述第二激光器和曝光镜头之间设有用于将第二激光器发出的激光传导至曝光镜头中的光纤；所述曝光镜头朝下设置，且所述曝光镜头的高度高于所述曝光平台的高度，以使所述曝光平台沿直线导轨移动时穿过所述第二激光器的下方。

10.如权利要求9所述的ldi曝光装置，其特征在于，所述固定支架包括沿直线导轨的延伸方向前后间隔设置的第一支架和第二支架，所述第一支架和第二支架均为倒置的u字状支架，且所述第一支架和第二支架的高度均高于所述曝光平台的高度，所述曝光镜头上下穿设于所述第一支架上，所述第二激光器设于所述第二支架上。

技术总结
本发明公开了一种曝光平台及LDI曝光装置，所述曝光平台包括用于放置线路板且为方形的台面板，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。本发明通过调节机构和顶边对位条的配合，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内。

技术研发人员：陈果,李华团,夏云平,段绍华,肖金辉
受保护的技术使用者：江西景旺精密电路有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15