一种镜头照明系统的制作方法

本发明涉及光电照明，具体涉及一种镜头照明系统。

背景技术：

1、以大规模集成电路为核心的微电子技术的快速发展，对微电子设备和微细加工技术提出了新的要求。光学投影曝光作为应用领域最广、技术更新快和生命力强的微细加工技术，是驱动微电子技术进步的核心。投影光刻机将掩模上的图形，经过投影物镜成像复制在硅片面上。

2、现有技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提出一种镜头照明系统，旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。

2、为实现上述目的，本发明提出一种镜头照明系统，包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；

3、其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。

4、可选地，所述反射镜结构还包括壳体，所述壳体内形成有安装空间；

5、所述数字微镜结构包括dmd芯片安装板，所述dmd芯片安装板具有一接收面、且其接收面位于所述安装空间内；

6、所述调节件包括：

7、安装座，所述安装座设置在所述安装空间内、且其相对所述dmd芯片安装板的角度可调节设置，所述安装座朝向所述dmd芯片安装板的一侧为安装面，所述安装面用以供所述第二反射镜安装；以及，

8、限位部，所述限位部具有用以限制所述安装座活动的第一状态、以及取消限制的第二状态。

9、可选地，所述壳体在对应所述安装座的位置贯穿开设有过孔；

10、所述调节件还包括螺栓，所述螺栓的螺杆部分穿设所述过孔、并延伸至所述安装空间内，所述安装座对应螺接在所述螺栓的螺杆部分上；

11、其中，所述螺栓的螺杆直径小于所述过孔直径；

12、所述限位部包括多个对应所述安装座周侧设置的顶丝，各所述顶丝螺接在所述壳体上、且其一端抵接所述安装座。

13、可选地，所述壳体的外侧凹设有连通所述过孔的沉台；

14、所述镜头照明系统还包括沿所述沉台的深度方向依次设置的锥形垫圈以及球形垫圈。

15、可选地，所述安装空间内还设置有限位件，所述限位件设置在所述安装座背离所述dmd芯片安装板的一侧、且与所述安装座间隔设置。

16、可选地，所述壳体上还开设有窗口。

17、可选地，所述匀光棒结构包括：

18、匀光棒镜筒；

19、两个匀光棒安装座，分设在所述匀光棒镜筒的两端、且位于所述匀光棒镜筒内；以及，

20、匀光棒，设于所述匀光棒镜筒内，其两端分别连接两个所述匀光棒安装座。

21、可选地，一所述匀光棒安装座通过压圈限位至所述匀光棒镜筒内，另一所述匀光棒安装座的周侧接触所述匀光棒镜筒的侧壁设置。

22、可选地，所述第一扩束透镜结构包括第一镜筒，所述第一镜筒的至少部分套设在所述匀光棒镜筒的外周、且其内部设置有第一透镜组。

23、可选地，所述第二扩束透镜结构包括第二镜筒，所述第二镜筒的至少部分套设在所述匀光棒镜筒的外周、且其内部设置有第二透镜组。

24、本发明的技术方案中，在装配好所述镜头照明系统后，可对所述反射镜结构进行调节，使得经所述反射镜结构传输的光可正对所述数字微镜结构，具体如下，经所述第二扩束透镜结构传输的光依次经所述第一反射镜和所述第二反射镜反射传输，通过所述调节件调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的反射角度，使得经所述第二反射镜反射的光可正对所述数字微镜结构，从而确保光学设计角度，使得自所述镜头照明系统投射出的光斑达到预期的效果。

技术特征：

1.一种镜头照明系统，其特征在于，包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；

2.如权利要求1所述的镜头照明系统，其特征在于，所述反射镜结构还包括壳体，所述壳体内形成有安装空间；

3.如权利要求2所述的镜头照明系统，其特征在于，所述壳体在对应所述安装座的位置贯穿开设有过孔；

4.如权利要求3所述的镜头照明系统，其特征在于，所述壳体的外侧凹设有连通所述过孔的沉台；

5.如权利要求2所述的镜头照明系统，其特征在于，所述安装空间内还设置有限位件，所述限位件设置在所述安装座背离所述dmd芯片安装板的一侧、且与所述安装座间隔设置。

6.如权利要求2所述的镜头照明系统，其特征在于，所述壳体上还开设有窗口。

7.如权利要求1所述的镜头照明系统，其特征在于，所述匀光棒结构包括：

8.如权利要求7所述的镜头照明系统，其特征在于，一所述匀光棒安装座通过压圈限位至所述匀光棒镜筒内，另一所述匀光棒安装座的周侧接触所述匀光棒镜筒的侧壁设置。

9.如权利要求7所述的镜头照明系统，其特征在于，所述第一扩束透镜结构包括第一镜筒，所述第一镜筒的至少部分套设在所述匀光棒镜筒的外周、且其内部设置有第一透镜组。

10.如权利要求7所述的镜头照明系统，其特征在于，所述第二扩束透镜结构包括第二镜筒，所述第二镜筒的至少部分套设在所述匀光棒镜筒的外周、且其内部设置有第二透镜组。

技术总结
本发明公开一种镜头照明系统，所述镜头照明系统包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。本发明旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。

技术研发人员：黄光蓉,朱红伟,邱盛平
受保护的技术使用者：成都联江科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15