一种新型的感光蚀刻膏及使用方法与流程

文档序号:36093621发布日期:2023-11-18 13:21阅读:267来源:国知局
一种新型的感光蚀刻膏及使用方法与流程

本发明涉及蚀刻,具体为一种新型的感光蚀刻膏及使用方法。


背景技术:

1、导电材料实现器件的电气导通,在触摸屏、液晶面板、半导体、太阳能领域应用广泛,导电材料一般为ito(氧化铟锡)、fto(掺杂氟的sno2)、金属铜、纳米银等,为了蚀刻出不同的线路,常规蚀刻方式为黄光蚀刻以及蚀刻膏蚀刻;

2、黄光蚀刻,需要先涂感光胶,再经过显影、曝光、蚀刻、退膜等工艺,工艺流程复杂,成本较高;蚀刻膏蚀刻需先将耐酸油墨、耐酸胶通过网版涂布在导电材料上,再涂布蚀刻膏,然后再用碱将耐酸油墨去除,蚀刻膏用量较大,浪费材料,且网版精度较低。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种新型的感光蚀刻膏及使用方法,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种新型的感光蚀刻膏,包括主要成分、添加成分和溶剂,所述添加成分包括感光剂、聚合剂和助剂,所述主要成分与导电材料相匹配;

3、当导电材料为氧化铟锡时,所述主要成分包括有机增稠剂和酸;

4、当导电材料为铜时,所述主要成分包括可溶性铜盐、铵盐。

5、所述溶剂为芳香醇类溶剂或水。

6、所述酸为有机酸或无机酸。

7、一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,该方法包括以下步骤:

8、步骤一:将感光蚀刻膏涂布在基板上;

9、步骤二:整面涂布后基板经过曝光,曝光出图形后,再经过显影,将感光蚀刻膏的线路制备完成;

10、步骤三:制备好线路的蚀刻膏基板,可覆盖在导电材料上进行蚀刻,一定时间后,将蚀刻膏基板拿开,对导电材料进行清洗以及烘干,完成导电材料线路的制备。

11、所述基板为硬板或膜材。

12、所述硬板为fr4、玻璃、pc板或硅基板。

13、所述膜材为pet或cpi。

14、所述导电材料为氧化铟锡、fto、金属铜或纳米银。

15、所述蚀刻时间不超过1分钟。

16、所述导电材料的清洗采用喷淋清洗。

17、与现有技术相比,本发明的有益效果是:

18、本发明感光蚀刻膏通过在蚀刻膏中添加感光剂,通过曝光、显影,可在基板上形成有图形的蚀刻膏,从而使得制成的有图形的蚀刻膏基板,可多次用作导电材料的蚀刻,且图形由于是黄光制程制备而来,精密程度与黄光蚀刻相同。



技术特征:

1.一种新型的感光蚀刻膏,其特征在于,包括主要成分、添加成分和溶剂,所述添加成分包括感光剂、聚合剂和助剂,所述主要成分与导电材料相匹配;

2.根据权利要求1所述的一种新型的感光蚀刻膏,其特征在于:所述溶剂为芳香醇类溶剂或水。

3.根据权利要求1所述的一种新型的感光蚀刻膏,其特征在于:所述酸为有机酸或无机酸。

4.一种权利要求1-3任一项所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

5.根据权利要求4所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于:所述基板为硬板或膜材。

6.根据权利要求5所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于:所述硬板为fr4、玻璃、pc板或硅基板。

7.根据权利要求5所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于:所述膜材为pet或cpi。

8.根据权利要求4所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于:所述导电材料为氧化铟锡、fto、金属铜或纳米银。

9.根据权利要求4所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于:所述蚀刻时间不超过1分钟。

10.根据权利要求4所述的一种新型的感光蚀刻膏的使用方法,其特征在于:所述导电材料的清洗采用喷淋清洗。


技术总结
本发明涉及蚀刻技术领域,具体为一种新型的感光蚀刻膏及使用方法,包括主要成分、添加成分和溶剂,所述添加成分包括感光剂、聚合剂和助剂,所述主要成分与导电材料相匹配;当导电材料为氧化铟锡时,所述主要成分包括有机增稠剂和酸;当导电材料为铜时,所述主要成分包括可溶性铜盐、铵盐,所述溶剂为芳香醇类溶剂或水,所述酸为有机酸或无机酸;本发明感光蚀刻膏通过在蚀刻膏中添加感光剂,通过曝光、显影,可在基板上形成有图形的蚀刻膏,从而使得制成的有图形的蚀刻膏基板,可多次用作导电材料的蚀刻,且图形由于是黄光制程制备而来,精密程度与黄光蚀刻一样。

技术研发人员:苏伟,刘洁
受保护的技术使用者:深圳市志凌伟业技术股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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