带有吸收性孔边界的超表面的制作方法

本申请涉及光学超表面(超颖表面，metasurface)。

背景技术：

1、光学超表面可以在没有传统透镜的情况下操纵光波前。它们可以包括在基板上或在基板中的比如亚波长尺寸的柱、肋或孔洞之类的结构。

2、这些结构在基板表面上的尺寸、形状和间距可以变化。每种结构尺寸、形状和间距都可以提供独特的电磁响应。超表面可以提供所需的光波前操纵(相位、偏振和振幅)，而无需传统透镜的厚度。超表面可以克服传统透镜的像差问题。

3、超表面结构可以衍射入射光，其尺寸可以堪比于光波长。这些结构可以具有纳米尺寸级尺寸。超表面不像传统透镜那样依赖于曲率，而是依赖于结构的尺寸和图案来以所需的图案衍射光。衍射光波可以相互干涉，形成所需的、改变的波前。

4、超表面可以聚焦光、准直光、衍射光、漫射光、改变光的偏振或将白光分解成多种不同的颜色。超表面可用于光学系统的小型化和质量改进。超表面可以减少系统中光学部件的数量。超表面可以适应解决比传统透镜更广泛的需求。超表面可用于检测光强度、深度感应、成像、光相关电子学、显微光谱仪、安保和密码学。

技术实现思路

技术特征：

1.一种超表面光学装置，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻挡层位于所述基板的所述第一侧上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻挡层位于所述基板的所述第二侧上。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻挡层还包括反射层，所述反射层构造为反射所述光，并且所述反射层和所述吸收层位于所述基板的所述第一侧上。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述反射层邻接所述吸收层。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述反射层夹在所述吸收层与所述基板之间。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述吸收层夹在所述反射层与所述基板之间。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻挡层还包括反射层，所述反射层构造为反射所述光，所述反射层和所述吸收层位于所述基板的所述第二侧上。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述反射层夹在所述吸收层与所述基板之间。

技术总结
超表面光学装置可以包括在基板(11)的第一侧(11f)上的柱(13)的阵列，柱(13)与阻挡层(12)的孔(15)对齐或靠近阻挡层(12)。阻挡层(12)可以位于基板(11)的第一侧(11f)上、位于基板(11)的与第一侧(11f)相对的第二侧(11s)上，或位于两者上。阻挡层(12)可以防止光在不希望的位置处透射穿过装置。阻挡层(12)可以对入射光不透明，并且可以包括吸收层。因此，阻挡层(12)可以具有双重功能——阻挡和吸收光。

技术研发人员：R·S·尼尔森,S·P·奥格登,B·R·威廉姆斯
受保护的技术使用者：莫克斯泰克公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25