一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置与流程

本发明涉及光斑调整，具体为一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置。

背景技术：

1、激光直写是一种加工微纳元件的技术，其利用激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光，显影后便在抗蚀层表面形成要求的浮雕轮廓。

2、在进行对基片表面曝光时，需要进行调节照明的光斑，但是在对激光直写镜头进行调节时，是需要将激光直写镜头进行转动调节，但是在这期间需要根据不的场景来调节激光直写镜头的转动圈数，这时就需要时刻转动激光直写镜头，在这期间极为费时费力，需要设计一个可自动对激光直写镜头进行转动调节装置。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，包括镜盖、转筒和套筒，所述转筒设置于镜盖和套筒之间，所述转筒内壁右侧固定连接有激光直写镜片，所述转筒右侧和套筒表面均固定连接有转动机构，所述转动机构上设置有限位机构，所述镜盖和转筒表面均固定连接有安装机构；

3、所述转动机构包括连接环，所述连接环固定连接于套筒表面，所述连接环左侧固定连接有环形齿排，所述套筒左侧内部开设有第一环形滑槽，所述第一环形滑槽内部滑动连接有环形滑板，所述环形滑板数量为两个，两个所述环形滑板和转筒之间固定连接有支撑板，所述镜盖左侧开设有第二环形滑槽，所述转筒右侧固定连接有环形滑块，两个所述环形滑板右侧固定连接有固定板，所述固定板靠近套筒一侧固定连接有电机，所述电机靠近套筒一侧固定连接有转轴，所述转轴表面固定连接有齿轮，所述齿轮和环形齿排啮合连接。

4、优选的，所述环形滑块数量为两个，两个所述环形滑块和第二环形滑槽滑动连接，环形滑块被带动在第二环形滑槽内滑动时，可以使得转筒带动激光直写镜片转动，可以使得激光直写镜片上呈现出的光斑进行调节，便于用于照明曝光用途。

5、优选的，所述限位机构包括伸缩板，所述伸缩板固定连接于环形滑板远离转筒一侧，所述连接环表面四周密集固定连接有安装座，每个所述安装座内部开设有长条插槽，所述安装座内部开设有方形槽，所述方形槽远离连接环一侧设置为开口，所述方形槽卡哦哦就连接环一侧内壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆另一侧固定连接有安装板，所述安装板另一侧靠近连接环一侧固定连接有插板，所述插板和安装板之间均固定连接有加强板，所述伸缩板内部开设有方槽，所述安装座内部开设有贯穿槽，所述插板表面贯穿于安装座内部开设的贯穿槽。

6、优选的，所述方槽靠近插板一侧设置为开口，所述方槽和插板插接，插板插接在方槽内时，能将伸缩板插接在方槽内，这时能对环形滑板的位置进行限位固定，同时也能使得将调节后的激光直写镜片位置进行限位。

7、优选的，所述长条插槽靠近转筒一侧设置为开口，所述长条插槽和安装座插接。

8、优选的，所述安装机构包括插槽，所述插槽开设于转筒左侧内部，所述插槽数量为四个，四个所述插槽左侧设置为开口，所述镜盖右侧四周均固定连接有插块，四个所述插块和四个插槽插接，所述镜盖表面四周均固定连接有连接板，所述转筒表面四周固定连接有长块，四个所述长块左侧开设有连接槽，所述连接槽左侧设置为开口，四个所述连接板和四个连接槽插接，四个所述长块内部开设有矩形槽，每个所述矩形槽内壁远离转筒一侧固定连接有弹簧，所述弹簧另一侧固定连接有连接座，所述连接座另一侧固定连接有限位块，所述连接板内部开设有限位槽，所述限位块和限位槽插接，所述连接座远离转筒一侧固定连接有拉板，所述拉板另一侧固定连接有铰接板，所述铰接板靠近长块一侧铰接有锁合板，所述锁合板靠近长块一侧固定连接有卡块，所述长块远离镜盖一侧内部开设有卡槽。

9、优选的，四个所述矩形槽左侧设置为开口，四个所述矩形槽设置于四个连接槽远离转筒一侧。

10、优选的，所述卡槽远离镜盖一侧设置为开口，所述卡槽和卡块卡接，卡块卡接在卡槽内时，能将限位块插接在限位槽内不会随意移出，便于在不需要照明曝光时，对激光直写镜片进行防护。

11、优选的，所述长块内部开设有贯通槽，所述拉板贯穿于长块内部开设的贯通槽。

12、一种激光直写镜头照明光斑的调整方法，上述激光直写镜头照明光斑调整包括以下步骤：

13、s1、光斑转动调节：

14、电机带动转轴,转轴带动齿轮转动，由于齿轮和环形齿排进行啮合连接时，齿轮能围绕环形齿排做绕圈转动，在齿轮转动时，固定板带动环形滑板在第一环形滑槽内滑动，同时环形滑板能带动支撑板,支撑板带动转筒,转筒也能带动环形滑块在第二环形滑槽内滑动，直到转筒带动激光直写镜片转动，可以使得激光直写镜片上呈现出的光斑进行调节，便于用于照明曝光用途；

15、s2、光斑调节固定：

16、伸缩板拉伸插接在长条插槽内后，启动电动推杆,电动推杆带动安装板,安装板带动插板插接在方槽内，即可对环形滑板的位置进行限位固定，同时也能使得将调节后的激光直写镜片位置进行限位；

17、s3、镜片防护：

18、拨动锁合板，这时锁合板能带动卡块从卡槽内移出，在拉动铰接板时，铰接板带动拉板，拉板带动连接座移动进行挤压弹簧，连接座带动限位块从限位槽内移出，这时可以直接将镜盖带动连接板从连接槽内移出，便于将激光直写镜片进行裸露出进行照明曝光。

19、与现有技术相比，本发明提供了一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置，具备以下有益效果：

20、1、该激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置，通过设置转动机构，在转动机构运行下，电机带动转轴,转轴带动齿轮转动，由于齿轮和环形齿排进行啮合连接时，齿轮能围绕环形齿排做绕圈转动，在齿轮转动时，固定板带动环形滑板在第一环形滑槽内滑动，同时环形滑板能带动支撑板,支撑板带动转筒,转筒也能带动环形滑块在第二环形滑槽内滑动，直到转筒带动激光直写镜片转动，可以使得激光直写镜片上呈现出的光斑进行调节，便于用于照明曝光用途。

21、2、该激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置，通过设置限位机构，在限位机构运行下，将伸缩板拉伸插接在长条插槽内后，启动电动推杆,电动推杆带动安装板,安装板带动插板插接在方槽内，即可对环形滑板的位置进行限位固定，同时也能使得将调节后的激光直写镜片位置进行限位。

22、3、该激光直写镜头照明光斑的调整装置，通过设置安装机构，在安装机构运行下，拨动锁合板，这时锁合板能带动卡块从卡槽内移出，在拉动铰接板时，铰接板带动拉板，拉板带动连接座移动进行挤压弹簧，连接座带动限位块从限位槽内移出，这时可以直接将镜盖带动连接板从连接槽内移出，便于将激光直写镜片进行裸露出进行照明曝光。

23、4、该激光直写镜头照明光斑的调整装置，通过在不需要照明曝光时，这时可以将镜盖进行安装在转筒一侧，可以达到将对激光直写镜片进行防护，避免激光直写镜片表面附着灰尘，降低了打扫时间。

技术特征：

1.一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，包括镜盖(1)、转筒(7)和套筒(5)，其特征在于：所述转筒(7)设置于镜盖(1)和套筒(5)之间，所述转筒(7)内壁右侧固定连接有激光直写镜片(6)，所述转筒(7)右侧和套筒(5)表面均固定连接有转动机构(3)，所述转动机构(3)上设置有限位机构(4)，所述镜盖(1)和转筒(7)表面均固定连接有安装机构(2)；

2.根据权利要求1所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述环形滑块(301)数量为两个，两个所述环形滑块(301)和第二环形滑槽(302)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述限位机构(4)包括伸缩板(41)，所述伸缩板(41)固定连接于环形滑板(37)远离转筒(7)一侧，所述连接环(33)表面四周密集固定连接有安装座(48)，每个所述安装座(48)内部开设有长条插槽(49)，所述安装座(48)内部开设有方形槽(47)，所述方形槽(47)远离连接环(33)一侧设置为开口，所述方形槽(47)卡哦哦就连接环(33)一侧内壁固定连接有电动推杆(46)，所述电动推杆(46)另一侧固定连接有安装板(45)，所述安装板(45)另一侧靠近连接环(33)一侧固定连接有插板(43)，所述插板(43)和安装板(45)之间均固定连接有加强板(44)，所述伸缩板(41)内部开设有方槽(42)，所述安装座(48)内部开设有贯穿槽，所述插板(43)表面贯穿于安装座(48)内部开设的贯穿槽。

4.根据权利要求3所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述方槽(42)靠近插板(43)一侧设置为开口，所述方槽(42)和插板(43)插接。

5.根据权利要求3所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述长条插槽(49)靠近转筒(7)一侧设置为开口，所述长条插槽(49)和安装座(48)插接。

6.根据权利要求1所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述安装机构(2)包括插槽(21)，所述插槽(21)开设于转筒(7)左侧内部，所述插槽(21)数量为四个，四个所述插槽(21)左侧设置为开口，所述镜盖(1)右侧四周均固定连接有插块(22)，四个所述插块(22)和四个插槽(21)插接，所述镜盖(1)表面四周均固定连接有连接板(23)，所述转筒(7)表面四周固定连接有长块(205)，四个所述长块(205)左侧开设有连接槽(206)，所述连接槽(206)左侧设置为开口，四个所述连接板(23)和四个连接槽(206)插接，四个所述长块(205)内部开设有矩形槽(26)，每个所述矩形槽(26)内壁远离转筒(7)一侧固定连接有弹簧(27)，所述弹簧(27)另一侧固定连接有连接座(28)，所述连接座(28)另一侧固定连接有限位块(25)，所述连接板(23)内部开设有限位槽(24)，所述限位块(25)和限位槽(24)插接，所述连接座(28)远离转筒(7)一侧固定连接有拉板(29)，所述拉板(29)另一侧固定连接有铰接板(201)，所述铰接板(201)靠近长块(205)一侧铰接有锁合板(203)，所述锁合板(203)靠近长块(205)一侧固定连接有卡块(202)，所述长块(205)远离镜盖(1)一侧内部开设有卡槽(204)。

7.根据权利要求6所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：四个所述矩形槽(26)左侧设置为开口，四个所述矩形槽(26)设置于四个连接槽(206)远离转筒(7)一侧。

8.根据权利要求6所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述卡槽(204)远离镜盖(1)一侧设置为开口，所述卡槽(204)和卡块(202)卡接。

9.根据权利要求6所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，其特征在于：所述长块(205)内部开设有贯通槽，所述拉板(29)贯穿于长块(205)内部开设的贯通槽。

10.一种激光直写镜头照明光斑的调整方法，其特征在于：上述激光直写镜头照明光斑调整包括以下步骤：

技术总结
本发明涉及光斑调整技术领域，且公开了一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，转筒右侧和套筒表面均固定连接有转动机构，转动机构上设置有限位机构，镜盖和转筒表面均固定连接有安装机构；转动机构包括连接环，连接环固定连接于套筒表面，连接环左侧固定连接有环形齿排，第一环形滑槽内部滑动连接有环形滑板。该激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置，通过设置转动机构，齿轮和环形齿排进行啮合连接时，齿轮能围绕环形齿排做绕圈转动，在齿轮转动时，固定板带动环形滑板在第一环形滑槽内滑动，同时环形滑板能带动支撑板,支撑板带动转筒,转筒带动激光直写镜片转动，可以使得激光直写镜片上呈现出的光斑进行调节，便于用于照明曝光用途。

技术研发人员：桂立
受保护的技术使用者：苏州赛源光学科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16