一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质与流程

本发明涉及光刻计算，具体涉及一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质。

背景技术：

1、全息掩模是实现高分辨率芯片制造的关键，对于复振幅全息图，很难同时对振幅和相位进行调节。因此，在实际制造的过程中，只能选择振幅型全息掩模和相位型全息掩模。相位型全息掩模相对于振幅型全息掩模具有更高的编码效率，所以常用纯相位型全息掩模。

2、但是，纯相位型全息掩模由很多方孔构成，在用纯相位型全息掩模衍射成像时，常常将每个方孔的衍射叠加起来实现整张掩模的成像。由于每个方孔的大小几乎一样，因此常常将单个方孔的衍射数据先存储下来。但是，在掩模合成的过程中，随着全息掩模成像范围的扩大，需要存储的数据量急速增加，占用的存储空间也越来越大。

3、那么，如何对急剧增长的数据量进行存储成为目前亟需解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质，以解决存储空间占用较大的问题。

2、第一方面，本发明提供了一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的曝光设备，方法包括：

3、获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数；判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征；基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

4、本实施例提供的数据压缩方法，在获取到掩模面任一预设区域对应的点扩散函数之后，首先判断点扩散函数是否具备对称性。通过判断对称性方可得知数据间是否存在变换关系，从而确定是否可以对数据进行压缩。当点扩散函数具备对称性时，表示数据可以进行压缩，然后确定点扩散函数对应的对称特征。基于对称特征对所有满足点扩散函数的衍射数据进行压缩，从而得到目标衍射数据，目标衍射数据即与对称特征结合可以通过对称变换得到满足点扩散函数所有衍射数据的基础数据。本实施例通过上述方式，即可将待存储的数据量至少缩减至原来的一半，实现了对数据的压缩，降低了空间占用率。

5、在一种可选实施方式中，判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征，包括：

6、判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果；基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性；当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征。

7、本实施例提供的数据压缩方法，通过预设转换规则确定点扩散函数所具备的对称特性，相较于其它方式而言准确性更高，间接保证了后续压缩过程中目标衍射数据的准确性。

8、在一种可选实施方式中，基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性，包括：

9、当点扩散函数满足预设转换规则时，确定点扩散函数具备与预设转换规则对应的对称性。

10、在一种可选实施方式中，基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据，包括：

11、基于对称特征对点扩散函数进行分段，得到至少两个子函数；将至少两个子函数中的任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，以完成对所有衍射数据的压缩。

12、本实施例提供的数据压缩方法，基于对称特征对点扩散函数进行分段，并将任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据。通过这样的方式，即可基于点扩散函数的对称特性确定出待存储的目标衍射数据，从而实现数据的压缩，降低待存储的数据量，减少对空间的占用，以使存储空间可以容纳更多数据。

13、在一种可选实施方式中，对称性为旋转对称或轴对称。

14、在一种可选实施方式中，在基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据之后，还包括：

15、对目标衍射数据进行坐标转换；存储经坐标转换之后的目标衍射数据。

16、本实施例提供的数据压缩方法，之所以先对目标衍射数据进行坐标转换然后进行存储，其目的是，对于旋转对称而言，衍射数据之间的对称变换更多的是基于旋转角度对应的，因此，将目标衍射数据以极坐标方式进行存储可以使后续基于目标衍射数据对其余衍射数据进行还原时的还原效率更高。

17、第二方面，本发明提供了一种数据压缩装置，应用于芯片制备工艺的曝光设备，装置包括：

18、获取模块，用于获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数；第一确定模块，用于判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征；第二确定模块，用于基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

19、在一种可选实施方式中，第一确定模块包括：

20、判断单元，用于判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果；第一确定单元，用于基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性；第二确定单元，用于当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征。

21、第三方面，本发明提供了一种曝光设备，应用于芯片制备工艺，包括：存储器和处理器，存储器和处理器之间互相通信连接，存储器中存储有计算机指令，处理器通过执行计算机指令，从而执行上述第一方面或其对应的任一实施方式的数据压缩方法。

22、第四方面，本发明提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机指令，计算机指令用于使计算机执行上述第一方面或其对应的任一实施方式的数据压缩方法。

技术特征：

1.一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的曝光设备，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述判断所述点扩散函数是否具备对称性，当所述点扩散函数具备对称性时，确定所述点扩散函数的对称特征，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述判断结果，确定所述点扩散函数是否具备对称性，包括：

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述基于所述对称特征，将满足所述点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对称性为旋转对称或轴对称。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述基于所述对称特征，将满足所述点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据之后，所述方法还包括：

7.一种数据压缩装置，应用于芯片制备工艺的曝光设备，其特征在于，所述装置包括：

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第一确定模块包括：

9.一种曝光设备，应用于芯片制备工艺，其特征在于，包括：

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机指令，所述计算机指令用于使计算机执行权利要求1至6中任一项所述的数据压缩方法。

技术总结
本发明涉及光刻计算技术领域，公开了一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质，本发明在获取到掩模面任一预设区域对应的点扩散函数之后，首先判断点扩散函数是否具备对称性。通过判断对称性方可得知数据间是否存在变换关系，从而确定是否可以对数据进行压缩。当点扩散函数具备对称性时，表示数据可以进行压缩，然后确定点扩散函数对应的对称特征。基于对称特征对所有满足点扩散函数的衍射数据进行压缩，从而得到目标衍射数据，目标衍射数据即与对称特征结合可以通过对称变换得到满足点扩散函数所有衍射数据的基础数据。本实施例通过上述方式，即可将待存储的数据量至少缩减至原来的一半，实现了对数据的压缩，降低了空间占用率。

技术研发人员：范鹏,牛志元,杜德川,和琨,张瑾轩,王向戎
受保护的技术使用者：光科芯图（北京）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15