一种曝光系统及其测定方法、电子设备、存储介质与流程

本申请涉及数据处理，具体而言，涉及一种曝光系统及其测定方法、电子设备、存储介质。

背景技术：

1、对于晶圆制造厂家来说，良好的剂量控制对于曝光效果是至关重要的。因此在深紫外光源脉冲经过照明系统时，要求有一可变衰减器用于调整曝光能量，降低光源的强度、增加剂量准确性和补偿激光脉冲超射。衰减装置的传输率和入射角之间的关系是非线性的，因此需要对其进行测定，获取衰减装置的控制依据，满足曝光系统的精确度，提高晶圆生产质量。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种曝光系统及其测定方法、电子设备、存储介质，以获取衰减装置的控制依据，满足曝光系统的精确度，提高晶圆生产质量。

2、第一方面，本申请提供了一种曝光系统的测定方法，曝光系统的光源发射出的脉冲至少经过衰减装置后到达能量传感器，其中，通过以下方式对曝光系统进行测定：获取光源与衰减装置的衰减玻璃之间的入射角度值小于第一目标入射角度值时，入射角度值与能量传感器对应采集到的脉冲能量值之间的第一关系曲线；截取第一关系曲线中入射角度值在目标范围内的第二关系曲线，其中，目标范围为第二目标入射角度值至第三目标入射角度值，第二目标入射角度值小于第三目标入射角度值，第三目标入射角度值小于第一目标入射角度值；按照固定间隔对第二关系曲线进行采样，以获取多个采样点；针对每个采样点，确定该采样点对应的入射角度值、脉冲能量传输率，并生成入射角度值与脉冲能量传输率的第一映射关系表。

3、优选的，衰减装置至少包括衰减玻璃板和电机，通过设定电机的驱动电压值，驱动电机带动衰减玻璃板旋转，以改变光源与衰减装置的衰减玻璃之间的入射角度值，入射角度值与驱动电压值一一对应，还包括：基于入射角度值与驱动电压值的对应关系，生成驱动电压值与脉冲能量传输率的第二映射关系表。

4、优选的，还包括基于第二映射关系表、目标脉冲能量传输率，确定出目标驱动电压值，并向电机输入对应的电压信号，使光源与衰减装置的衰减玻璃之间为目标入射角度值。

5、优选的，基于第二映射关系表、目标脉冲能量传输率，确定出目标驱动电压值的步骤，具体包括：获取输入的目标脉冲能量传输率；确定在第二映射关系表中，是否有脉冲能量传输率与目标脉冲能量传输率相匹配；若是，则将确定出的与目标脉冲能量传输率相匹配的脉冲能量传输率对应的驱动电压值，确定为目标驱动电压值；若否，则在第二映射关系表中确定出第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率，并根据第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率各自对应的驱动电压值，确定出目标驱动电压值。

6、优选的，第一标记脉冲能量传输率大于目标脉冲能量传输率，第二标记脉冲能量传输率小于目标脉冲能量传输率，通过以下方式确定出第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率：针对第二映射关系表中每一驱动电压值，确定该驱动电压值与目标驱动电压值之间的差值；根据差值的大小，确定出第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率。

7、优选的，根据第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率各自对应的驱动电压值，确定出目标驱动电压值的步骤，具体包括：计算目标脉冲能量传输率与第二标记脉冲能量传输率的差，作为第一传输率差值；计算第一标记脉冲能量传输率与第二标记脉冲能量传输率的差，作为第二传输率差值；计算第一传输率差值与第二传输率差值之间的比值；计算第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率各自对应的驱动电压值之间的驱动电压差值；计算比值与驱动电压差值之间的乘积，并计算乘积与第二标记脉冲能量传输率对应的驱动电压值之间的和，作为目标驱动电压值。

8、优选的，通过以下方式确定脉冲能量传输率：确定光源所发射的脉冲的标准能量值；计算能量传感器所采集到的对应的脉冲能量值与标准能量值之间的比值，作为脉冲能量传输率。

9、第二方面，本申请提供了一种曝光系统，曝光系统包括延第一方向依次设置的光源、安全快门、衰减装置、光衍射元件、变焦单元；沿第二方向设置的滤波片，第一方向与第二方向垂直；设置在变焦单元与滤波片之间的分光镜。

10、第三方面，本申请还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的一种曝光系统的测定方法的步骤。

11、第四方面，本申请还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如上述的一种曝光系统的测定方法的步骤。

12、本申请提供的一种曝光系统及其测定方法、电子设备、存储介质，曝光系统的光源发射出的脉冲至少经过衰减装置后到达能量传感器，其中，通过以下方式对曝光系统进行测定：获取光源与衰减装置的衰减玻璃之间的入射角度值小于第一目标入射角度值时，入射角度值与能量传感器对应采集到的脉冲能量值之间的第一关系曲线；截取第一关系曲线中入射角度值在目标范围内的第二关系曲线，其中，目标范围为第二目标入射角度值至第三目标入射角度值，第二目标入射角度值小于第三目标入射角度值，第三目标入射角度值小于第一目标入射角度值；按照固定间隔对第二关系曲线进行采样，以获取多个采样点；针对每个采样点，确定该采样点对应的入射角度值、脉冲能量传输率，并生成入射角度值与脉冲能量传输率的第一映射关系表，以获取衰减装置的控制依据，满足曝光系统的精确度，提高晶圆生产质量。

13、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种曝光系统的测定方法，其特征在于，所述曝光系统的光源发射出的脉冲至少经过衰减装置后到达能量传感器，其中，通过以下方式对所述曝光系统进行测定：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衰减装置至少包括衰减玻璃板和电机，通过设定所述电机的驱动电压值，驱动电机带动所述衰减玻璃板旋转，以改变所述光源与所述衰减装置的衰减玻璃之间的入射角度值，所述入射角度值与所述驱动电压值一一对应，还包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述第二映射关系表、目标脉冲能量传输率，确定出目标驱动电压值的步骤，具体包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，第一标记脉冲能量传输率大于目标脉冲能量传输率，第二标记脉冲能量传输率小于目标脉冲能量传输率，通过以下方式确定出第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据第一标记脉冲能量传输率和第二标记脉冲能量传输率各自对应的驱动电压值，确定出所述目标驱动电压值的步骤，具体包括：

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式确定脉冲能量传输率：

8.一种曝光系统，其特征在于，所述曝光系统包括延第一方向依次设置的光源、安全快门、衰减装置、光衍射元件、变焦单元；沿第二方向设置的滤波片，所述第一方向与所述第二方向垂直；设置在变焦单元与所述滤波片之间的分光镜。

9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如权利要求1至7任一所述曝光系统的测定方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至7任一所述曝光系统的测定方法的步骤。

技术总结
本申请提供了一种曝光系统及其测定方法、电子设备、存储介质，其中，通过以下方式对曝光系统进行测定：获取光源与衰减装置的衰减玻璃之间的入射角度值小于第一目标入射角度值时，入射角度值与能量传感器对应采集到的脉冲能量值之间的第一关系曲线；截取第一关系曲线中入射角度值在目标范围内的第二关系曲线，其中，目标范围为第二目标入射角度值至第三目标入射角度值，第二目标入射角度值小于第三目标入射角度值，第三目标入射角度值小于第一目标入射角度值；按照固定间隔对第二关系曲线进行采样，以获取多个采样点；针对每个采样点，确定该采样点对应的入射角度值、脉冲能量传输率，并生成入射角度值与脉冲能量传输率的第一映射关系表。

技术研发人员：刘玉倩,高繁星
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16