曝光平台装置及曝光设备的制作方法

本发明涉及太阳能电池基板制备，特别是涉及一种曝光平台装置及曝光设备。

背景技术：

1、目前，随着国家大力倡导清洁能源，太阳能产业也是在蓬勃发展；太阳能产业最核心的部分就是太阳能电池，现有制备太阳能电池栅线的方法有丝网印刷、无电沉积法、电沉积法等，其中，应用最为广泛的是丝网印刷。采用丝网印刷制备的栅线宽度一般在40-50微米，最小的极限也有20微米，栅线宽度尺寸较大，而较宽的栅线的遮光面积大，影响光的吸收。为了获得高转化率的电池，需要减小栅线宽度，提高栅线的高宽比，通过激光曝光的方式制作太阳能电池基板，但是由于太阳能电池基板较小，传统的定位安装方式并不能适配太阳能基板，使得曝光精度不理想。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供一种曝光平台装置，该曝光平台装置通过具有调节组件的运动平台对太阳能电池基板进行调节，从而使得太阳能基板能够稳定对位，调高曝光精度，提高细栅的精度，提高电池的高转化率。

2、本发明提供一种曝光平台装置，用于太阳能基板进行曝光前的准备，包括：机架，包括底座及安装架，所述安装架设置于所述底座的中部，并横跨所述底座，所述安装架与所述底座对应的位置处设有中空的安装空间；运动平台，安装于所述底座，包括支撑台面以及调节组件，所述太阳能基板安装于所述调节组件，所述调节组件固定安装于所述支撑台面，并能够沿着多个方向调节所述太阳能基板的位置，所述支撑台面滑动安装于所述底座，并能够带动所述调节组件沿垂直于曝光扫描方向往复运动；掩膜组件，安装于中空的所述安装空间，所述掩膜组件包括掩膜板，所述掩膜板设有预设的曝光图案，且所述掩膜板垂直于曝光扫描方向；对位机构，安装于所述安装架，能够检测所述太阳能基板与所述掩膜板的相对位置。

3、可以理解的是，通过在支撑台面上设置调节组件，以能够在曝光或对位过程中自动调节太阳能基板的位置，提高曝光精度。

4、在本发明的一个实施例中，所述调节组件包括第一调节单元、第二调节单元以及安装底座，所述太阳能基板安装于所述安装底座，第一调节单元的一端安装于所述支撑台面，另一端固定安装于所述安装底座，并能够带动所述太阳能基板沿第一方向移动，所述第二调节单元的一端安装与所述支撑台面，另一端固定安装于所述安装底座，并能够带动所述太阳能基板沿第二方向移动。

5、可以理解的是，通过设置第一调节单元及第二调节单元，使得安装在安装底座的太阳能基板能够朝向第一方向及第二方向移动。

6、在本发明的一个实施例中，所述调节组件还包括转动盘，所述转动盘转动安装于所述安装底座的顶部，所述太阳能基板安装于所述转动盘，并随所述转动盘移动。

7、可以理解的是，通过在安装底座的顶部设置转动盘，并将太阳能基板设置与所述转动盘，从而能够使得所述太阳能基板随所述转动盘转动。

8、在本发明的一个实施例中，所述安装底座包括第一安装座、第二安装座、第三安装座以及底座，所述第一安装座、第二安装座、第三安装座以及底座层叠设置，且所述第三安装座与所述第一调节单元配合连接，并能够带动所述第三安装座及所述第一安装座沿第一方向移动，所述第二安装座与所述第二调节单元配合连接，并能够带动所述第二安装座与第一安装座沿第二方向移动，所述转动盘转动安装于所述第一安装座，并能够带动所述太阳能基板转动。

9、可以理解的是，通过设置层叠设置的安装座，且响铃的安装座之间能够发生相对移动，从而能够是的第一安装座既能够沿第一方向移动也能够沿第二方向移动。

10、在本发明的一个实施例中，所述对位机构包括对位横梁及对位相机，所述对位横梁横跨所述安装架，并滑动安装于所述安装架的两端，所述对位相机安装于所述对位横梁，并所述对位相机朝向所述掩膜组件设置。

11、可以理解的是，通过设置对位横梁及对位相机，以能够使得对位横梁能够带动对位相机检测不同位置的太阳能基板。

12、在本发明的一个实施例中，所述对位横梁的数量设置有两个，两个所述对位横梁关于所述安装架的中心轴线对称设置，所述对位相机的数量设置为多个，多个所述对位相机沿所述对位横梁的长度方向均匀布设。

13、可以理解的是，通过设置多个对位横梁，并在对位横梁上设置多个对位相机，以提高检测效率。

14、在本发明的一个实施例中，所述掩膜板上每一所述曝光图案的位置处均设有第一定位标识，所述太阳能基板上设有第二定位标识，所述对位相机通过拍摄所述第一定位标识与第二定位标识的相对位置确定所述太阳能基板的位置。

15、可以理解的是，通过设置在掩膜板上设置第一定位标识，在太阳能基板上设置第二定位标识，并通过检测第一定位标识及第二定位标识的相对位置确定太阳能基板是否移动至预设位置。

16、在本发明的一个实施例中，所述曝光平台装置还包括抽真空设备、吸附平台以及气管，所述吸附平台固定安装于所述转动盘，所述吸附平台开设有贯通的抽气孔，所述抽真空设备通过所述气管与所述抽气孔连通，以能够吸附安装于所述吸附平台上的所述太阳能基板。

17、可以理解的是，通过设置抽真空设备以及吸附平台，使得太阳能基板能够稳定地吸附在吸附平台上，避免在运动过程或曝光过程中太阳能基板发生位移而导致的精度错误。

18、在本发明的一个实施例中，所述调节组件的数量设置为多个，且多个所述调节单元沿着所述支撑台面的表面均匀布设。

19、可以理解的是，通过设置在支撑台面上设置多个调节组件，从而能够提高单次曝光的太阳能基板数量，提高制作效率。

20、本发明还提供一种曝光设备，包括曝光组件以及如上述任意一项所述的曝光平台装置，所述曝光组件对应所述曝光平台装置设置，并能够朝向所述掩膜组件投射曝光光线。

21、本发明提供一种曝光平台装置，该曝光平台装置通过具有调节组件的运动平台对太阳能电池基板进行调节，从而使得太阳能基板能够稳定对位，调高曝光精度，提高细栅的精度，提高电池的高转化率。

技术特征：

1.一种曝光平台装置，用于对太阳能基板(200)进行曝光前的准备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的曝光平台装置，其特征在于，所述调节组件(22)包括第一调节单元(221)、第二调节单元(222)以及安装底座(224)，所述太阳能基板(200)安装于所述安装底座(224)，第一调节单元(221)的一端安装于所述支撑台面(21)，另一端固定安装于所述安装底座(224)，并能够带动所述太阳能基板(200)沿第一方向移动，所述第二调节单元(222)的一端安装与所述支撑台面(21)，另一端固定安装于所述安装底座(224)，并能够带动所述太阳能基板(200)沿第二方向移动。

3.如权利要求2所述的曝光平台装置，其特征在于，所述调节组件(22)还包括转动盘(2231)，所述转动盘(2231)转动安装于所述安装底座(224)的顶部，所述太阳能基板(200)安装于所述转动盘(2231)，并随所述转动盘(2231)转动。

4.如权利要求3所述的曝光平台装置，其特征在于，所述安装底座(224)包括第一安装座(2241)、第二安装座(2242)、第三安装座(2243)以及固定底座(2244)，所述第一安装座(2241)、第二安装座(2242)、第三安装座(2243)以及固定底座(2244)层叠设置，且所述第三安装座(2243)与所述第一调节单元(221)配合连接，并能够带动所述第三安装座(2243)及所述第一安装座(2241)沿第一方向移动，所述第二安装座(2242)与所述第二调节单元(222)配合连接，并能够带动所述第二安装座(2242)与第一安装座(2241)沿第二方向移动，所述转动盘(2231)转动安装于所述第一安装座(2241)，并能够带动所述太阳能基板(200)转动。

5.如权利要求1所述的曝光平台装置，其特征在于，所述对位机构(40)包括对位横梁(41)及对位相机(42)，所述对位横梁(41)横跨所述安装架(12)，并滑动安装于所述安装架(12)的两端，所述对位相机(42)安装于所述对位横梁(41)，且所述对位相机(42)朝向所述掩膜组件(30)设置。

6.如权利要求5所述的曝光平台装置，其特征在于，所述对位横梁(41)的数量设置有两个，两个所述对位横梁(41)关于所述安装架(12)的中心轴线对称设置，所述对位相机(42)的数量设置为多个，多个所述对位相机(42)沿所述对位横梁(41)的长度方向均匀布设。

7.如权利要求6所述的曝光平台装置，其特征在于，所述掩膜板(31)上每一所述曝光图案的位置处均设有第一定位标识，所述太阳能基板(200)上设有第二定位标识，所述对位相机(42)通过拍摄所述第一定位标识与第二定位标识的相对位置确定所述太阳能基板(200)的位置。

8.如权利要求3所述的曝光平台装置，其特征在于，所述曝光平台装置还包括抽真空设备、吸附台面(51)以及气管，所述吸附台面(51)固定安装于所述转动盘(2231)，所述吸附台面(51)开设有贯通的抽气孔，所述抽真空设备通过所述气管与所述抽气孔连通，以能够吸附安装于所述吸附台面(51)上的所述太阳能基板(200)。

9.如权利要求1所述的曝光平台装置，其特征在于，所述调节组件(22)的数量设置为多个，且多个所述调节组件(22)沿着所述支撑台面(21)的表面均匀布设。

10.一种曝光设备，其特征在于，包括曝光组件以及如上述权利要求1至9任意一项所述的曝光平台装置，所述曝光组件对应所述曝光平台装置设置，并能够朝向所述掩膜组件(30)投射曝光光线。

技术总结
本发明提供一种曝光平台装置及曝光设备，用于太阳能基板进行曝光前的准备，曝光平台装置包括：机架，包括底座及安装架，安装架与底座对应的位置处设有中空的安装空间；运动平台，包括支撑台面以及调节组件，调节组件固定安装于支撑台面，并能够沿着多个方向调节基板位置，支撑台面滑动安装于底座，并能够带动调节组件沿垂直于曝光扫描方向往复运动；掩膜组件，安装于中空的安装空间，掩膜组件包括掩膜板，掩膜板设有预设的曝光图案，且掩膜板垂直于曝光扫描方向；对位机构，安装于安装架，能够检测太阳能基板与掩膜板的相对位置；通过在支撑台面上设置调节组件，以能够在曝光或对位过程中自动调节太阳能基板的位置，提高曝光精度。

技术研发人员：蒋飞伟
受保护的技术使用者：杭州新诺微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15