本公开涉及光学成像,尤其涉及成像透镜及测量系统。
背景技术:
1、在如今科技飞速发展的时代,光学测量技术得到了大量的应用。在众多光学测量系统中成像透镜作为其中的重要元件,其透射率和透射比将直接决定测量系统的性能指标。
2、目前市场上的传统结构的成像透镜周期远小于入射光的波长,属于亚波长结构型,具有体积小、入射角度大、工作范围宽、应用范围广等优点,其性能指标可以通过调节周期、占空比、材料等参数来优化。
3、但目前其透射率在70%-80%左右,透射比在40-60左右的透镜,还远远达不到高性能测量系统的使用要求,例如在红外相机成像等高精度测量仪器使用时,透镜无法透过更多的光,导致在最后成像时不能得到清晰的画面,进而影响测量结果的收集。
技术实现思路
1、本公开所要解决的一个技术问题是:现有的透镜在进行使用时,对于入射光的透射率和透射比无法满足高精密成像仪器的使用需求,影响成像仪器的成像结果。
2、为解决上述技术问题,本公开实施例提供一种成像透镜,其包括:
3、依次层叠设置的基底、过渡膜层和若干接触膜层;
4、接触膜层包括依次层叠设置的第一介质膜层、第二介质膜层和金属膜层,第一介质膜层、第二介质膜层和金属膜层沿第一方向的投影面积相同,任意相邻的两组接触膜层中其中一组的第一介质膜层的厚度为零;
5、其中,第一方向为重力方向,金属膜层背离第二介质膜层的一侧为入光侧,基底背离过渡膜层的一侧为背光侧。
6、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中基底、过渡膜层和接触膜层沿第一方向的投影均为矩形。
7、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中基底的材料包括znse、zns和cdse中的任意一种,且基底材料折射率为2.15-2.43。
8、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中过渡膜层的材料和第一介质膜层的材料相同,且过渡膜层的材料和第一介质膜层的材料包括caf2、baf2和naf中的任意一种,过渡膜层材料和第一介质膜层材料的折射率均为1.17-1.42。
9、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中过渡膜层的厚度为0.8-0.9μm,第一介质膜层的厚度为0.7-1.3μm。
10、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中过渡膜层与第一介质膜层的厚度相同。
11、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中第二介质膜层的材料包括inas和gaas中的任意一种,第二介质膜层材料折射率为3.25-3.43,且第二介质膜层的厚度为0.09-0.14μm。
12、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中金属膜层的材料包括au、al和ag中的任意一种,且金属膜层的厚度为0.05-0.12μm。
13、在一些实施例中,前述的成像透镜,其中任意相邻的两组接触膜层的宽度为0.2-0.4μm且宽度小于入射光的波长。
14、本申请第二方面提供一种测量系统,其包括前述的成像透镜。
15、通过上述技术方案,本公开提供的一种成像透镜,通过基底、过渡膜层和若干接触膜层组成的透镜,任意相邻的两组接触膜层中其中一组的第一介质膜层的厚度为零,可以使入射光在穿过透镜时可获得更高的透射比;同时接触膜层包括第一介质膜层、第二介质膜层和金属膜层,此种组成可大大提高透镜整体的透射率,进而此透镜具备高透射率和透射比,因此可满足高精密成像仪器额使用需要。
1.一种成像透镜,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
4.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
6.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
7.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
8.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
9.根据权利要求1所述的成像透镜,其特征在于,
10.一种测量系统,其特征在于,其包括: