一种像质补偿装置的制作方法

本发明涉及光学系统的像差补偿，更具体地说，涉及一种像质补偿装置。

背景技术：

1、在大规模的集成电路制造工艺过程中，投影光刻是最关键的工艺，该工艺需要用到投影光刻机，而投影物镜是投影光刻机的核心，其性能直接决定了光刻的图形传递能力。光刻投影物镜在装配及使用过程中，由于装配误差、热载荷等原因导致系统会产生一定的z5像散，同时还会出现一定的z17四叶像差，进而对投影物镜的光学性能产生影响，因此需要对产生的像差进行补偿。

2、现有的像质补偿装置无法兼顾补偿的精度和补偿的类型，而且采用的驱动器数量较多，存在力耦合、位移耦合等问题。

3、因此，如何解决像质补偿装置不能兼顾补偿精度和补偿类型的问题，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的目的是提供一种像质补偿装置，能够在保证像质补偿装置的补偿精度的同时，可以对两种不同形式的像差进行补偿。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种像质补偿装置，包括：

4、光学元件；

5、镜框组件，镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置；

6、驱动装置，设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以补偿像差。

7、优选的，镜框组件包括圆形的上层镜框和下层镜框，上层镜框与下层镜框通过柔性铰链连接。

8、优选的，柔性铰链设为多个，多个柔性铰链沿镜框组件周向均匀设置，柔性铰链将上层镜框的下端面和下层镜框的上端面连接。

9、优选的，上层镜框周向的上端面上设有安装槽，驱动装置设于安装槽中。

10、优选的，驱动装置设有四个，四个驱动装置沿上层镜框的周向均匀设置。

11、优选的，上层镜框从中心沿径向设有圆环孔，光学元件设于圆环孔内。

12、优选的，驱动装置是气动波纹管驱动器。

13、优选的，支撑弹片设有三个，三个支撑弹片沿圆环孔的内壁均匀设置。

14、优选的，光学元件与三个支撑弹片通过胶粘或者抵接的方式连接。

15、本发明提供的一种像质补偿装置，包括光学元件、镜框组件和驱动装置，镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置，驱动装置设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，以使镜框组件发生变形，进一步的，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，光学元件在力的作用下也产生变形；具体来说，驱动装置对镜框组件施加相反方向的动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以使光学元件在动力的作用下产生反z5的变形，以补偿z5像散；驱动装置对镜框组件施加相同方向的动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以使光学元件在动力的作用下产生反z17四叶像差的变形，以补偿z17四叶像差。

技术特征：

1.一种像质补偿装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的像质补偿装置，其特征在于，所述镜框组件(2)包括圆形的上层镜框(21)和下层镜框(22)，所述上层镜框(21)与所述下层镜框(22)通过柔性铰链(5)连接。

3.根据权利要求2所述的像质补偿装置，其特征在于，所述柔性铰链(5)设有多个，多个所述柔性铰链(5)沿所述镜框组件(2)周向均匀设置，所述柔性铰链(5)将所述上层镜框(21)的下端面和所述下层镜框(22)的上端面连接。

4.根据权利要求2所述的像质补偿装置，其特征在于，所述上层镜框(21)周向的上端面上设有安装槽，所述驱动装置(4)设于所述安装槽中。

5.根据权利要求4所述的像质补偿装置，其特征在于，所述驱动装置(4)设有四个，四个所述驱动装置(4)沿所述上层镜框(21)的周向均匀设置。

6.根据权利要求5所述的像质补偿装置，其特征在于，所述上层镜框(21)从中心沿径向设有圆环孔，所述光学元件(1)设于所述圆环孔内。

7.根据权利要求5所述的像质补偿装置，其特征在于，所述驱动装置(4)是气动波纹管驱动器。

8.根据权利要求6所述的像质补偿装置，其特征在于，所述支撑弹片(3)设有三个，三个所述支撑弹片(3)沿所述圆环孔的内壁均匀设置。

9.根据权利要求8所述的像质补偿装置，其特征在于，所述光学元件(1)与三个所述支撑弹片(3)通过胶粘或者抵接的方式连接。

技术总结
本发明公开了一种像质补偿装置，该装置包括光学元件；镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置；驱动装置设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以补偿像差；具体来说，镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置，驱动装置设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，以使镜框组件发生变形，进一步的，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，光学元件在力的作用下也产生变形，此种变形能够实现对两种不同形式的像差进行补偿。

技术研发人员：张澜,李澧,周连生,倪明阳,隋永新,杨怀江
受保护的技术使用者：北京国望光学科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15