振镜反射镜装置及无应力振镜反射镜的粘接方法与流程

本公开涉及振镜反射镜，具体地，涉及一种振镜反射镜装置及无应力振镜反射镜的粘接方法。

背景技术：

1、眼科全飞秒手术设备等高精密眼科仪器需要采用振镜高速扫描以获取人眼3d截面信息，手术时切割深度在2～3μm之间，对聚焦光束的质量有较高的要求，不可有明显的离焦、球差、慧差、像散的像差问题，因此，对振镜反射镜面型有极高的要求，则振镜反射镜面型的均根值rms需要小于1/20λ。并且，由于振镜反射镜需要高速高频摆动，难以采用机械方式固定。

2、现有技术的通常做法为采用单组份或双组份工业胶粘剂，将反射镜通过治具固定并粘接到镜座上，再将镜座通过螺钉固定于电机转轴上，放置8-12个小时后待胶粘剂固化即可投入使用。但是，采用此种做法，一方面螺钉安装应力导致振镜反射镜面型较差，不足1/10λ；另一方面，普通粘接工装只能满足反射镜与振镜轴倾斜误差在0.1°以内，倾斜误差较大。

技术实现思路

1、针对现有技术中的缺陷，本公开的目的是提供一种振镜反射镜装置及无应力振镜反射镜的粘接方法。

2、根据本公开的第一方面，提供一种振镜反射镜装置，包括：驱动部件、镜架、振镜反射镜；

3、所述驱动部件包括驱动轴和外壳，所述驱动轴延伸出所述外壳的一端；

4、所述镜架与所述驱动部件的驱动轴采用胶结方式固定连接，所述镜架用于支撑所述振镜反射镜；

5、所述振镜反射镜采用所述胶结方式固定于所述镜架，所述振镜反射镜用于扫描。

6、可选地，所述镜架与所述驱动部件的驱动轴之间采用低应力固化胶进行胶结固定连接，所述振镜反射镜与所述镜架之间采用低应力固化胶进行胶结固定连接。

7、可选地，所述镜架包括第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽用于支撑所述驱动轴，所述第二凹槽用于支撑所述振镜反射镜。

8、可选地，所述振镜反射镜的材料采用石英玻璃、碳化硅、微晶玻璃中的任一种，所述镜架的材料采用殷钢。

9、可选地，所述镜架与所述振镜反射镜的热膨胀系数相同。

10、根据本公开的第二方面，提供一种无应力振镜反射镜的粘接方法，包括：

11、将驱动部件的驱动轴嵌入镜架的第一凹槽中；

12、采用低应力固化胶将所述镜架与所述驱动部件的驱动轴进行胶结固定，并将所述镜架与所述驱动部件固化预设时长；

13、将所述镜架和所述驱动部件安装至振镜粘接工装部件上；

14、根据所述振镜粘接工装部件的二维平面，将振镜反射镜安装至所述镜架上，所述振镜粘接工装部件的二维平面包括平面a、平面b。

15、可选地，所述根据所述振镜粘接工装部件的二维平面，将振镜反射镜安装至所述镜架上，包括：

16、在所述镜架上均匀设置所述低应力固化胶；

17、将所述振镜反射镜放置在所述平面a上；

18、将所述振镜反射镜沿所述平面b插入所述镜架的第二凹槽内并接触所述第二凹槽的平面c；

19、将所述振镜反射镜和所述镜架固化所述预设时长。

20、可选地，所述平面a与所述平面b相互垂直，所述平面a与所述平面c相互垂直，所述平面b与所述平面c相互垂直，所述平面a用于限定所述振镜反射镜的纵向安装位置，所述平面b用于限定所述振镜反射镜的横向安装位置。

21、可选地，所述方法还包括：

22、采用定心车工艺控制所述镜架与所述驱动部件的外壳的同心度小于5μm。

23、可选地，所述低应力固化胶采用环氧胶3m2216，且所述振镜反射镜两侧的所述低应力固化胶的胶层厚度均为0.1mm。

24、与现有技术相比，本公开实施例具有如下至少一种有益效果：

25、通过上述技术方案，本公开实施例镜架与驱动部件的驱动轴之间、振镜反射镜与镜架之间采用低应力固化胶进行胶结固定连接，避免螺钉锁紧产生应力，实现无应力粘接。

26、本公开实施例中，镜架的材料采用与振镜反射镜的热膨胀系数相同的殷钢，能够在宽温度范围内应用。

27、本公开实施例中，通过采用振镜粘接工装部件安装振镜反射镜，振镜粘接工装部件结构简单，还能够降低反射镜与振镜轴之间的倾斜误差，实现振镜反射镜的高精度粘接。

技术特征：

1.一种振镜反射镜装置，其特征在于，包括：驱动部件、镜架、振镜反射镜；

2.根据权利要求1所述的振镜反射镜装置，其特征在于，所述镜架与所述驱动部件的驱动轴之间采用低应力固化胶进行胶结固定连接，所述振镜反射镜与所述镜架之间采用低应力固化胶进行胶结固定连接。

3.根据权利要求1所述的振镜反射镜装置，其特征在于，所述镜架包括第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽用于支撑所述驱动轴，所述第二凹槽用于支撑所述振镜反射镜。

4.根据权利要求1所述的振镜反射镜装置，其特征在于，所述振镜反射镜的材料采用石英玻璃、碳化硅、微晶玻璃中的任一种，所述镜架的材料采用殷钢。

5.根据权利要求1所述的振镜反射镜装置，其特征在于，所述镜架与所述振镜反射镜的热膨胀系数相同。

6.一种无应力振镜反射镜的粘接方法，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据所述振镜粘接工装部件的二维平面，将振镜反射镜安装至所述镜架上，包括：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述平面a与所述平面b相互垂直，所述平面a与所述平面c相互垂直，所述平面b与所述平面c相互垂直，所述平面a用于限定所述振镜反射镜的纵向安装位置，所述平面b用于限定所述振镜反射镜的横向安装位置。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述低应力固化胶采用环氧胶3m2216，且所述振镜反射镜两侧的所述低应力固化胶的胶层厚度均为0.1mm。

技术总结
本公开提供一种振镜反射镜装置及无应力振镜反射镜的粘接方法，其中，振镜反射镜装置包括：驱动部件、镜架、振镜反射镜；驱动部件包括驱动轴和外壳，驱动轴延伸出外壳的一端；镜架与驱动部件的驱动轴采用胶结方式固定连接，镜架用于支撑振镜反射镜；振镜反射镜采用胶结方式固定于镜架，振镜反射镜用于扫描。通过本公开，镜架与驱动轴之间、振镜反射镜与镜架之间均采用胶结方式固定连接，实现无应力粘接。

技术研发人员：方勇勇,彭先兆,朱立荣
受保护的技术使用者：视微影像（河南）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11