一种压电梁式快速控制反射镜的制作方法

背景技术：

1、光学镜片是由光学玻璃制成的镜片。光学玻璃是对折射率、色散、透射率、光谱透射率、光吸收等光学特性有特定要求的玻璃，光学玻璃可用于制造透镜、棱镜、反射镜和窗户，由光学玻璃组成的部件是光学仪器的关键部件；

2、目前在光学镜片的应用领域中光束的精密指向控制、稳定和跟踪是相关设备中不可缺少的组成部分，因为快速控制反射镜是一种可以精确控制光束指向及稳定光束成像的关键精密光学设备之一，并且常见的快反镜主要有两种音圈电机驱动和压电陶瓷驱动，其中，压电陶瓷驱动快反镜有出力大，分辨力高和定位精度高特点；

3、但现有技术中压电陶瓷驱动快反镜由于压电陶瓷伸长量较小，为保证快反镜转动范围采用了放大机构对压电陶瓷的位移输出量进行放大，这增加了快反镜的复杂程度和成本，同时放大机构的引入会对快反镜的转动精度造成负面影响，因此使压电陶瓷直接对快反镜输出位移量改进存在改善的余地。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种压电梁式快速控制反射镜，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种压电梁式快速控制反射镜，包括活动机构、快速控制机构和支撑机构；所述活动机构包括反射镜和反射镜托架，所述快速控制机构包括位移传感器、主挠性铰链、压电悬梁臂和挠性副铰链，所述支撑机构包括支撑柱和底座；所述反射镜与反射镜托架固定连接，所述主挠性铰链与反射镜托架转接，所述支撑柱与底座固定连接，所述支撑柱远离底座的一端与压电悬梁臂固定连接，所述压电悬梁臂与外部电源电性连接，所述反射镜托架通过挠性副铰链与压电悬梁臂铰接，所述通过挠性副铰链通过主挠性铰链与反射镜托架活动连接。

3、作为本发明再进一步的方案：一种压电梁式快速控制反射镜的使用方法，包括使用方法；所述使用方法包括

4、步骤s1：外部电源通电控制所述压电悬梁臂受电并挠曲变形；

5、步骤s2：所述压电悬梁臂受电后通过挠性副铰链带动反射镜托架绕主挠性铰链转动；

6、步骤s3：所述反射镜托架绕主挠性铰链转动并带动反射镜偏转；

7、步骤s4：所述反射镜偏转后调整光束角度。

8、作为本发明再进一步的方案：所述压电悬梁臂的一端固定于支撑柱之上、另一端通过挠性副铰链与反射镜托架活动连接，所述位移传感器与压电悬梁臂固定连接。

9、作为本发明再进一步的方案：所述位移传感器安装于压电悬梁臂的外侧且通过压电悬梁臂与支撑柱固定连接。

10、作为本发明再进一步的方案：

11、所述步骤s3包括：

12、步骤s31：所述压电悬梁臂的挠曲位移量直接作用于反射镜托架，使得所述反射镜托架可绕主挠性铰链旋转。

13、作为本发明再进一步的方案：所述支撑柱设置有四组且均以反射镜圆心为几何中心环形阵列分布在底座的外侧。

14、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

15、本申请根据位移传感器的数据对压电悬梁臂施加电压，使得压电悬梁臂输入适当电压后发生特定的挠曲变形，后经过挠性副铰链一方面带动反射镜托架可绕主挠性铰链转动、另一方面带动其自身和反射镜绕主挠性铰链转动，从而可带动反射镜偏转，使得光束可根据需要调整。

技术特征：

1.一种压电梁式快速控制反射镜，包括活动机构、快速控制机构和支撑机构；其特征在于：所述活动机构包括反射镜(1)和反射镜托架(2)，所述快速控制机构包括位移传感器(3)、主挠性铰链(4)、压电悬梁臂(5)和挠性副铰链(8)，所述支撑机构包括支撑柱(6)和底座(7)；

2.根据权利要求1所述的一种压电梁式快速控制反射镜的使用方法，其特征在于，包括使用方法；所述使用方法包括

3.根据权利要求2所述的一种压电梁式快速控制反射镜，其特征在于，所述压电悬梁臂(5)的一端固定于支撑柱(6)之上、另一端通过挠性副铰链(8)与反射镜托架(2)活动连接，所述位移传感器(3)与压电悬梁臂(5)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种压电梁式快速控制反射镜，其特征在于，所述位移传感器(3)安装于压电悬梁臂(5)的外侧且通过压电悬梁臂(5)与支撑柱(6)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种压电梁式快速控制反射镜，其特征在于，所述步骤s3包括：

6.根据权利要求5所述的一种压电梁式快速控制反射镜，其特征在于，所述支撑柱(6)设置有四组且均以反射镜(1)圆心为几何中心环形阵列分布在底座(7)的外侧。

技术总结
本发明公开了一种压电梁式快速控制反射镜，包括活动机构、快速控制机构和支撑机构；所述活动机构包括反射镜和反射镜托架，所述快速控制机构包括位移传感器、主挠性铰链、压电悬梁臂和挠性副铰链，所述支撑机构包括支撑柱和底座；所述反射镜与反射镜托架固定连接，所述主挠性铰链与反射镜托架转接，所述支撑柱与底座固定连接，涉及压电梁驱动的快速控制反射镜技术领域。本发明根据位移传感器的数据对压电悬梁臂施加电压，使得压电悬梁臂输入适当电压后发生特定的挠曲变形，后经过挠性副铰链一方面带动反射镜托架可绕主挠性铰链转动、另一方面带动其自身和反射镜绕主挠性铰链转动，从而可带动反射镜偏转，使得光束可根据需要调整。

技术研发人员：杨龙
受保护的技术使用者：四川中科朗星光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27