极紫外光生成方法、装置、计算机设备及存储介质与流程

本申请涉及激光，特别是涉及一种极紫外光生成方法、装置、计算机设备及存储介质。

背景技术：

1、随着半导体制造业的不断发展，对于芯片的制造要求越来越高，传统的近紫外光源和深紫外光源光刻技术，无法满足芯片更新换代的需求，急需更短波长的极紫外光源光刻技术。

2、现有技术通过控制激光器发出激光脉冲去轰击金属靶材液滴获得极紫外光，但是，现有技术在获取极紫外光的过程中，无法实现针对极紫外光光强的灵活调整。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够对极紫外光光强进行灵活调整的极紫外光生成方法、装置、计算机设备及存储介质。

2、第一方面，本申请提供了一种极紫外光生成方法。该方法包括：

3、获取目标极紫外光的目标强度；

4、根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；

5、根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。

6、在其中一个实施例中，根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的激光器数量，包括：

7、获取不同候选激光器数量对应的候选强度；

8、根据各候选强度和目标强度的大小关系，从各候选激光器数量中确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量。

9、在其中一个实施例中，根据各候选强度和目标强度的大小关系，从各候选激光器数量中确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量，包括：

10、从各候选强度中，确定目标强度对应的参考强度 ；

11、将参考强度对应的候选激光器数量，作为产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量。

12、在其中一个实施例中，参考强度与目标强度的第一强度差值小于各候选强度与目标强度的第二强度差值，参考强度大于目标强度。

13、在其中一个实施例中，根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光，包括：

14、根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到候选极紫外光；

15、根据目标强度对候选极紫外光进行强度检测；

16、在强度检测通过的情况下，将候选极紫外光作为目标强度对应的目标极紫外光。

17、在其中一个实施例中，激光器发射激光脉冲的频率与金属靶材液滴的滴落频率相同。

18、第二方面，本申请还提供了一种极紫外光生成装置。该装置包括：

19、第一确定模块，用于获取目标极紫外光的目标强度；

20、第二确定模块，用于根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；

21、生成模块，用于根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。

22、第三方面，本申请还提供了一种计算机设备。计算机设备包括存储器和处理器，存储器存储有计算机程序，处理器执行计算机程序时实现以下步骤：

23、获取目标极紫外光的目标强度；

24、根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；

25、根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。

26、第四方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质。计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

27、获取目标极紫外光的目标强度；

28、根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；

29、根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。

30、第五方面，本申请还提供了一种计算机程序产品。计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

31、获取目标极紫外光的目标强度；

32、根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；

33、根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。

34、上述极紫外光生成方法、装置、计算机设备及存储介质，通过获取目标极紫外光的目标强度；根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。由于上述过程中，本申请是根据目标极紫外光的目标强度确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量，因此根据目标激光器数量的激光器对金属靶材液滴进行脉冲处理，所得到的目标极紫外光的发光强度与目标强度匹配，因此，本申请在得到目标强度对应的目标极紫外光的过程中，实现了根据目标强度自适应调整目标激光器数量，使得根据目标激光器数量的激光器产生目标极紫外光，能够按需生成目标强度对应的目标极紫外光，进一步的，由于本申请是根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，因此，本申请可实现持续、稳定的输出目标强度对应的目标极紫外光。

技术特征：

1.一种极紫外光生成方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述目标强度，确定产生所述目标极紫外光时所需的激光器数量，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据各候选强度和所述目标强度的大小关系，从各候选激光器数量中确定产生所述目标极紫外光时所需的目标激光器数量，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述参考强度与所述目标强度的第一强度差值小于各候选强度与所述目标强度的第二强度差值，所述参考强度大于所述目标强度。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到所述目标强度对应的目标极紫外光，包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述激光器发射激光脉冲的频率与所述金属靶材液滴的滴落频率相同。

7.一种极紫外光生成装置，其特征在于，所述装置包括：

8.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。

10.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。

技术总结
本申请涉及一种极紫外光生成方法、装置、计算机设备及存储介质，涉及激光技术领域。所述方法包括：获取目标极紫外光的目标强度；根据目标强度，确定产生目标极紫外光时所需的目标激光器数量；根据目标激光器数量的激光器对连续滴落的金属靶材液滴进行脉冲处理，得到目标强度对应的目标极紫外光。本申请实现了根据目标强度自适应调整目标激光器数量，使得根据目标激光器数量的激光器产生目标极紫外光，能够按需生成目标强度对应的目标极紫外光。

技术研发人员：马修泉,蒋富军,刘怀亮,张琳,闻锦程
受保护的技术使用者：广东省智能机器人研究院
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11