一种自动上料的曝光机的制作方法

本技术涉及曝光机，具体为一种自动上料的曝光机。

背景技术：

1、曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。

2、现有技术中，为了提升曝光机的工作效率，通常采用机械手等机构将电路板自动放置于曝光机的进料口，现有的上料机构的上料动作为取料、移动和放料三个步骤，这三个步骤通常是单独进行的，导致取料和放料需要。

技术实现思路

1、解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种自动上料的曝光机，具备的优点，解决了的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动上料的曝光机，包括曝光机、上料台以及纵向移动组件，所述纵向移动组件位于所述曝光机和所述上料台之间，所述纵向移动组件安装于墙顶处，所述纵向移动组件的底部设有转向组件，所述转向组件的转动端设有横向移动组件，所述横向移动组件的移动端对称设有夹持组件，所述夹持组件包括：

5、夹持杆；

6、限位滑块，设置于所述夹持杆的顶端；

7、夹持台，固定连接于所述夹持杆的底端；

8、电动吸盘，设置于所述夹持台的底部；

9、气泵，设置于所述夹持台的顶部。

10、优选的，所述纵向移动组件包括：

11、顶架；

12、液压缸，对称设置于所述顶架的底部。

13、优选的，所述转向组件包括：

14、支撑板，设置于所述纵向移动组件的伸缩端；

15、转向电机，安装于所述支撑板的顶部，输出轴与所述横向移动组件的顶部固定连接。

16、优选的，所述横向移动组件包括：

17、横向移动架；

18、横向移动电机，安装于所述横向移动架的一侧；

19、双向丝杠，转动连接于所述横向移动架的内部，一端与所述横向移动电机的输出轴固定连接；

20、丝杠螺母，对称分布于所述双向丝杠的外侧壁，与所述双向丝杠螺纹连接，底部于所述限位滑块相连。

21、优选的，所述夹持台的底部共设有两组所述电动吸盘，两组所述电动吸盘对称分布。

22、优选的，所述曝光机和所述上料台的顶部均设有检测探头。

23、(三)有益效果

24、与现有技术相比，本实用新型提供了一种自动上料的曝光机，具备以下有益效果：

25、该自动上料的曝光机，通过设置纵向移动组件、转向组件和横向移动组件，纵向移动组件、转向组件和横向移动可以带动夹持组件进行三个轴向的运动，同时，横向移动组件上设有两个夹持组件，两个夹持组件同时向外或向内移动，在一个夹持组件进行放料时，另一端的夹持组件可同步自动取料，实现取料和放料的同时进行，可大幅度提升上料效率。

技术特征：

1.一种自动上料的曝光机，其特征在于：包括曝光机(10)、上料台(20)以及纵向移动组件(30)，所述纵向移动组件(30)位于所述曝光机(10)和所述上料台(20)之间，所述纵向移动组件(30)安装于墙顶处，所述纵向移动组件(30)的底部设有转向组件(40)，所述转向组件(40)的转动端设有横向移动组件(50)，所述横向移动组件(50)的移动端对称设有夹持组件(60)，所述夹持组件(60)包括：

2.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述纵向移动组件(30)包括：

3.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述转向组件(40)包括：

4.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述横向移动组件(50)包括：

5.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述夹持台(63)的底部共设有两组所述电动吸盘(64)，两组所述电动吸盘(64)对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述曝光机(10)和所述上料台(20)的顶部均设有检测探头(70)。

技术总结
本技术涉及曝光机技术领域，且公开了一种自动上料的曝光机，包括曝光机、上料台以及纵向移动组件，所述纵向移动组件位于所述曝光机和所述上料台之间，所述纵向移动组件安装于墙顶处，所述纵向移动组件的底部设有转向组件，所述转向组件的转动端设有横向移动组件，所述横向移动组件的移动端对称设有夹持组件；通过设置纵向移动组件、转向组件和横向移动组件，纵向移动组件、转向组件和横向移动可以带动夹持组件进行三个轴向的运动，同时，横向移动组件上设有两个夹持组件，两个夹持组件同时向外或向内移动，在一个夹持组件进行放料时，另一端的夹持组件可同步自动取料，实现取料和放料的同时进行，可大幅度提升上料效率。

技术研发人员：林龙峰
受保护的技术使用者：苏州华普智能科技有限公司
技术研发日：20230216
技术公布日：2024/1/12