一种金相显微镜观察半导体用载样台的制作方法

本技术涉及显微镜，具体为一种金相显微镜观察半导体用载样台。

背景技术：

1、目前实验室会用金相显微镜观察半导体晶圆芯片或分立器件的表/截面，通过表/截面形貌的观察与量测，了解产品构造或封装水平，以此为更好产品的生产提供数据支持，现有的金相显微镜观察半导体用载样台在进行观察时对载玻片的固定采用的是转动的固定架固定，固定过程中载玻片可能偏移显微镜物镜的中心位置，观察时需要再次调整载玻片的位置，便于更好的寻找最佳的观看位置，了解导体的性质，需要进行多次调整且观察过程中遇撞击产生偏移，影响观察结果，为此，本实用新型提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台，解决了显微镜不能很好的固定载玻片的位置，固定过程中载玻片会产生偏移影响半导体的观察的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座，所述基座的表面固定连接有连接架，所述连接架的表面固定连接有观察台和载片台，所述载片台的内部设置有固定机构，所述固定机构用于固定载玻片的位置，所述固定机构中包含有固定块，所述载片台的内部固定连接有转动块，所述转动块的表面开设有转动槽，所述载片台的内部通过块与槽滑动连接有固定轴，所述固定轴的表面固定连接有固定柱，所述转动块的表面固定连接有操作块，所述操作块的表面开设有操作槽，所述操作块的表面通过操作槽滑动连接有操作杆，所述操作杆的表面固定连接有操作轴，所述载片台的内部开设有限位槽，所述固定块的内部设置有伸缩机构，所述伸缩机构用于调整固定位置的中心。

3、优选的，所述伸缩机构中包含有滑动槽，所述固定块的内部滑动连接有伸缩块。

4、优选的，所述固定块和伸缩块的内部固定连接有转动柱，所述固定块的内部通过转动柱转动连接有连接块。

5、优选的，所述连接块的表面固定连接有连接轴，所述连接块的表面通过连接轴转动连接有转角杆。

6、优选的，所述转角杆的一端转动连接有滑动轴，所述滑动轴的表面与滑动槽的内表面滑动连接。

7、优选的，所述转角杆的一端与滑动轴的表面转动连接。

8、有益效果

9、本实用新型提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台。与现有技术相比具备以下有益效果：

10、(1)、该金相显微镜观察半导体用载样台，通过在载片台的内部设置固定机构，通过转动块和转动槽的位置的改变使固定块之间的相对位置被改变，转动块使用透光材料制作，便于观察，固定块的位置会根据转动块的改变进行同步改变，便于载玻片的中心位置与物镜的中心相对于，便于观察载玻片内部的半导体样本，同时采用固定载玻片四面的方式固定载玻片的位置，促使各方面的力难以改变载玻片的位置，使载玻片偏移，观察过程中不会使观察的视角被改变，便于细致观察。

11、(2)、该金相显微镜观察半导体用载样台，通过在固定块的内部设置伸缩机构，在固定块的表面开设滑动槽，促使滑动轴可以在一定的轨迹上进行滑动，滑动轴的滑动通过连接块和转角杆之间的角度的改变促使伸缩块的位置发生改变，滑动轴的位置被限制，进而限制伸缩块的移动方向，伸缩块的位置可以改变，可以根据载玻片的厚度改变伸缩块的高度，更准确稳定的固定载玻片的位置，使载玻片的位置难以改变。

技术特征：

1.一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座(1)，所述基座(1)的表面固定连接有连接架(2)，所述连接架(2)的表面固定连接有观察台(3)和载片台(4)，其特征在于：所述载片台(4)的内部设置有固定机构(5)，所述固定机构(5)用于固定载玻片的位置；

2.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述伸缩机构(6)中包含有滑动槽(61)，所述固定块(51)的内部滑动连接有伸缩块(62)。

3.根据权利要求2所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述固定块(51)和伸缩块(62)的内部固定连接有转动柱(63)，所述固定块(51)的内部通过转动柱(63)转动连接有连接块(64)。

4.根据权利要求3所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述连接块(64)的表面固定连接有连接轴(65)，所述连接块(64)的表面通过连接轴(65)转动连接有转角杆(66)。

5.根据权利要求4所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述转角杆(66)的一端转动连接有滑动轴(67)，所述滑动轴(67)的表面与滑动槽(61)的内表面滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述转角杆(66)的一端与滑动轴(67)的表面转动连接。

技术总结
本技术公开了一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座，所述基座的表面固定连接有连接架，所述连接架的表面固定连接有观察台和载片台，本技术涉及显微镜技术领域。该金相显微镜观察半导体用载样台，在载片台的内部设置固定机构，通过转动块和转动槽的位置的改变使固定块之间的相对位置被改变，转动块使用透光材料制作，便于观察，固定块的位置会根据转动块的改变进行同步改变，便于载玻片的中心位置与物镜的中心相对于，便于观察载玻片内部的半导体样本，同时采用固定载玻片四面的方式固定载玻片的位置，促使各方面的力难以改变载玻片的位置，使载玻片偏移，观察过程中不会使观察的视角被改变，便于细致观察。

技术研发人员：詹望生,陈铭
受保护的技术使用者：上海蔡康光学仪器有限公司
技术研发日：20230220
技术公布日：2024/1/12