曝光机的制作方法

本技术涉及激光成像，尤其是涉及一种曝光机。

背景技术：

1、ldi曝光机是印制电路板制造中的主要设备，其使用ldi技术将线路图形以激光束的形式直接刻录在涂有光致抗蚀剂的电路板上，从而将图形转移光刻在电路板上，以形成印刷电路板。其中，光路系统是ldi曝光机的关键核心组件，光路系统的稳定性直接影响ldi曝光机的对准精度。

2、相关技术中，为了提高光路系统的稳定性，在安装光路系统的光路固定底板上使用自然风冷或者增加风扇强制风冷来实现对光路系统的散热。然而，采用自然风冷或者强制风冷散热虽然能一定程度上减少光路系统的热量，但散热效果不佳，光路固定底板热膨胀会影响光路系统的光路之间的相对位置关系，进而影曝光机的拼接和对准精度。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种曝光机能够提高散热效率，散热板可以避免因热膨胀而使光路组件的位置发生偏差，提高了曝光机的拼接和对准精度。

2、根据本实用新型实施例的曝光机，包括：底座；安装板，所述安装板可滑动地设在所述底座上；散热板，所述散热板设在所述安装板的远离所述底座的一侧，所述散热板具有多个第一通道和多个第二通道，多个所述第一通道沿第一方向间隔开，每个所述第一通道沿第二方向延伸，多个所述第一通道中的其中两个适于与冷却液循环机连通，多个所述第二通道沿所述第二方向间隔开，每个所述第二通道沿所述第一方向延伸，且每个所述第二通道与至少一个所述第一通道连通，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直；多个光路组件，多个光路组件均间隔设在所述散热板上。

3、根据本实用新型实施例的曝光机，通过在散热板上设置第一通道和第二通道，第一通道和第二通道组成循环通路，且其中两个第一通道与冷却液循环机进液口和出液口连通。由此，与传统的曝光机相比，曝光机通过液冷方式对光路组件进行降温处理，能够提高散热效率，快速降低光路组件的温度，从而散热板可以避免因热膨胀而使光路组件的位置发生偏差，进而提高了曝光机的拼接和对准精度。

4、根据本实用新型的一些实施例，多个所述第一通道和多个所述第二通道均邻近多个所述光路组件设置。

5、根据本实用新型的一些实施例，相邻两个所述第一通道之间设有至少一个所述光路组件，且所述光路组件位于相邻两个所述第二通道之间。

6、根据本实用新型的一些实施例，多个所述第二通道包括第一子通道和第二子通道，所述第一子通道与多个所述第一通道均连通，且所述第一子通道的长度大于所述第二子通道的长度。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述第一子通道位于多个所述二子通道的最外侧。

8、根据本实用新型的一些实施例，多个所述光路组件设在所述散热板的所述第一方向的一侧，且多个所述光路组件沿所述第二方向间隔排布，在所述第二方向上每个所述第一通道的长度大于等于多个所述光路组件在所述散热板上的最大长度；和/或在所述第一方向上每个所述第二通道的长度大于等于每个所述光路组件的长度。

9、根据本实用新型的一些实施例，多个所述第一通道中的所述其中两个分别为第一进液通道和第一出液通道，所述第一进液通道和所述第一出液通道之间设有至少一个所述第一通道。

10、根据本实用新型的一些实施例，在所述第一方向上每个所述光路组件与所述第一出液通道之间的最小距离大于每个所述光路组件与所述第一进液通道之间的最小距离。

11、根据本实用新型的一些实施例，每个所述第二通道的孔径小于每个所述第一通道的孔径。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述安装板和所述底座中的其中一个上设有滑轨，所述安装板和所述底座中的另一个形成有滑槽，所述滑轨配合在所述滑槽内。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种曝光机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，多个所述第一通道和多个所述第二通道均邻近多个所述光路组件设置。

3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，相邻两个所述第一通道之间设有至少一个所述光路组件，且所述光路组件位于相邻两个所述第二通道之间。

4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，多个所述第二通道包括第一子通道和第二子通道，所述第一子通道与多个所述第一通道均连通，且所述第一子通道的长度大于所述第二子通道的长度。

5.根据权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述第一子通道位于多个所述第二子通道的最外侧。

6.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于，多个所述光路组件设在所述散热板的所述第一方向的一侧，且多个所述光路组件沿所述第二方向间隔排布，

7.根据权利要求1-6任一项所述的曝光机，其特征在于，多个所述第一通道中的所述其中两个分别为第一进液通道和第一出液通道，所述第一进液通道和所述第一出液通道之间设有至少一个所述第一通道。

8.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，在所述第一方向上每个所述光路组件与所述第一出液通道之间的最小距离大于每个所述光路组件与所述第一进液通道之间的最小距离。

9.根据权利要求1-6任一项所述的曝光机，其特征在于，每个所述第二通道的孔径小于每个所述第一通道的孔径。

10.根据权利要求1-6任一项所述的曝光机，其特征在于，所述安装板和所述底座中的其中一个上设有滑轨，所述安装板和所述底座中的另一个形成有滑槽，所述滑轨配合在所述滑槽内。

技术总结
本技术公开了一种曝光机，包括：底座、安装板、散热板和光路组件，安装板可滑动地设在底座上，散热板设在安装板远离底座的一侧。散热板具有多个第一通道和多个第二通道，多个第一通道沿第一方向间隔开。每个第一通道沿第二方向延伸，多个第一通道中的其中两个适于与冷却液循环机连通，多个第二通道沿第二方向间隔开，每个第二通道沿第一方向延伸，且每个第二通道与至少一个第一通道连通。其中，第一方向与第二方向垂直。多个光路组件均间隔设在散热板上。根据本技术的曝光机，通过液冷方式对光路组件降温处理，能够快速降低光路组件的温度，使散热板可避免因热膨胀而使光路组件的位置发生偏差，提高曝光机的拼接和对准精度。

技术研发人员：李辉
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：20230214
技术公布日：2024/1/13